Corial 200R

Corial 200R – это система реактивно-ионного травления, которая предназначена
для травления кремниевых сплавов SiO2, Si3N4 и металлов (W, Nb, Ta, Mo) с
химией, основанной на фторировании.
Мы хотели бы выделить несколько технологических достоинств системы:




Установка стандартно укомплектована безмасляным насосом
Использование специальных челноков оптимизировано для каждого
процесса перехода с кремниевого травления к травлению металлов. Это
позволяет минимизировать эффект памяти и перезагрязнение.
Использование
вакуумного
замка
обеспечивает
безопасность и
повторяемость процесса
Датчик завершения процесса полностью интегрирован в систему и в
программное обеспечение. Это дает возможность контроля за процессом
травления, определения степени травления в реальном времени и подсчет
глубины травления с автоматической остановкой процесса.
Если у Вас возникнут дополнительные вопросы, Вы можете обратиться в фирму
Кориал:
11, Chemin du Vieux Chêne - ZIRST
38240 MEYLAN - FRANCE
Tél. : + 33 (0) 4 76 01 10 10
Fax : + 33 (0) 4 76 24 53 81
E-mail: corial@corial.net - www.corial.net
Или
В Российское представительство:
ТБС Инжиниринг, 119869, Москва, Погодинская ул., д. 8, корп. 2, офис 61
Тел. +7 916 682 0382
Факс. +7 095 246 0169
www.tbs-tech.ru
Описание установки Corial 200R
Система реактивно-ионного травления с ручной системой загрузки под контролем
компьютера с установленной ОС Windows. Система использует фторированные
реактивные газы для Si, SiO2, Si3N4, Ge, W, Ta, Ti, Nb, Mo и травления полимеров.
Если система укомплектована CCD-камерой с лазерным датчиком окончания
процесса, это дает возможность автоматической многошаговости процесса.
Включает в себя следующие части:
 Камеру реактивно-ионного травления большого диаметра (300 мм).
Она разработана для травления тонких пленок (Si, SiO2, Si3N4, полимеров и
таких металлов, как W, Ta, Ti, Mo) на кремниевых подложках диаметром до
200 мм. Установка укомплектована двумя сапфировыми стеклами
диаметром 25 мм (одно для лазерной интерферометрии, другое – для
визуального контроля процесса травления).
 Катод диаметром 220 мм, который укомплектован:
o
o
o
o
o
o

Насосную систему с высокой проводимостью (теплопроводностью) (ISO
160, 150 мм), специально разработанная для плазменных процессов. Она
укомплектована:
o
o
o
o
o
o
o

верхней частью, сделанной из алюминия и охлаждаемой циркуляцией
жидкого диэлектрика,
алюминиевым челноком с графитовым столом для установки и снятия
(загрузки и выгрузки) изделия,
гелиевым теплообменником между задней частью челнока и катодом с
контролем потока,
MKS-измерителем электрического сопротивления для измерения давления
гелия,
механическим зажимом челнока,
Катодный lift, который применяется для загрузки и выгрузки подложки и
механического зажима челнока (управляется системным компьютером).
безмасляным насосом Alcatel ADP 122O производительностью 95 м3/ч,
турбомолекулярным насосом Alcatel ATP 900 C (900 л/с и 200 sccm на 10
mT) с инертной (N2) газовой продувкой,
набором глубоковакуумных и обводных клапанов для грубого откачивания
без остановки TMP,
отдельным измерителем для глубокого вакуума,
MKS-измерителем электрического сопротивления 0-1 Torr для контроля
давления,
автоматическим контроллером давления с коротким временем отклика
(меньше 1 секунды),
отдельной линией N2 для (отвода, подвода, циркуляции, вентиляции)
реактора с электропневматическим клапаном
Систему электронного контроля, включающей:
o
o
контроллеры оборудования, базирующиеся на 19-дюймовой 6U полустойке
(компьютер с процессором Celeron 400, 128 Мб ОЗУ, высокоскоростным
портом Ethernet и встроенным программным обеспечением, записанным на
128-Мб карту памяти Compact Flash),
контроллер процесса, размещающейся в 19-дюймовой 1U стойке
(компьютер с процессором 1,3 ГГц, 512 Мб ОЗУ, высокоскоростным портом
Ethernet и 80 Гб жестким диском).





