Физико-химические основы процессов микро

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ
РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение
высшего профессионального образования
«ТЮМЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ»
Физико-технический институт
Кафедра микро- и нанотехнологий
Удовиченко С.Ю.
ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ПРОЦЕССОВ
МИКРО- И НАНОТЕХНОЛОГИЙ
Учебно-методический комплекс. Рабочая программа
для студентов направления 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника»,
форма обучения очная
Тюменский государственный университет
2015
Удовиченко Сергей Юрьевич. Физико-химические основы процессов микро- и
нанотехнологий. Учебно-методический комплекс. Рабочая программа для студентов
направления 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», форма обучения
очная. Тюмень, 2015, 17 стр.
Рабочая программа составлена в соответствии с требованиями ФГОС ВО с учетом
рекомендаций и ПрОП ВО по направлению и профилю подготовки.
Рабочая программа дисциплины (модуля) опубликована на сайте ТюмГУ: Физикохимические основы процессов микро- и нанотехнологий [электронный ресурс] / Режим
доступа: http://www.umk3.utmn.ru , раздел «Образовательная деятельность», свободный.
Рекомендовано к изданию кафедрой микро- и нанотехнологий. Утверждено
директором Физико-технического института.
ОТВЕТСТВЕННЫЙ РЕДАКТОР: Кислицын А.А., д. ф.-м. н., профессор, зав. кафедрой
микро- и нанотехнологий.
© Тюменский государственный университет, 2015.
© Удовиченко С.Ю., 2015.
1. Пояснительная записка
1.1 Цели и задачи дисциплины (модуля)
Цель дисциплины: дать студентам достаточно глубокие знания в области физикохимических технологических процессов формирования нанокластеров, наноматериалов и
наносистем.
Задачи дисциплины:
 изучить основные методы получения наноматериалов и наносистем;
 ознакомиться с перспективными разработками в области нанотехнологий;
 изучить
аналитические
методы
описания
физико-химических
нанотехнологических процессов.
1.2 Место дисциплины в структуре образовательной программы
Дисциплина «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий»
является обязательной дисциплиной, которая входит в вариативную часть Блока 1
«Дисциплины (модули)».
Для ее успешного изучения необходимы знания и умения, приобретенные (или
приобретаемые параллельно) в результате освоения предшествующих дисциплин: «Общая
физика», «Химия», «Математический анализ», «Метрология, стандартизация и
технические измерения», «Физические основы микро- и наносистемной техники»,
«Электротехника»,
«Материаловедение
наноструктурированных
материалов»,
«Радиоэлектроника», «Физика плазмы», «Физика конденсированного состояния»,
«Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем»
Освоение дисциплины «Физико-химические основы процессов микро- и
нанотехнологий» необходимо для успешного освоения дисциплины «Методы анализа и
контроля наноструктурированных материалов и систем» и подготовки и написания
выпускной квалификационной работы.
Таблица 1.
Разделы дисциплины и междисциплинарные связи с обеспечиваемыми
(последующими) дисциплинами
№ Наименование
Темы дисциплины необходимые для изучения
п/п обеспечиваемых
обеспечиваемых (последующих) дисциплин
(последующих) дисциплин
1.1
1.2
2.1
3.1
1.
2.
Методы анализа и контроля
наноструктурированных
материалов и систем
Выпускная
квалификационная работа
+
+
+
+
+
+
+
+
1.3 Компетенции обучающегося, формируемые в результате освоения данной
образовательной программы.
В результате освоения ООП бакалавриата выпускник должен обладать следующими
компетенциями:
способностью проводить физико-математическое моделирование исследуемых
процессов нанотехнологии и объектов нано- и микросистемной техники с использованием
современных компьютерных технологий (ПК-1);
готовностью использовать базовые технологические процессы и оборудование,
применяемые в производстве материалов, компонентов нано- и микросистемной техники
(ПК-8).
1.4 Перечень планируемых результатов обучения по дисциплине (модулю):
В результате освоения дисциплины обучающийся должен:
Знать:


физико-химические основы процессов получения нанокластеров, табулярных
наноструктур, нанопленок, 3D-наноструктур, объемных наноматериалов,
наносистем;
принципы построения и конструкцию технологического оборудования для
основных процессов формирования наноматериалов и наносистем.
