Customer Facing Division Review

Презентация насосов
серии GV-Drystar и
технологии безмаслянной
откачки
Принцип работы
Безконтактный когтевой механизм
Самоизолирующий принцип
Эффективный коэффициент сжатия
Полное отсутствие масла в объеме
Регулируемая температура корпуса
•
Лучшие условия для откачки паров
Надежный и простой механизм
•
Устойчив к транспортированию пыли
Газобалластное устройство большой емкости
•
•
Предотвращение конденсации
Безопасная откачка опасных сред
ИДЕАЛЬНЫЙ МЕХАНИЗМ ВАКУУМНОГО
НАСОСА
Принцип работы
Механизм с когтевым захватом
•
•
Эффективное сжатие потока
Простой, компактный механизм
3х ступенчатый механизм
Запатентованный механизм
обращенной формы ротора
•
•
•
2ая ступень насоса имеет обратную
остальным ступеням форму
Более короткий газовый тракт
Максимальная скорость газового потока,
малое время цикла
Когтевой механизм
в действии
Впуск газа
Впуск газа
Конец стадии впуска газа
Впуск и выпуск насоса
изолированы
Стадия сжатия
Выпуск газа
Разрез когтевого насоса с
дополнительной ступенью Рутса
Газовый тракт
BOC Edwards
запатентовано
Откачные агрегаты с насосами
Рутса
Механические бустеры
Усиление откачки: глубина
откачки/скорость откачки
Привод с гидрокинетической
муфтой
•
•
Меньшее энергопотребление,
Отсутствие байпассных линий и реле
давлений
* - некоторые ограничения при
продолжительной работе на
давлениях выше 100 Torr
Механические бустеры серии EH
• Диапазон производительности
250-4200 м3/ч
• Запатентованный гидрокинетический
привод
• Версии привода вращения с
углеводородным либо
фторсодержащим маслом
• Давление запуска - атмосфера
• Уникальное уплотнение вала вращения
Схема – разрез насоса Рутса
Газовый поток
Впуск
Выпуск
Сопрягающиеся ротора
СТАДИИ РАБОТЫ НАСОСА РУТСА
впуск
2
1
3
1
6
выпуск
5
4
Обратный поток в области низкого вакуума
Стадия сжатия
Обратный поток
Преимущества
запатентованной технологии
Гидро-привод
Преимущества
запатентованной технологии
Параметры насосов Рутса
Насос Рутса не является компрессором, и
предназначен для транспортирования
больших объемов газа
Насос Рутса работает при определенном
перепаде давлений
Для работы необходим форвакуумный
насос
Наиболее эффективная откачка в
диапазоне давлений от 1 до 10-2 мбар
Рабочий зазор 0.1-0.5 мм
Скорость откачки от 150 до 30,000 м3ч-1
Особенности Технологии
BOCE – использует только безмаслянные
агрегаты откачки на основе когтевых
насосов производительностью от 40 м3/ч до
600 м3/ч.
Бесконтактный износоустойчивый механизм
Короткий газовый тракт – без
необходимости установки межступенчатых
газоохладителей
Высокая компрессия потока позволяет
эффективно транспортировать потоки с
высоким содержанием пыли и частиц
Преимущества «сухих» насосов
Высокая производительность
Стабильность процесса откачки
Высокий предельный вакуум
БЕЗМАСЛЯННЫЙ ВАКУУМ –
ЧИСТЫЙ ПРОЦЕСС
КРИВЫЕ ОТКАЧКИ
Vacuum Pump Comparison
1000
900
800
Capacity M3/hr
700
600
EH500 + GV160
500
MB400 + KTC112
EH1200 + GV160
400
300
200
100
0
0.00001
0.0001
0.001
0.01
0.1
Pressure mbara
1
10
100
1000
Достоинства
предлагаемой системы
ЭКОНОМИЧНОСТЬ:
Отсутствует масло: отсутствует масляный фильтр,
нет необходимости в утилизации отработанной
жидкости, нет необходимости в фильтрах масляного
тумана
Увеличивается производительность производства
Простое обслуживание: не требует замены масла,
не требует смены масляного фильтра,
периодичность кап.ремонта 6 лет, нет протечек
масла, нет потерь вакуума.
