Настройка обратной связи для быстрого сканирования - AIST-NT

Процедура ручной настройки обратной связи
Для корректной работы обратной связи по Z необходимо правильно установить
интегральный и пропорциональный коэффициенты усиления обратной связи. Один из
стандартных способов настройки обратной связи – снятие переходной характеристики
системы. Для этого на вход обратной связи подается меандр (прямоугольный сигнал), и
изучается поведение регулируемого сигнала в зависимости от коэффициентов усиления.
Для проведения процедуры настройки проделайте следующее:

После подвода и посадки на поверхность откройте окно Scanner Ctrl:

В этом окне нажмите кнопку FB adjustment.
По нажатию этой кнопки откроется панель инструментов WaveGen:
Одновременно с этим система перейдет в окно Qscan. В этом окне будут
установлены параметры для настройки обратной связи:
Измеряемый сигнал – Mag;
Параметр Move XY – отключен;
Скорость сканирования – 8.3 Гц;
Включен режим непрерывного сканирования.

Откройте панель PID control окна Scanner Ctrl, щелкнув мышкой по одной из
кнопок P, I, D:


Установите коэффициент P равным нулю.
Включите генератор прямоугольного сигнала кнопкой пуск
инструментов WaveGen.
панели
Примечание. Настройки WaveGen имеют некоторые значения по умолчанию. Однако
возможно, Вам придется изменить амплитуду сигнала, подаваемого на вход обратной
связи (парамeтр range). Установленное по умолчанию значение range может оказаться
слишком маленьким, так что сигнал будет тонуть в шумах, или слишком большим, так что
зонд будет отрываться от поверхности или слишком сильно прижиматься к ней.
Range измеряется в тех же единицах, что и setpoint для всех входных сигналов обратной
связи, кроме Freq и Iprobe. Для Freq 1Hz соответствует 100 единицам range.


Запустите сканирование.
Наблюдайте за формой сигнала на профиле строки в окне сканирования:
При недостаточном интегральном коэффициенте I форма сигнала близка к треугольной:
При слишком большом I после каждой ступени наблюдаются переколебания сигнала:
Примечание: Интегральный коэффициент усиления обратной связи I, найденный с
помощью процедуры автоматического определения коэффициента усиления обратной
связи Adjust Fb Gain, обычно оказывается несколько завышенным.
Изменяя I, добейтесь небольшого перерегулирования:
После этого увеличивайте P, до тех пор, пока это перерегулирование не исчезнет:
При правильной регулировке должна получиться прямоугольная форма сигнала.
Примечание: Значение пропорционального коэффициента P обычно в несколько сотен раз
меньше значения интегрального коэффициента I.
Для перехода к сканированию после окончания настройки:
 Выключите генератор прямоугольного сигнала.
 Остановите сканирование.
 Восстановите исходные параметры сканирования. Для этого откройте панель WG
tools, нажав кнопку
на панели WaveGen:
На этой панели нажмите кнопку Restore QScan Pars.