Уметь:
 демонстрировать понимание научных принципов, лежащих в основе физикохимических процессов формирования наноматериалов и наносистем;
 аргументировано выбирать процессы и методы для решения задач
высокотехнологичного производства;
 правильно обосновать полученные экспериментальные результаты и описать их
аналитически.
Владеть:
 навыками
формирования
технологических
процессов
по
созданию
наноматериалов и наносистем.
2. Структура и трудоемкость дисциплины.
Семестр – 8. Форма промежуточной аттестации – экзамен. Общая трудоемкость
дисциплины составляет 5 зачетных единиц, 180 академических часов, из них 100,05 часов,
выделенных на контактную работу с преподавателем (в том числе 4,05 - иные виды
контактной работы), 80 часов, выделенных на самостоятельную работу.
3. Тематический план
Таблица 2.
1.1
1.2
2.1
Модуль 1
Физико-химические основы
процессов получения
нанокластеров, матричных
и компактированных
наноматериалов.
Физико-химические основы
процессов получения
табулярных наноструктур.
Всего
Модуль 2
Физико-химические основы
процессов получения
нанопленок
Всего
Самостоятельная
работа*
Семинарские
(практические)
занятия
Лабораторные
занятия
Виды учебной работы и
самостоятельная работа,
в час.
Лекции
Тема
недели семестра
№
Итого Из них
Итого
часов
в
количес
по
интерак
тво
теме
тивной баллов
форме,
в часах
1-3
7
11
5
18
41
7
0-18
4-5
2
7
5
10
24
2
0-12
9
18
10
28
65
9
0-30
7
13
6
24
50
13
0-30
7
13
6
24
50
13
0-30
6-8
3.1
Модуль 3
Физико-химические основы
процессов создания 3Dнаноструктур и наносистем.
Всего
Итого (часов, баллов):
Из них в интеракт. форме
911
8
17
8
32
65
14
0-40
8
24
24
17
48
12
8
24
32
84
65
180
14
36
36
0-40
0-100
* Самостоятельная работа (включая иные виды контактной работы)
4. Виды и формы оценочных средств в период текущего контроля
0-16
0-16
0-8
0-8
0-3
0-3
0-3
0-3
0-30
0-30
0-16
0-16
0-48
0-8
0-8
0-24
0-3
0-3
0-9
0-3
0-3
0-9
0-40
0-40
0 – 100
другие формы
0 – 18
0 - 12
0-30
электронные
практикумы
0-2
0-1
0-3
программы
компьютерного
тестирования
комплексные
ситуационные
задания
0-2
0-1
0-3
эссе
0-4
0-4
0-8
реферат
0-10
0-6
0-16
тест
контрольная
работа
Письменные работы
Информаци
онные
системы и
технологии
лабораторная
работа
0-10
0-10
0-10
Технические
формы
контроля
ответ на семинаре
Модуль 1
1.1
1.2
Всего
Модуль 2
2.1
Всего
Модуль 3
3.1
Всего
Итого
собеседование
Устный опрос
коллоквиумы
№
Темы
Итого количество баллов
Таблица 3.
5. Содержание дисциплины.
Модуль 1
Тема 1.1 Физико-химические основы процессов получения нанокластеров,
матричных и компактированных наноматериалов. Физико-химические основы
процессов осаждения кластеров из коллоидных растворов. Физико-химические основы
процессов конденсации кластеров из газовой фазы. Физико-химические основы процессов
механосинтеза нанокластеров. Физико-химические основы процессов компактирования
нанопорошков.
Тема 2.1 Физико-химические основы процессов получения табулярных
наноструктур. Физико-химические основы процессов синтеза нанотрубок из газовой
фазы. Физико-химические основы процессов синтеза нанотрубок по Принц-технологии.
Модуль 2
Тема 2.1 Физико-химические основы процессов получения нанопленок.
Физико-химические основы процессов осаждения наноразмерных пленок методом PVD.
Физико-химические основы процессов осаждения наноразмерных пленок методом
молекулярно-лучевой эпитаксии. Физико-химические основы процессов осаждения
нанопленок ионно-лучевым методом. Физико-химические основы процессов осаждения
тонких пленок методом CVD. Физико-химические основы процессов получения
нанопленок методом молекулярного наслаивания. Физико-химические основы процессов
получения нанопленок методом Ленгмюра-Блоджетт. Физико-химические основы
процессов получения органо-неорганических покрытий с помощью золь-гель технологии.
