МОУ ДОД Дворец творчества детей и молодежи
реклама
МБОУ ДОД Дворец творчества детей и молодежи города Ростова-на-Дону Донская академия наук юных исследователей им. Ю.А. Жданова Наименование секции: Физика Исследовательская работа Тема: «Исследование поверхности наноматериалов с помощью сканирующей зондовой микроскопии» Автор работы: Бызов Ян, отчество, 9Д класс, МАОУ лицей № 27 им А.В.Суворова г. Ростов –на-Дпну Руководитель: Викторова Ольга Ивановна, учитель физики, руководитель нанолаборатории МАОУ лицей № 27 им А.В.Суворова г. Ростов-на-Дону Г. Ростов-на-Дону 2014 г. 2 Оглавление Введение стр 3 Глава 1. Техника сканирующей зондовой микроскопии стр 6 1.1. Принцип работы СЗМ стр 6 1.2. Электрохимическое травление стр 7 1.3. Формирование и обработка СЗМ изображения стр 8 1.3.1. Вычитание постоянной составляющей стр 10 1.3.2. Вычитание постоянного наклона стр 10 1.3.3. Устранение искажений, связанных с не идеальностью сканера стр 11 1.3.4. Фильтрация СЗМ изображений стр 11 1.3.5. Медианная фильтрация стр12 1.3.6. Усреднение по строкам стр 12 1.3.7. Фурье-фильтрация СЗМ изображений стр 13 Глава 2. Методы сканирующей зондовой микроскопии стр 14 2.1. Метод АСМ стр 15 2.2 Метод СТМ стр 16 Заключение стр 17 Литература стр 18 3 ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ НАНОМАТЕРИАЛОВ С ПОМОЩЬЮ СКАНИРУЮЩЕЙ ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ Цель работы: получение навыков работы на учебно- исследовательском сканирующем зондовом микроскопе «Nanoeducator 2». Задачи работы: 1. Изучить основы сканирующей зондовой микроскопии; 2. Ознакомиться с принципом работы и устройством учебноисследовательского СЗМ «Nanoeducator 2»; 3. Подготовить зондовый датчик методом электрохимического травления; 4. Провести сканирование образцов на СЗМ «Nanoeducator 2» и получить изображение; Приборы и принадлежности: СЗМ «Nanoeducator 2», устройство для электрохимического травления, весы аналитические, химическая посуда(стакан стеклянный на 100 мл, цилиндр мерный на 10 мл, пластиковый цилиндр мерный на 10 мл, чашка Петри на 10-20 мл, стакан для слива, ножницы, пинцет. Расходные материалы и объекты исследования: образцы из набора СЗМ «Nanoeducator 2», вольфрамовая проволока, натрия гидроксид (ч.д.а.), дистиллированная вода. ВВЕДЕНИЕ Основные этапы развития нанотехнологий: 1959 г. – Лауреат Нобелевской премии Ричард Фейнман заявляет, что в будущем, научившись манипулировать отдельными атомами, человечество сможет синтезировать все, что угодно. 1981 г. – Создание Биннингом и Рорером сканирующего туннельного микроскопа – прибора, позволяющего осуществлять воздействие на вещество на атомарном уровне. 1982-85 гг. – Достижение атомарного разрешения. 1986 г. – Создание атомно-силового микроскопа, позволяющего, в отличие от туннельного микроскопа, осуществлять взаимодействие с любыми материалами, а не только с проводящими. 1990 г. – Манипуляции единичными атомами. 1994 г. – Начало применения нанотехнологических методов в промышленности. 4 Для детального изучения поверхности твердых тел существует множество разнообразных методов. Микроскопия, как средство получения увеличенного изображения, зародилась еще в XV веке, когда впервые были изготовлены простые увеличительные стекла для изучения насекомых. В конце XVII века, Антонио Ванн Левенгук изготовил оптический микроскоп, который позволял установить существование отдельных клеток, болезнетворных микробов и бактерий. Уже в XX веке были разработаны методы микроскопии с помощью электронных и ионных пучков. Во всех описанных методах применяется следующий принцип: освещение исследуемого объекта потоком частиц и его последующее преобразование. В сканирующей зондовой микроскопии использован другой принцип – вместо зондирующих частиц в ней используется механический зонд – игла. Образно выражаясь, можно сказать, что, если в оптическом или электронном микроскопах образец осматривается, то в СЗМ – ощупывается. Другим важным принципом, отраженным в названии метода СЗМ, является принцип сканирования, то есть получение не усредненной информации об объекте исследования, а дискретное (от точки к точке, от линии к линии), перемещение зонда и считывание информации в каждой точке. За последующие 10 лет сканирующая зондовая микроскопия превратилась из экзотической методики, доступной лишь ограниченному числу исследовательских групп, в широко распространенный и успешно применяемый инструмент для исследования свойств поверхности. В 2013 году наш лицей получил оборудование с одним СЗМ «NANOEDUCATOR 2». За четыре месяца мы освоили этот прибор, приобрели начальные навыки работы . Опробировали наиболее распространенные разновидности сканирующей зондовой микроскопии: сканирующая туннельная и атомносиловая микроскопия. В их основе лежит возможность позиционирования с высокой точностью атомарно острого зонда вблизи поверхности образца. 