Простое обслуживание пылевых фильтров:
сетчатые очищаемые экраны
Сокращение времени откачки: требуется меньшее
количество операций по чистке вакуумной
магистрали
(допускаемая зернистость пыли <50 микрон) 
меньшее газовыделение
Преимущества
предлагаемой системы
Улучшенное качество проведения технологического
процесса:
Значительно меньшие вибрации
Высокое качество вакуума ( время откачки &
стабильный уровень рабочего вакуума ): отсутствие
углеводородов или двуокиси кремния в расплаве и
рабочей камере.
Повторяемость откачных характеристик от цикла к
циклу
Отсутствие масляных протечек
Стабильность откачных характеристик от условий
окружающей среды ( «сухие» насосы имеют
высокую производительность по откачке паров )
Большая производительность по Аргону
( специально адаптированное рабочее тело насоса )
Мониторинг системы, Возможность сигнализации
Технические параметры GV160
Тип уплотнения
Безмаслянный
Тип насоса
GV160
Откачиваемая среда
Ar с высоким содержанием
SiО
Производительность (м3/ч)
200
Давление на входе (A) 0.01мбар
0.001мбар ( с
насосом Рутса)
Температура на входе в насос (oC) 20
Давление на выходе (барA)
1.13
Потребляемая эл.энергия (кВт)
4.2
Установленная мощность (кВт)
7.5
Тип привода
прямой
Охлаждающая жидкость
Вода
Температура охл.воды (oC)
20
Расход охл.воды (л/мин)
25 (при установке
термоклапана
расход уменьшается)
Измеренный уровень шума
на расстоянии 1 м
<79дБ’
Технические характеристики
EH1200
Тип уплотнения
Безмасляный
Тип насоса
Рекомендуемое масло
Производительность (м3/ч)
EH1200
на выбор
1000
Входное давление (A)
1013 до 0.001 мбар
Температура на входе (oC)
Выходное давление
Потребляемая эл.энергия (кВт)
20
требует фор.насоса
менее 3 (в
зависимости
уровня
от
вакуума)
Установленная мощность (кВт)
Тип привода
Тип охлаждения
Температура охл. воды (oC)
Расход охлаждающей воды (л/мин)
Измеренный уровень шума
На расстоянии 1 м
3
гидрокинетическая
муфта
(не требуется доп.
переключателей)
Воздух ( Вода по
требованию)
20
2 ( если есть)
<77дБ
Стоимость компонент
системы
Вакуумпровод деталировка:
Drystar GV160+EH1200
= 36.400 ЕВРО
Входная пылевая ловушка ITM 3000 (50 микронная
сетка)
= 3.022 ЕВРО
Изолирующий клапан с ручным приводом QSB 160
=2.146 ЕВРО
Фильтр-глушитель ITM 3000
= 3.022 ЕВРО
ИТОГО = 44.590 ЕВРО
Объем Поставки
BOC Edwards GV160 Drystar/EH1200
откачная система, включая:
•



•
•
•
•
BOC Edwards Drystar GV160 вакуумный насос, включая:
Электродвигатель WEG 7.5 kW 415/3/50.
Встроенная система охлаждения, включая ручной
термоклапан Danfoss с термостатом (TCV-1)
Термо-сигнализация.
EH 1200 насос Рутса, включая электродвигатель 3 kW
415/3/50
Входная пылеулавливающая ловушка ITM3000
(нерж.сталь).