Модуль 3
Тема 3.1 Физико-химические основы процессов создания 3D-наноструктур и
наносистем. Физико-химические основы процессов литографии. Физико-химические
основы процессов ионной имплантации. Физико-химические основы процессов
плазмохимического
травления.
Физико-химические
основы
процессов
наноструктурирования приповерхностного слоя материалов. Физико-химические основы
процессов резки, шлифовки, полировки.
6. Планы семинарских занятий.
Модуль 1
Тема 1.1
Физико-химические основы процессов осаждения кластеров из коллоидных
растворов.
Физико-химические основы процессов конденсации кластеров из газовой фазы.
Физико-химические основы процессов механосинтеза нанокластеров.
Физико-химические основы процессов компактирования нанопорошков.
Тема 2.1
Физико-химические основы процессов синтеза нанотрубок из газовой фазы.
Физико-химические основы процессов синтеза нанотрубок по Принц-технологии.
Модуль 2
Тема 2.1
Физико-химические основы процессов осаждения наноразмерных пленок методом
PVD.
Физико-химические основы процессов осаждения наноразмерных пленок методом
молекулярно-лучевой эпитаксии.
Физико-химические основы процессов осаждения нанопленок ионно-лучевым
методом.
Физико-химические основы процессов осаждения тонких пленок методом CVD.
Физико-химические основы процессов получения нанопленок методом
молекулярного наслаивания.
Физико-химические основы процессов получения нанопленок методом ЛенгмюраБлоджетт.
Физико-химические основы процессов получения органо-неорганических
покрытий с помощью золь-гель технологии.
Модуль 3
Тема 3.1
Физико-химические основы процессов литографии.
Физико-химические основы процессов ионной имплантации.
Физико-химические основы процессов плазмохимического травления.
Физико-химические основы процессов наноструктурирования приповерхностного
слоя материалов.
Физико-химические основы процессов резки, шлифовки, полировки.
7. Темы лабораторных работ (Лабораторный практикум).
Лабораторная работа №1
Тема: Получение нанокластеров металлов из катодного пятна вакуумной дуги.
Название опыта: Изучение нанокластеров металлов, получаемых из катодного пятна
вакуумной дуги.
Объекты изучения: нанокластеры металлов.
Необходимый инструментарий: установка УВНИПА-1-001, рентгеновский
дифрактометр, зондовый микроскоп NanoEducator.
Лабораторная работа №2
Тема: Получение углеродных нанотрубок и нановолокон.
Название опыта: Изучение технологии получения углеродных нанотрубок и
нановолокон методом электродугового разряда в газовой фазе.
Объекты изучения: углеродные нанотрубки и нановолокна, принцип действия и
конструкция установки для получения углеродных нанотрубок и нановолокон в газовом
разряде.
Необходимый инструментарий: установка для получения углеродных нанотрубок и
нановолокон, зондовый микроскоп NanoEducator.
Лабораторная работа №3
Тема: Получение нанопленок методом Ленгмюра-Блоджетт.
Название опыта: Изучение метода Ленгмюра-Блоджетт для получения нанопленок
Объекты изучения: конструкция и принцип действия установки для получения
нанопленок методом Ленгмюра-Блоджетт.
Необходимый инструментарий: установка для получения нанопленок методом
Ленгмюра-Блоджетт.
Лабораторная работа №4
Тема: Получение наноразмерных пленочных покрытий методом ионного
распыления.
Название опыта: Изучение технологии получения наноразмерных пленок методом
распыления материала пучком ионов аргона.
Объекты изучения: технология и оборудование для получения нанопленок методом
ионного распыления.
Необходимый инструментарий: установка «ИОН», микроинтерферометр МИИ-4М,
зондовый микроскоп NanoEducator.
Лабораторная работа №5
Тема: Очистка поверхности материала плазмохимическим методом
Название опыта: Очистка поверхности образцов из металла плазмохимическим
методом.
Объекты изучения: технология плазмохимического травления.
Необходимый инструментарий: установка «ИОН», микроинтерферометр МИИ-4М.
Лабораторная работа №6
Тема: Получение 3D-наноструктур имплантацией наноразмерными пучками
различных ионов.
Название опыта: Изучение процессов формирования 3D-наноструктур с заданными
свойствами, используя наноразмерные ионные пучки.
Объекты изучения: технология получения 3D-наноструктур с
наноразмерных ионных пучков.
Необходимый
инструментарий:
ФИП-имплантер
установки
форматирования, зондовый микроскоп NanoEducator.
помощью
ионного
8. Учебно-методическое обеспечение и планирование самостоятельной работы
студентов.
Таблица 4 .
№
Модули и темы
Виды СРС
обязательные
Модуль 1
1.1 Физикохимические
основы процессов
получения
нанокластеров,
матричных и
компактированных
наноматериалов.
1.2 Физикохимические
основы процессов
получения
табулярных
наноструктур.
Всего
Модуль 2
2.1 Физикохимические
основы процессов
получения
нанопленок.
Всего
Модуль 3
3.1 Физикохимические
основы процессов
создания 3Dнаноструктур и
наносистем
Всего
Итого
*
Самостоятельная
Неделя
семестра
дополнительные
1. Работа с учебной
литературой.
2. Выполнение
домашнего задания
3. Проработка
лекций
Докладпрезентация
1. Работа с учебной
литературой.
2. Выполнение
домашнего задания
3. Проработка
лекций
Докладпрезентация
1. Работа с учебной
литературой.
2. Выполнение
домашнего задания
3. Проработка
лекций
1. Работа с учебной
литературой.
2. Выполнение
домашнего задания
3. Проработка
лекций
работа
(включая
Объем
часов*
Кол-во
баллов
1-3
18
0-2
4-5
10
0-1
28
0-3
24
0-3
24
0-3
32
0-13
32
84
0-13
0-19
Докладпрезентация
6-8
Докладпрезентация
9-11
иные
виды
контактной
работы)
9. Фонд оценочных средств для проведения промежуточной аттестации по итогам
освоения дисциплины (модуля).
9.1 Перечень компетенций с указанием этапов их формирования в процессе освоения
образовательной программы (выдержка из матрицы компетенций):
Таблица 5.
Выдержка из матрицы компетенций
ПК-1 Способность проводить физико-математическое моделирование исследуемых
процессов нанотехнологии и объектов нано- и микросистемной техники с использованием
современных компьютерных технологий
Б1.В.ДВ.4.1 Вычислительная физика
4 семестр
Б1.Б.16
Физические основы микро- и наносистемной техники 5 семестр
Б1.В.ОД.3.3 Электродинамика
5 семестр
Б1.В.ОД.3.4 Квантовая теория
6 семестр
Б1.В.ОД.3.5 Физика конденсированного состояния
7 семестр
Б1.В.ОД.3.6 Термодинамика
7 семестр
Б1.В.ОД.6
Тепломассоперенос
7 семестр
Б1.В.ДВ.6.2 Методы моделирования физических процессов
6 семестр
Б1.В.ДВ.8.1 Прикладная термодинамика
7 семестр
Б1.В.ДВ.8.2 Гидродинамика
7 семестр
Б1.В.ДВ.9.2 Микро- и нанофлюидика
7 семестр
Б1.Б.21
Физико-химические основы процессов микро- и 8 семестр
нанотехнологий
Б1.Б.23
Моделирование и проектирование микро- и 8 семестр
наносистем
Б1.В.ДВ.10.1 Рентгеноструктурный и рентгенофазовый анализ
8 семестр
Б1.В.ДВ.10.2 Фазовые переходы в гетерогенных средах
8 семестр
ПК-8 Готовность использовать базовые технологические процессы и оборудование,
применяемые в производстве материалов, компонентов нано- и микросистемной техники.
Б1.В.ОД.5
Физика плазмы
6 семестр
Б1.Б.21
Физико-химические основы процессов микро- и 8 семестр
нанотехнологий
ПК-1
Код компетенции
9.2 Описание показателей и критериев оценивания компетенций на различных
этапах их формирования, описание шкал оценивания:
Таблица 6.
Карта критериев оценивания компетенций
Критерии в соответствии с уровнем освоения ОП
пороговый
(удовл.)
61-75 баллов
базовый (хор.)
76-90 баллов
повышенный
(отл.)