Высоковольтные (220 и 400 вольт переменного тока) и низковольтные (5
вольт, 15 вольт (+ и -), 24 вольта (+)) источники питания.
Газовую камеру, укомплектованную управляющей системой и тремя
газовыми линиями (максимально до 9 газовых линий) для реактивных газов.
Также комплектуется газовыми контроллерами потока UNIT. Каждая
газовая линия включает в себя электропневматические 3-сторонние
сильфоны с отсекающим клапаном и ручные 2-сторонние сильфоны с
отсекающим клапаном. The proposed MFCs are 200 sccm O2, 200 sccm CHF3 and
50 sccm SF6.
Сетью сравнения на 13,56 МГц с автоматическим сопротивлением до 300
Вт
300 Вт 13,56 МГц генератором RF с воздушным охлаждением на твердой
основе с мониторингом прямой и отраженной мощности.
Программное обеспечение COSMA, работающее на LINUX, которое
обеспечивает:
o
o
o

Персональный
компьютер
укомплектованный:
o
o
o
o


автоматическое переключение между шагами в мультишаговых процессах в
соответствии с сигналами от датчика окончания процесса или таймеров.
Число шагов каждого процесса может достигать 300. Число самих
процессов ограничено только пропускной способностью контроллера
жесткого диска. Система проверяет все параметры и отображает на
дисплее ошибки, которые могут происходить. Каждый шаг процесса
находится под пристальным мониторингом и четко контролируется, что
дает высокую воспроизводимость (повторяемость) процесса и его
работоспособность. Частью пакета программного обеспечения является
запись информации с возможностью дальнейшего просмотра параметров
уже завершенных процессов.
доступно четыре режима программы:
 редактирование для подгонки параметров или создания новых
параметров для процессов,
 запуск процесса с его контролем в реальном времени и выводом
всех параметров на дисплей,
 оптимизация для разработки новых процессов с помощью
интерактивного контроля процесса и его редактирования,
 режим технического обслуживания для диагностики и калибровки
системы.
система
поддерживает
высокоскоростное
Интернет-соединение,
защищенное брандмауэром, а также соединение по VPN (виртуальной
частной сети).
под
управлением
ОС
Windows,
процессором Intel Pentium,
512 Мб ОЗУ и жеским диском,
17-дюймовым ЖК-монитором,
мышкой и клавиатурой.
Рамку и панель для оборудования.
Охладитель с хладагентом для контроля температуры реактора,
турбомолекулярного насоса и катода. Температура от 5 до 25°С,
потребляемая мощность при 20°С – 2,2 КВт.
Дополнительное оборудование
Автоматический лазерный датчик окончания процесса с CCD-камерой для
наблюдения за лазером (Ø25 µм) и предмета травления. Он укомплектован
линзами с кратностью увеличения более 100 раз. Датчик измеряет степень
травления, толщину протравленной поверхности и определяет окончание
процесса. Также датчик укомплектован специальной поверхностью, двигающуюся
в двух направлениях для точного позиционирования лазера.
Оборудование и его компоновка
Установка
Corial 200R
Длина
1,2 м
Ширина
0,7 м
Высота
1,4 м
Технические
требования
установки Corial 200R
















для
Электрообеспечение системы: 400 В (±10%) 3 фазы + нейтраль +
заземление / КВА, 50/60 Гц.
Электрообеспечение охладителя: 240 В (±10%) 1 фаза + нейтраль +
заземление / 7 КВА, 50/60 Гц.
* по умолчанию охладитель запитан от системы.
Электрообеспечение ПК: 240 или 110 В (±10%) 1 фаза + нейтраль +
заземление / 0,8 КВА, 50/60 Гц.
Электрообеспечение монитора: 240 или 110 В (±10%) 1 фаза + нейтраль
+ заземление / 0,4 КВА, 50/60 Гц.
Общее энергопотребление в режиме процессинга 10,3 КВт.
Общее энергопотребление в режиме ожидания 3,1 КВт.
Сбрасываемая мощность в чистую комнату в режиме процессинга 3,2 КВт
Сбрасываемая мощность в помещение перед чистой комнатой в режиме
процессинга 3,5 КВт.
Сухой и фильтрованный азот с регулятором давления (от 0 до 3 атм.).
Регулятор заказывается покупателем.
Подводка азота: полиамидный шланг Ø4/6 мм.
Сжатый воздух, давление >7 атм., фитинг Ø4/6 мм, полиамидный шланг.
Вытяжка производительностью ≥10 м3/ч, соединение через ПВХ-трубу Ø80
мм.
Подводка газа трубами из нержавеющей стали (316L) с клапанами и
регуляторами давления от 0 до 3 атм.
* для жидкостей (SF6, CHF3, CF4 и т.д.) должно быть установлено два
регулятора
Окончание подводки газа: фитинг Ø4/6 мм с разъемом VCR «мама».
Качество газа – для электронной промышленности.
Дополнительно: телефонная линия с ADSL-технологией.