Вакуумная техника Вариант 1 07

МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОНИКИ И МАТЕМАТИКИ
(ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)
Вопросы для оценки остаточных знаний
Вариант № 1
Дисциплина: "Вакуумная техника"
Специальность: 210107 "Электронное машиностроение"
Группа: ______
Студент: ________________________________________________________________________
Преподаватель: ___________________________________________________________________
1. Какова масса газовых молекул, составляющих атмосферу
Ответы:
5,0  10-6 кг
5,0  10-12 кг
5,0  10-26 кг
5,0  10-18 кг
2. Какой параметр газовой среды определяет величину удельного газового
потока Q
Ответы:
- число молекул газа, пересекающих единичную площадку в
единицу времени  1 ;
- температура газа Тгаз;
- площадь поперечного сечения трубы Аком;
- плотность газа, газ.
3. В каком диапазоне давлений применяются механические ротационные
насосы
Ответы:
- от 105 Па до 1 Па;
- от 100 Па до 10-2 Па;
- от 1 Па до 10-5 Па;
- от 10 Па до 10-4 Па.
4. Что такое предельное разрежение вакуумного насоса
Ответы:
- минимальное давление газа, установившееся в сечении
входного патрубка работающего вакуумного насоса;
- максимальное давление газа во время работы вакуумного
насоса;
- давление газа на выходном фланце вакуумного насоса;
- среднее давление газа в работающем вакуумном насосе.
5.
Как
называется
основной
конструктивный
турбомолекулярных насосах
Ответы:
- ротор (турбина);
- пластина с наклонным пазом;
- пластина с отверстиями;
- высокооборотный электродвигатель.
Дата: _______________
Подписи:
__________________
(студент)
элемент
в
__________________
(преподаватель)
МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОНИКИ И МАТЕМАТИКИ
(ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)
Вопросы для оценки остаточных знаний
Вариант № 1
Дисциплина: "Вакуумная техника"
Специальность: 210107 "Электронное машиностроение"
Группа: ______
Студент: ________________________________________________________________________
Преподаватель: ___________________________________________________________________
6. Что является основным рабочим органом сублимационного вакуумного
насоса
Ответы:
- внутренняя поверхность корпуса насоса;
- бифилярный испаритель титана;
- «азотный» экран;
- постоянно возобновляемая пленка титана на внутренней
поверхности азотного экрана.
7. Укажите рабочий диапазон давлений тепловых манометрических
преобразователей сопротивления
Ответы:
- от 105 – 101 Па;
- от 101 – 10-2 Па;
- от 10-1 – 10-4 Па;
- от 10-2 – 10-6 Па.
8. Какое соотношение, присущее газовой молекуле, положено в основу
анализа разреженной газовой среды
Ответы:
- отношение mi /е (отношение массы иона к заряду);
- отношение m 0 /vср (отношение массы молекулы к ее
скорости);
- отношение m 0 /Т (отношение массы молекулы к ее
температуре);
- отношение mi /Е (отношение массы иона к напряженности
электрического поля).
9. Предложите один из вариантов классификации вакуумных систем
Ответы:
- по степени разрежения;
- по функциональному назначению;
- по применяемым средствам откачки;
- по размеру рабочей камеры;
- по производительности средств откачки.
10. Какие средства откачки применяются в установках плазмохимического
травления
Ответы:
- диффузионные пароструйные насосы;
- двухроторные вакуумные насосы (насосы Рутса);
- ионосорбционные высоковакуумные насосы;
- сублимационные испарительные высоковакуумные насосы.
Дата: _______________
Подписи:
__________________
(студент)
__________________
(преподаватель)