91-100 баллов
Знает:
процессы
взаимодействия
заряженных частиц с
веществом;
оборудование, в
котором используют
эти процессы
Знает:
физико-химические
основы
процессов
получения
наноматериалов
Знает:
физико-химические
основы процессов
литографии, ионной
имплантации и
плазмохимического
травления
Умеет:
выбирать модели
процессов получения
наноматериалов и
правильно
обосновать
результаты расчетов
Умеет:
моделировать
процессы
механосинтеза
наноразмерных
кластеров, трубок и
пленок
Умеет:
моделировать
процессы
литографии, ионной
имплантации,
плазмохимического
травления
Владеет:
навыками
моделирования
взаимодействия
заряженных частиц с
веществом
Владеет:
навыками
компьютерного
моделирования
физико-химических
процессов при
получении
материалов с
требуемыми
фазовым составом и
физическими
свойствами
Владеет:
навыками
моделирования
процессов создания
сложных
наноструктур и
наноустройств
Виды занятий
(лекции,
семинарские,
практические,
лабораторные)
Оценочные
средства
(тесты,
творческие
работы,
проекты и
др.)
лекции;
семинары;
самостоятельная
работа студентов
контрольные
работы;
экзаменацион
ные вопросы
ПК-8
Знает:
оборудование
для
синтеза из газовой
фазы;
методику измерения
рельефа поверхности
в режиме
туннельного тока;
методику получения
изображения с
помощью
электронной
микроскопии;
способы применения
вакуумной техники
в производстве
наноматериалов и
систем
Знает:
оборудование
для
синтеза из газовой
фазы, плазменного
осаждения;
методики
формирования
поверхности методом
электронно-лучевой
литографии,
магнетронного
напыления и плазмохимического
травления;
базовые
технологические
процессы и
оборудование,
применяемые в
производстве
наноматериалов и
систем
Знает:
оборудование
для
синтеза из газовой
фазы, плазменного
осаждения и ионной
имплантации;
методику определения
количественного
элементного состава с
помощью
энергодисперсионного
спектрального
анализа;
методику
количественного
элементного анализа
методом вторичноионной массспектроскопии;
особенности,
достоинства и
недостатки при
выборе технологии и
оборудования
Умеет:
выбрать
необходимое
оборудование для
соответствующего
техпроцесса;
работать с растровым
электронным и
сканирующим
зондовым
микроскопами;
выбрать
необходимое
оборудование для
соответствующего
техпроцесса
Умеет:
обеспечивать работу
оборудования в
заданном
технологическом
режиме;
работать с
электронным
микроскопом,
магнетронным и
плазмо-химическим
модулями;
обеспечивать работу
оборудования в
заданном
технологическом
режиме
Умеет:
обеспечивать
надежность,
безопасность и
бесперебойную
работу вакуумной
электроустановки;
работать с
электронным
микроскопом и
системой вторичноионной массспектроскопии;
обеспечивать
надежность,
безопасность и
бесперебойную
работу
технологического
оборудования
Владеет:
навыками анализа
наноматериалов на
металлографическом
микроскопе;
методиками
измерения давления
и расхода газа в
технологических
модулях;
навыками
эксплуатации
простых вакуумных
устройств и
измерительной
аппаратуры
Владеет:
навыками анализа
наноматериалов на
зондовом
микроскопе;
методиками
измерения
параметров плазмы и
осаждаемых
покрытий;
навыками
эксплуатации
вакуумных устройств
и технологических
модулей
Владеет:
навыками
анализа
наноматериалов на
электронном
микроскопе;
знаниями для выбора
методики
исследования
параметров и
характеристик
материалов;
навыками
эксплуатации
сложных
электроустановок
лекции;
семинары;
самостоятельная
работа студентов
контрольные
работы;
экзаменацион
ные вопросы
9.3 Типовые контрольные задания или иные материалы, необходимые для оценки
знаний, умений, навыков и (или) опыта деятельности, характеризующей этапы
формирования компетенций в процессе освоения образовательной программы.
Примерные задания для контрольной работы №1
1. Опишите схему нуклеации возможного механизма образования фуллеренов.
2. Опишите схему образования кластеров при конденсации из газовой фазы.
3. Опишите схему получения нанотрубок по методу В.Я.Принца.
Примерные задания для контрольной работы №2
1. Чем определяются свойства наноразмерных пленок, получаемых методом PVD.
2. Опишите этапы получения многослойных покрытий методом Ленгмюра-Блоджетт.
3. Особенности метода ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок.
Примерные задания для контрольной работы №3
1. Рассмотрите физические ограничения определяющие минимальный размер
получаемых элементов с помощью электронно-лучевой и ионно-лучевой
литографии.