Изолирующий клапан QSB 160
Выходной фильтр-глушитель ITM3000 (нерж.сталь) – по
требованию
Обсуждение предагаемых
вариантов
Предлагаемые варианты вакуумных насосов были
выбраны, из спектра наиболее используемых в данной
области промышленности в странах Европы, США и
Японии
Выбор
агрегата
согласуется
с
требуемой
производительностью и собственными параметрами
насосов
Предлагая комбинацию GV/EH безмаслянных насосов,
компания считает данный тип оборудования наиболее
подходящим
для
Вашего
тех.процесса.
При
необходимости компания, также, может предложить
агрегаты меньшей производительности. Обращаем
Ваше внимание, что компания может поставить насосы с
масляным уплотнением, если будет принято решение в
их необходимости.
Основные параметры
предлагаемой системы
Соответствие требованиям по вакууму и
надежный механизм насоса
По окончании каждого цикла требуется
продувка насоса потоком аргона ( 20 л/мин в
течении 10 мин. )
Достигаемый вакуум при рабочем потоке
аргона (10 Torr / 30 slm Ar )*.
* Не обеспечивается при эксплуатации
золотниковых насосов
Объем поставки, Киев
ПИЛАР
Вакуумная схема установки.
Деталировка ( насос, входной фильтр, запорная
арматура, коммуникации, выходной фильтр )
Соответствие, имеющимся требованиям
(присоединительные фланцы, эл.питание)
Деталировка выхлопной линии  ловушка +
очистка выхлопа ( Ar + SiO, не должны быть
подключены к фильтрам масляного тумана)
BOCE пусконаладка и гарантийное обслуживание
Сравнения стоимости
эксплуатации насосов
Стоимость эксплуатации
€ 67 000
€ 62 000
"сухие" насосы
капиталовложения
€ 57 000
ПРМ насосы
ЗМ насосы
€ 52 000
€ 47 000
€ 42 000
€ 37 000
€ 32 000
€ 27 000
€ 22 000
€ 17 000
0
1
2
3
4
Год эксплуатации
5
6
7
Габаритные размеры
предлагаемого оборудования
GV 160 / EH 1200 комбинация
 Длина: 1213 мм
 Ширина: 550 мм
 Высота: 975 мм
 Вес нетто, (без масла): 500 кг
замечание
Размеры приведены для справки и подлежат
уточнению при проектировании установки
•
Пусконаладочные работы и
обучение
Подробный инструктаж по обслуживанию
насосов на месте
Капитальный ремонт раз в 6 лет, согласно
рекомендациям по эксплуатации
УСЛОВИЯ ПОСТАВКИ
Срок поставки - 10 недель
Проектная документация по замене масляных
насосов на «сухие» насосы (деталировка
вакуумпроводов, сборочные чертежи, схемы
подключения инженерных коммуникаций)
2 года гарантии
РЕФЕРЕНЦИИ
Полупроводниковое производство Bullen, США эксплуатирует данные
насосы уже более 5ти лет. На откачке основной камеры используется
комбинация насосов GV160-EH1200, и насосы GV160 для откачки
шлюзовых камер.
Данные насосы оборудованы системой продувки и шумоизолирующим
корпусом, а также интегрированы с управляющей ЭВМ. В процессе
эксплуатации установки насосы требовали минимум технического
обслуживании и надежно зарекомендовали себя при работе во
внештатных ситуациях.
При имевших место прорывах входного фильтра чатицы SiO попадали
в рабочую полость насоса. Когтевой механизм GV насоса позволяет
транспортировать газовые потоки с высоким содержанием пыли и
создает избыточное давление, достаточное для удаления твердых
включений на выхлоп.
СЕРВИС И ОБСЛУЖИВАНИЕ
ПРЕДЛАГАЕМОГО ОБОРУДОВАНИЯ
BOC EDWARDS обеспечит
производства инженерами
из местных
представительств для
запуска, обслуживания и
ремонта оборудования.
Каждое представительство имеет сервис центр с
достаточным набор услуг и сервис-инженерами,
прошедшими всестороннюю подготовку по
обслуживанию оборудования BOC EDWARDS.