5 Комплект оборудования «NANOEDUCATOR 2». Наноматериалы. Приставку нано- имеет смысл использовать к объектам и явлениям, имеющим размеры нанометрового (~ 1-100 нм) диапазона, с которыми связано наличие новых или значительно отличающихся от макрообъектов и молекул свойств. Таким образом, наноматериалы – это материалы, содержащие структурные элементы, геометрические размеры которых хотя бы в одном измерении не превышают 100 нм, и обладающие качественно новыми свойствами, функциональными и эксплуатационными характеристиками. В качестве дополнительных и уточняющих характеристик для конкретных материалов могут быть указаны доля поверхностных атомов в общем количестве атомов структурного элемента, наименьший структурный элемент, определяющий существование фазы и т.д. При этом для наноматериалов характерно наличие нижнего критического размера, при котором нанокристаллический материал существует, как структурный элемент, имеющий упорядоченное строение, то есть кристаллическую решетку. Например, такой критический размер, в частности, для железа составляет около 0,5 нм . Поверхность твердых тел. Хотя в ряде случаев влиянием поверхности на объем в первом приближении можно пренебречь, что и оправдывает представления о безграничном твердом теле, в ситуации наноструктурных материалов сами объемные свойства определяются свойствами поверхности. К морфологическим характеристикам поверхности относят форму, размер и структуру (геометрию) отдельных деталей, объектов или составных частей поверхности. На рис. 1 представлены изображения и трёхмерное представление последовательно увеличенных с одинаковым масштабом участков свободной поверхности спечённой керамики 6 на основе оксида иттрия(YbLuYO2), полученные методом СЗМ и методом АСМ. a) б) Рис. 1. Поверхность керамики YbLuYO2 и её трёхмерное представление: а) метод СЗМ, б) метод АСМ. Глава1. Техника сканирующей зондовой микроскопии 1.1 Принцип работы СЗМ. Исследование микрорельефа поверхности и ее локальных свойств проводится с помощью специальным образом приготовленных зондов в виде игл. Рабочая часть таких зондов (остриё) имеет радиус скругления около 10 нм. Характерное расстояние между зондом и поверхностью образцов составляет 0,1 – 10 нм. В основе работы зондовых микроскопов лежат различные типы неконтактного взаимодействия зонда с поверхностью. Для контроля расстояния между зондом и образцом в методах ЗСМ организована система их взаимного перемещения с постоянной оценкой силы возникающего взаимодействия. Общий принцип организации отрицательной обратной связи (ООС) сканирующего зондового микроскопа схематично представлен на рис. 2. Если существует однозначная зависимость силы взаимодействия от контролируемого расстояния, то относительная величина этой силы может быть использована для поддержания постоянного малого расстояния между зондом и образцом по схеме ООС. В результате изменения расстояния между поверхностью и зондом в системе ООС формируется разностный сигнал, пропорциональный величине изменения действующей между ними силы. Исполнительный элемент отрабатывает данный разностный сигнал, приближая зонд к поверхности или отодвигая его до тех пор, пока разностный сигнал не станет равным нулю. Таким образом, можно поддерживать постоянное расстояние зонд-образец с высокой точностью. Совокупность данных о разностном сигнале, полученном на различных участках поверхности образца при её построчном сканировании зондом, представляет собой числовую матрицу эквивалентных рельефу поверхности значений высот, которые могут быть использованы для 7 построения трёхмерного изображения этого рельефа. Рис. 2. Схема организации системы обратной связи СЗМ Аналогичным образом организована схема ООС при реализации метода СТМ, однако в нём вместо контроля силы взаимодействия используют контроль протекающего туннельного тока. Пусть к поверхности электропроводящего образца на расстояние некоторого малого зазора подведен металлический зонд, заканчивающийся одним атомом. При расстоянии между ними, сравнимом с межатомным (0.1– 0.3 нм), волновые функции электронов, принадлежащих атому зонда и ближайших к нему атомов на поверхности образца, будут перекрываться, обеспечивая, таким образом, благоприятные условия для туннелирования электронов через этот зазор. Туннельный ток в зазоре экспоненциально (с отрицательным показателем) зависит от величины зазора, а, следовательно, очень чувствителен к атомно-структурным неоднородностям на поверхности образца. За счет этого, перемещая зонд вдоль поверхности и контролируя протекающий по нему туннельный ток, можно анализировать топологию поверхности с атомным разрешением. АСМ, в отличие от СТМ, не чувствительна к электронным свойствам подложки. Поэтому она может быть использована для анализа поверхности как проводниковых материалов, так и диэлектрических. При этом на зонд действует сила отталкивания величиной порядка 10-9 Н. Эта сила задаётся пьезоэлектрическим элементом позиционирования, толкающим зонд к поверхности. Бесконтактный режим с зазором (5 - 15 нм) используется, когда имеется опасность того, что зонд может повредить поверхность. Наряду с исследованием рельефа поверхности, зондовые микроскопы позволяют изучать различные свойства поверхности: механические, электрические, магнитные, оптические и многие другие. 8 1.2 Электрохимическое травление. Для приготовления зондового датчика используется вольфрамовая проволока диаметром 100 мкм. Этот металл не окисляется кислородом воздуха, в результате чего не образуется оксидный слой, затрудняющий проведение измерений в СЗМ. Чтобы получить зонд с радиусом скругления от 10 до 50 нм используют электрохимическое травление проволоки в растворе щёлочи. Метод очень прост в исполнении и занимает считанные минуты. Электрохимическое травление предполагает растворение металла или поверхностного слоя, причём металл переходит в раствор с образованием простых или комплексных ионов, малодиссоциированных соединений металла. Одновременно с этим происходит выделение газообразного водорода или восстановление веществ, находящихся в растворе. В комплексе СЗМ «Nanoeducator» имеется электролизер, позволяющий травить проволоку в растворе щелочи при напряжении 6÷9 В и силе тока 0,5 А. При пропускании тока через W проволоку в щелочном растворе будет протекать электролиз с активными (расходуемыми) электродами и эрозией одного из них до полного растворения погруженной в щёлочь части. Прекращение гальванического контакта электрода с поверхностью раствора щёлочи по мере его эрозии сопровождается формированием на его конце острия с требуемым малым радиусом скругления. Рис.3. Расходные материалы и объекты исследования 1.3 Формирование и обработка СЗМ изображений. Для получения СЗМ изображения проводят сканирование образца. При сканировании зонд вначале движется над образцом вдоль определенной линии (строчная развертка), при этом величина сигнала на исполнительном элементе, пропорциональная рельефу поверхности, записывается в память компьютера. Затем зонд возвращается в исходную точку строки и переходит на следующую строку сканирования (кадровая развертка), и процесс повторяется вновь. Записанный таким образом при сканировании сигнал обратной связи обрабатывается компьютером, и затем СЗМ-изображение рельефа поверхности в виде трёхмерной функции Z = f (x,y) строится с помощью средств компьютерной графики. 