Примерные вопросы к экзамену
1. Получение нанокластеров из коллоидных растворов.
2. Синтез нанокластеров из газовой фазы.
3. Механосинтез нанокластеров.
4. Нетрадиционные методы получения нанокластеров.
5. Методы компактирования нанопорошков.
6. Синтез углеродных нанотрубок из газовой фазы.
7. Химический синтез углеродных нанотрубок .
8. Метод В.Я. Принца получения табулярных наноструктур.
9. Осаждение наноразмерных пленок методом PVD.
10. Осаждение наноразмерных пленок методом молекулярно-лучевой эпитаксии.
11. Осаждение нанопленок ионно-лучевым методом.
12. Осаждение тонких пленок методом CVD.
13. Получение нанопленок методом молекулярного наслаивания.
14. Получение нанопленок методом Ленгмюра-Блоджетт.
15. Получение органо-неорганических покрытий с помощью золь-гель технологии.
16. Литография: этапы, виды.
17. Получение 3D-наноструктур методом ионной имплантации.
18. Физико-химические процессы плазмохимического травления.
19. Наноструктурирование приповерхностного слоя материалов.
20. Физико-химические основы процессов резки, шлифовки, полировки.
9.4 Методические материалы, определяющие процедуры оценивания знаний,
умений, навыков и (или) опыта деятельности характеризующих этапы
формирования компетенций.
Текущий и промежуточный контроль освоения и усвоения материала дисциплины
осуществляется в рамках рейтинговой (100-балльной) и традиционной (4-балльной)
систем оценок.
В качестве текущей аттестации в семестре на семинарах проводятся контрольные
работы.
Экзамен проводится в устной форме. Экзамены оцениваются по системе:
неудовлетворительно, удовлетворительно, хорошо, отлично.
Экзаменационная оценка студента в рамках рейтинговой системы оценок является
интегрированной оценкой выполнения студентом заданий во время практических занятий,
индивидуальных домашних заданий, контрольной работы. Эта оценка характеризует
уровень сформированности практических умений и навыков, приобретенных студентом в
ходе изучения дисциплины.
10. Образовательные технологии.
В соответствии с требованиями ФГОС при реализации различных видов учебной
работы в процессе изучения дисциплины «Физико-химические основы процессов микро- и
нанотехнологий» предусматривается использование в учебном процессе следующих
активных и интерактивных форм проведения занятий:
 лекции;

практические занятия;

работа в малых группах;

мастер-классы экспертов.
11. Учебно-методическое и информационное обеспечение дисциплины (модуля).
11.1 Основная литература:
1. Шмидберская, А. А.. Физико-химические процессы в нанотехнологиях: учеб.-метод.
пособие/ А. А. Шмидберская, П. А. Шмидберский; Тюм. гос. ун-т. - Тюмень: Изд-во
ТюмГУ, 2008. - 108 с.; 20 см. - Библиогр.: с. 106. - ISBN 978-5-88081-992-8.
2. Суздалев, И. П. Нанотехнология: физико-химия нанокластеров, наноструктур и
наноматериалов/ И. П. Суздалев. - 2-е изд., испр.. - Москва: URSS, 2009. - 592 с.; - ISBN
978-5-397-00217-2.
3. Барыбин, А. А. Физико-химия наночастиц, наноматериалов и наноструктур
[Электронный ресурс] : Учеб. пособие / А. А. Барыбин, В. А. Бахтина, В. И. Томилин,
Н. П. Томилина. – Красноярск : СФУ, 2011. - 236 с. - ISBN 978-5-7638-2396-7. http://znanium.com/catalog.php?bookinfo=441543 (дата обращения 17.04.2015)
11.2 Дополнительная литература:
1. Удовиченко, С. Ю. Пучково-плазменные технологии для создания материалов и
устройств микро- и наноэлектроники: учеб. методическое пособие в 3-х частях / С.Ю.
Удовиченко ; Тюм. гос. ун-т. - Тюмень: Изд-во ТюмГУ Ч. 1. - 2014. – 88 с.; То же
[Электронный
ресурс]
Режим
доступа:
http://www.tmnlib.ru/jirbis/files/upload/books/PPS/Part%201.pdf
(дата
обращения
17.04.2015).
