Правительство Российской Федерации Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики" Московский институт электроники и математики Национального исследовательского университета «Высшая школа экономики» Факультет Электроники и телекоммуникаций Дисциплина Технология нанесения тонких пленок для направления 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» подготовки бакалавра . ЗАДАНИЕ К КУРСОВОЙ РАБОТЕ «Вакуумные системы напылительных установок» Автор:Быков Д.В.,д.т.н., профессор, bykov@miem.edu.ru Задание к курсовой работе «Вакуумные системы напылительных установок» 1. Для вакуумных насосов: двухроторный насос Рутса, пластинчато-роторный насос, диффузионный насос, турбомолекулярный насос, паромасляный диффузионный насос, криогенный насос. - краткое описание принципа действия схема насоса предельное давление быстрота действия давление запуска давление на выходе диапазон рабочих давлений достоинства и недостатки 2. Вакуумная схема откачки рабочей камеры напылительной установки периодического действия с любым высоковакуумным насосом.(краны, затворы, ловушки, манометры). 3 Примеры напылительного оборудования отечественных и зарубежных производителей. 4. Ответить на следующие вопросы: 4.1 В объеме V имеется N частиц, причем энергия одной частицы равна Ɛ. Найти следующие величины, записав ответ через V, N, Ɛ. k. - Полную кинетическую энергию системы W - Температуру газа Т - Давление Р - Что произойдет с давлением и температурой, если удвоить объем системы, соединив объем V с другим таким же объемом V? 4.2 В сосуде определенного объема находится идеальный газ при температуре Т1 и давлении Р1 - Какой станет температура газа Т2 если скорость каждой молекулы удвоится? - Каким будет давление? - Если объем газа – 1 литр, температура 0о С, а давление 1 атм., сколько в нем молекул? 4.3 В сосуде с идеальным газом содержится N. Удвоим в сосуде число молекул сохраняя при этом неизменной полную кинетическую энергию газа. Чему равно отношение: - Нового давления к первоначальному Р2/Р1 ? - Новой температуры к первоначальной Т2/Т1? 4.4 Определить внутреннюю кинетическую энергию газа, находящегося в замкнутом сосуде объемом 200 см3, если давление газа равно 105 Па. 4.5 Как изменится давление газа, если при неизменном объеме и температуре половину молекул азота заменить на молекулы водорода? 4.6 При нагревании газа на 10К при постоянном давлении его объем увеличивается в два раза. В каком интервале температур Т1 – Т2 происходит нагревание? 4.7 Как изменится проводимость отверстия, если молекулярный вес газа, протекающего через него уменьшится в 16 раз? Режим течения газа – молекулярный. 4.8 Как изменится проводимость отверстия при снижении температуры протекающего через него газа в 9 раз? Режим течения газа – молекулярный. 4.9 Найти давление Р2 во входном фланце откачиваемого объема, если быстрота действия насоса Sн = 100 л/с, давление во входном фланце насоса Р1 = 5. 10-2 Па, а проводимость частей трубопровода, соединяющего насос с откачиваемым объемом U1= 50 л/с и U2 = 100 л/с. Части трубопровода соединены последовательно. 4.10 Суммарное газовыделение в объеме V равно 2.10-6 м3.Па/с. Проводимость трубопровода U , соединяющего откачиваемый объем V с насосом, равна 100 л/с. Выбрать из таблицы насос, который мог бы обеспечить давление Рv в объеме V не более 5.10-5 Па и для выбранного насоса определить точное значение Рv. № S н, л/с Рпред. Па -5 1 50 1.10 2 100 1. 10-4 3 80 1.10-5 Рекомендуемая литература: «Вакуумная техника», Справочник, М., изд.-во «Машиностроение», 2009, «Вакуумная техника», Розанов Л.Н., М., изд.-во «Высшая школа», 2007. « Вакуумная технология», Шешин Е.Л., изд.-во «Интеллект», 2009. rvs.insoft.ru iuvsta.com