9 Рисунок 4. Схематическое изображение процесса сканирования. Визуализация СЗМ кадров производится в виде трехмерных (3D) и двумерных яркостных (2D) изображений. Наиболее эффективным способом раскраски 3D изображений является моделирование условий подсветки поверхности источником света, расположенным в некоторой точке пространства над поверхностью (рис.4). При этом удается подчеркнуть мелкомасштабные неровности рельефа. Также средствами компьютерной обработки и графики реализуются масштабирование и вращение 3D СЗМ- изображений. При 2D визуализации каждой точке поверхности Z = f (x,y) ставится в соответствие цвет или яркость некоторой цветовой палитры. Наиболее широко используются градиентные палитры, в которых раскраска изображения производится тоном определенного цвета в соответствии с высотой точки поверхности. Рис. 5. Изображение рельефа поверхности: а) 2D визуализация, б) 3D визуализация Локальные СЗМ измерения, как правило, сопряжены с регистрацией зависимостей исследуемых величин от различных параметров. Например, это зависимости величины электрического тока через контакт зонд-поверхность от 10 приложенного напряжения, зависимости различных параметров силового взаимодействия зонда и поверхности от расстояния зонд-образец и др. Данная информация хранится в виде векторных массивов или в виде матриц размерностью2хN. Для их визуализации в программном обеспечении микроскопов предусматривается набор стандартных средств изображения графиков функций. СЗМ изображения, наряду с полезной информацией, содержат также много побочной информации, искажающей данные о морфологии и свойствах поверхности. 1.3.1. Вычитание постоянной составляющей СЗМ изображения, как правило, содержат постоянную составляющую, которая не несет полезной информации о рельефе поверхности, а отражает точность подвода образца в середину динамического диапазона перемещений сканера по оси Z. Постоянная составляющая удаляется из СЗМ кадра программным способом. 1.3.2. Вычитание постоянного наклона Изображения поверхности, получаемые с помощью зондовых микроскопов, как правило, имеют общий наклон. Это может быть обусловлено несколькими причинами. Во-первых, наклон может появляться вследствие неточной установки образца относительно зонда; во-вторых, он может быть связан с температурным дрейфом, который приводит к смещению зонда относительно образца; втретьих, он может быть обусловлен нелинейностью перемещений пьезосканера. На отображение наклона тратится большой объем полезного пространства в СЗМ кадре, так что становятся не видны мелкие детали изображения. Для устранения данного недостатка производят операцию вычитания постоянного наклона. На рис. 6 представлен результат вычитания плоскости из реального АСМ изображения поверхности. Рис. 6. Вычитание наклонной плоскости из АСМ изображения поверхности 11 1.3.3. Устранение искажений, связанных с неидеальностью сканера Неидеальность свойств пьезосканера приводит к тому, что СЗМ изображение содержит ряд специфических искажений. Частично неидеальности сканера, такие как неравноправность прямого и обратного хода сканера (гистерезис), крип и нелинейность пьезокерамики компенсируются аппаратными средствами и выбором оптимальных режимов сканирования. Однако, несмотря на это, СЗМ изображения содержат искажения, которые трудно устранить на аппаратном уровне. В частности, поскольку движение сканера в плоскости образца влияет на положение зонда над поверхностью (по оси Z), СЗМ изображения представляют собой суперпозицию реального рельефа и некоторой поверхности второго (а часто и более высокого) порядка (рис. 7). Рис. 7. Вычитание поверхности второго порядка из СЗМ изображения поверхности. Еще один тип искажений связан с нелинейностью и неортогональностью перемещений сканера в плоскости Х,У. Это приводит к искажению геометрических пропорций в различных частях СЗМ изображения поверхности. Для устранения таких искажений производят процедуру коррекции СЗМ изображений с помощью файла коэффициентов коррекции, который создается при сканировании конкретным сканером тестовых структур с хорошо известным рельефом. 1.3.4. Фильтрация СЗМ изображений. Шумы аппаратуры (в основном, это шумы высокочувствительных входных усилителей), нестабильности контакта зонд-образец при сканировании, внешние акустические шумы и вибрации приводят к тому, что СЗМ изображения, наряду с полезной информацией, имеют шумовую составляющую. Частично шумы СЗМ изображений могут быть удалены программными средствами. 12 1.3.5. Медианная фильтрация Хорошие результаты при удалении высокочастотных случайных помех в СЗМ кадрах дает медианная фильтрация. Это нелинейный метод обработки изображений, суть которого можно пояснить следующим образом. Выбирается рабочее окно фильтра, состоящее из n.n точек (для определенности возьмем окно 3.3, т.