2. Удовиченко, С. Ю. Пучково-плазменные технологии для создания материалов и
устройств микро- и наноэлектроники: учеб. методическое пособие в 3-х частях / С.Ю.
Удовиченко ; Тюм. гос. ун-т. - Тюмень: Изд-во ТюмГУ Ч. 2. - 2014. – 72 с.; То же
[Электронный
ресурс]
Режим
доступа:
http://www.tmnlib.ru/jirbis/files/upload/books/PPS/Part%202%281%29.pdf (дата обращения
17.04.2015).
3. Удовиченко, С. Ю. Пучково-плазменные технологии для создания материалов и
устройств микро- и наноэлектроники: учеб. методическое пособие в 3-х частях / С.Ю.
Удовиченко ; Тюм. гос. ун-т. - Тюмень: Изд-во ТюмГУ Ч. 3. - 2014. – 72 с.; То же
[Электронный
ресурс]
Режим
доступа:
http://www.tmnlib.ru/jirbis/files/upload/books/PPS/Part%203%281%29.pdf (дата обращения
17.04.2015).
4. Илюшин В.А. Физикохимия наноструктурированных материалов : учебное пособие. - Новосибирск : НГТУ, 2013. - 107 с. [Электронный ресурс]. - URL:
http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=229009 (дата обращения 17.04.2015)
5. Антоненко, С.В. Технология наноструктур : учебное пособие / С.В. Антоненко. - М. :
МИФИ, 2008. - 116 с. - ISBN 978-5-7262-0947-0 ; То же [Электронный ресурс]. - URL:
http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=231530 (дата обращения 17.04.2015)
6. Старостин, В. В.. Материалы и методы нанотехнологии: учеб. пособие/ В. В.
Старостин. - Москва: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2008. - 431 с.; - ISBN 978-5-94774727-0.
11.3 Интернет – ресурсы:
1. Азаренков Н.А.. Наноматериалы, нанопокрытия, нанотехнологии. Учебное пособие. /
Н.А. Азаренков, В.М. Береснев, А.Д. Погребняк и др. –Харьков: ХНУ им. В.Н.
Каразина, 2009, - 209 с. - URL: http://www-htuni.univer.kharkov.ua/ftf/files/lt6.pdf
2. Научная электронная библиотека www.elibrary.ru.
3. Образовательные ресурсы «Единое окно» http://window.edu.ru/window/library
4. Книго-поиск. http://www.knigo-poisk.ru
12. Перечень информационных технологий, используемых при осуществлении
образовательного процесса по дисциплине (модулю), включая перечень
программного обеспечения и информационных справочных систем (при
необходимости).
 Применение мультимедийного оборудования для проведения лекционных и
практических занятий.
 Видео записи и презентации лекционного материала.
 Работа с Интернетом.
 Работа с информационным порталом ИБЦ ТюмГУ.
13. Технические средства и материально-техническое обеспечение дисциплины
(модуля).
 Учебные аудитории для проведения лекционных и практических занятий,
оснащенные интерактивной доской и/или проектором.
 Современное оборудование лаборатории пучково-плазменных технологий.
14. Методические указания для обучающихся по освоению дисциплины (модуля).
Изучение учебных и методических материалов по курсу «Физико-химические
основы процессов микро- и нанотехнологий».
При подготовке к занятиям в течение семестра и экзамену студент должен
использовать литературу, рекомендованную преподавателем.
Для понимания лекционного материала и качественного его усвоения студентам
необходимо вести конспекты лекций.
Использование студентами интернет-источников.
Подготовка рабочих лабораторных журналов к выполнению лабораторных работ.
Оформление отчетов по проделанным работам.
Если в процессе самостоятельной работы над изучением теоретического материала у
студента возникают вопросы, разрешить которые самостоятельно не удается, необходимо
обратиться к преподавателю для получения у него разъяснений или указаний.
Дополнения и изменения к рабочей программе на 201 / 201 учебный год
В рабочую программу вносятся следующие изменения:
_____________________________________________________________________________
_____________________________________________________________________________
_____________________________________________________________________________
_____________________________________________________________________________
_____________________________________________________________________________
_____________________________________________________________________________
_____________________________________________________________________________
Рабочая
программа
пересмотрена
и
одобрена
____________________ « »_______________201 г.
на
заседании
кафедры
Заведующий кафедрой ___________________/___________________/
Роспись
Ф.И.О.