е. содержащее 9 точек . В процессе фильтрации это окно перемещается по кадру от точки к точке, и производится следующая процедура. Значения амплитуды СЗМ изображения в точках данного окна выстраиваются по возрастанию, и значение, стоящее в центре сдвигается отсортированного ряда, заносится в центральную точку окна. Затем окно в следующую точку, и процедура сортировки повторяется. Таким образом, мощные случайные выбросы и провалы при такой сортировке всегда оказываются на краю сортируемого массива и не войдут в итоговое (отфильтрованное) изображение. Заметим, что при такой обработке по краям кадра остаются нефильтрованные области, которые отбрасываются в конечном изображении. На рис. 8 представлен результат медианной фильтрации реального АСМ изображения поверхности. Рис. 8. Результаты медианной фильтрации с окном 5.5 АСМ изображения поверхности 1.3.6. Усреднение по строкам Процесс сканирования поверхности в сканирующем зондовом микроскопе происходит таким образом, что частота регистрации информации в строке сильно (по крайней мере, в 100 раз) отличается от частоты регистрации строк. Это приводит к тому, что высокочастотные шумы содержатся, в основном, в строках СЗМ изображения, а низкочастотные шумы изменяют положение строк относительно друг друга. Кроме того, часто во время сканирования изменяется расстояние зонд-образец вследствие микродвижений в элементах конструкции измерительной головки микроскопа или вследствие изменения состояния рабочей части зонда (например, захвата кончиком зонда микрочастицы с поверхности и др.). Это приводит к тому, что на СЗМ изображении появляются ступеньки, параллельные направлению сканирования, связанные со смещением одной части СЗМ кадра относительно другой(рис. 33 (а)). Избавиться от таких дефектов СЗМ изображений можно с помощью процедуры выравнивания кадра по строкам. 13 а) б) Рис. 9. АСМ изображения поверхности образца (а) — до усреднения по строкам; (б) — после усреднения 1.3.7. Фурье - фильтрация СЗМ изображений. Одним из мощных методов коррекции СЗМ изображений является спектральная фильтрация на основе преобразований Фурье. При Фурьефильтрации производятся преобразования над пространственным спектром поверхности. Наиболее распространенными являются фильтры низких и высоких частот с круговыми и квадратными окнами. На рис. 10 показаны результаты Фурье - фильтрации одного из АСМ изображений реальной поверхности. а) б) в) г) Рис.10. Пример применения Фурье-фильтрации к АСМ изображению поверхности(в) – исходное АСМ изображение, (г) – отфильтрованное 14 изображение, (а) – спектр исходного изображения, (б) – обработка спектра фильтром низких частот. Для устранения нежелательных эффектов, связанных с резким изменением спектральной функции на краю фильтра и на границах кадра, применяют фильтры с более сложной спектральной функцией Глава 2. Методы сканирующей зондовой микроскопии. Сканирующая зондовая микроскопия: 1.Сканирующая туннельная микроскопия (СТМ) 2. Атомно-силовая микроскопия (АСМ) 15 2.1. Метод АСМ: если подвести зонд к образцу на расстояние в несколько ангстрем, то между атомами, образующими острие, и атомами, расположенными на поверхности образца, начнет действовать сила притяжения. Под действием этой силы зонд будет приближаться к образцу до тех пор, пока не начнется электростатическое отталкивание одноименно (отрицательно) заряженных электронных оболочек атомов зонда и поверхности. Зонд закрепляют на гибкой балке, называемой кантилевером или консолью. При подводе зонда к образцу и возникновении отталкивающего взаимодействия кантилевер изгибается до тех пор, пока давление со стороны зонда не окажется больше предела упругой деформации материала образца или зонда. Таким образом, основным свойством кантилевера является его жесткость, а подбор материала и геометрических характеристик кантилевера позволяет использовать метод АСМ для самых различных образцов. Рис 11. Поверхность CD Поверхность CD в формате 3D 2 мкм 20 мкм 20 10 10 0 0 Рис. 12. АСМ-изображение эритроцитов крови человека 16 2.2 . Метод СТМ. В СТМ пъезодвигатели с высокой точностью (до 0,1 ангстрема) приближают атомно-острую металлическую иглу к поверхности проводящего образца, при этом регистрируется туннельный ток. Сканируя поверхность, можно получить информацию о расположении атомов в структуре с атомарным разрешением. С развитием вычислительной техники потребовался унифицированный формат хранения данных, в качестве которого был выбран двоичный код, минимальная ячейка информации была названа битом. 1 байт=8 бит (256 возможных символов). На магнитных дисках ширина «дорожки»=1 мкм. А длина области соответствует одному биту – 50-70 нм. Сегодня поражает воображение: 1010 бит содержится в одном квадратном сантиметре поверхности диска! В нашу жизнь вошел формат CD-аудио (Compact Disk). Чтение и запись информации осуществляется лазером с длиной волны от 780 нм для CD и 650 нм для DVD. В оптической записи данные кодируются в виде последовательности отражающих и не отражающих участков, которые интерпретируются как единица и ноль соответственно (короткое углубление – единица, длинное – ноль). Нами было проведено сканирование поверхности CD-диска, в формате 3D хорошо видны все неровности поверхности образца (0 и 1). Нами произведено сканирование поверхности пробного образца SiO2 двумя разными методами: АСМ и СТМ. Это яркий эксперимент по зондовой микроскопии – визуализация атомной решетки SiO2 в условиях атмосферного давления и комнатной температуры. В формате 3D хорошо видно, что поверхность состоит из достаточно крупных, близко расположенных зерен. Рис.13.Образец TGZ 2-поверхность SiO2 в формате 3D. 17 То, что в обычной жизни кажется нам идеально ровным и гладким (например, отполированная до блеска пряжка или CD-диск) на наноуровне может представлять собой в лучшем случае холмистую равнину, а в худшем непреодолимый горный массив. Действительно, шероховатость отполированной до блеска поверхности составляет меньше половины длины видимого глазу излучения, то есть всего лишь около 200 нм. Фильтр: цвет Фильтр: освещение, Материал: синий пластик Фильтр: вертикальное сглаживание Рис. 14. Образец TGZ3 560+2нм поверхность SiO2. Заключение: Ценность работы заключается в исполнении всех этапов: от настройки микроскопа до проведения сканирования. Такие практические занятия позволяют ясно представить преимущества использования СЗМ методов для изучения поверхностей твердых тел на уровне наноразмерных частиц. В ходе работы над проектом мы: изучили конструкцию прибора «NANOEDUCATOR 2», познакомились с методами сканирующей зондовой микроскопии, выяснили, что АСМ и СТМ – широко распространенные исследовательские методы, дающие возможность увидеть поверхности объектов на атомном уровне, получили навыки работы на сканирующем зондовом микроскопе «NANOEDUCATOR 2», научились делать сканы поверхностей твердых тел и получать их изображения в формате 2D и 3D, расширили свои представления о физической картине мира на примере знакомства с нанообъектами, анализ рельефов поверхностей исследуемых образцов будет темой нашего исследования в 10 классе. 18 Литература. 1. В.И.Панов – Сканирующая туннельная микроскопия и спектроскопия поверхности. // УФН, т.155, № 1, с.155 – 158 (1988). 2. В.С.Эдельман – Сканирующая туннельная микроскопия. // Приборы и техника эксперимента, № 5, с. 25 – 49 (1989). 3. В.С.Эдельман – Развитие сканирующей туннельной и силовой микроскопии. // Приборы и техника эксперимента, № 1, с. 24 – 42 (1991). 4. "Сканирующая зондовая микроскопия биополимеров" (Под редакцией И.В.Яминского), М.: Научный мир, 1997, 86 с. 5. А.П.Володин – Новое в сканирующей микроскопии. // Приборы и техника эксперимента, № 6, с. 3 – 42 (1998). 6. В.К.Неволин - "Основы туннельно-зондовой нанотехнологии: Учебное пособие", Москва, МГИЭТ (ТУ), 1996, 91 с. 7. Р.З.Бахтизин, Р.Р.Галлямов - "Физические основы сканирующей зондовой микроскопии", Уфа, РИО БашГУ, 2003, 82с. 8. Интернет-сайт компании "НТ-МДТ": http://www.ntmdt.ru/ 9. Интернет-сайт учебно-научного центра "Бионаноскопия": http://www.nanoscopy.org/ 10. Андриевский Р.А., Рагуля А.В. Наноструктурные материалы. М.: Издательский центр «Академия», 2005. – 192 с.] [Гусев А.И., Ремпель А.А. Нанокристаллические материалы. – М.: Физматлит, 2001. – 224 с. 11. Миронов В. Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии / Учебное пособие для студентов старших курсов высших учебных заведений. - Нижний Новгород: Изд. РАН. – 2004. – 114 с. 12. Борисенко В.Е., Воробьева А.И. Наноэлектроника. Учебноепособие. Минск: БГУИР, 2003. – 76с.
