КВАНТОВЫЕ КАСКАДНЫЕ ЛАЗЕРЫ Ластовкин АА Лазер на двойной гетероструктуре: МЕЖЗОННЫЕ ПЕРЕХОДЫ ЭЛЕКТРОНЫ ЗОНА ПРОВОДИМОСТИ ТОК КВАНТОВАЯ ЯМА ИНВЕРСИЯ НАСЕЛЕННОСТИ ЭНЕРГИЯ ФОТОНА = EG + EQ E + EQ H МЕЖЗОННЫЕ ПЕРЕХОДЫ ФОТОН ДЫРКИ -V ВАЛЕНТНАЯ ЗОНА ТОК Электрон-дырочная пара рождаетp один n p фотон DHL – биполярный прибор 2 Квантовый каскадный лазер: межподзонные переходы Исходная концепция: Р.Ф.Казаринов, Р.А.Сурис, ФТП, т.5, с.797 (1971) энергия фотона фотон Туннелирование с участием фотона Релаксация 2 1 t relax t tunn QW n -V Туннелирование Испускание фотона Релаксация энергия фотона 3 Зона проводимости QW n+1 Квантовая яма 2 1 QW n QW n+1 Многослойная QCL - униполярный прибор полупроводниковая периодическая гетероструктура 3 AIIIBV (MBE или MOCVD) Преимущества ККЛ Photon Photon 3 2 1 • Энергии электронных уровней в структуре с квантовыми ямами зависят от толщин слоев и от смещения ► Частота лазерного излучения зависит от толщин слоев ► Частота лазерного излучения перестраивается приложенным напряжением • Один электрон, проходя через каскадную структуру, рождает много фотонов ►Предпосылки для высокой выходной мощности • Возможность создания инверсии населенности при kB T > ħ ω ►Длинноволновое лазерное излучение при комнатной температуре 4 Первый ККЛ ( = 71 ТГц, P = 8 мВт, Тмакс = 90 К) J.Faist, F. Capasso, D. L. Sivco, C. Sirtori, A. L. Hutchinson, A. Y. Cho, Science 264, 553 (1994) Диэлектрический волновод с обкладками из Al0.48In0.52As, w = 12 мкм, L 700 мкм Г = 0.46, n = 3.26, R = 0.27 E ~ 105 В/см Пример ККЛ на основе AIII BV 5 Приложения ККЛ QCLs , m 2.5 150 , meV 500 8 f, THz 120 2 Средний ИК диапазон 23 ÷ 85 THz – fingerprint region of trace gases (NH4, CO, N2O, …) ► Датчики контроля загрязнения окружающей среды ► Контроль технологических процессов в промышленности ► Медицина: анализ выдоха, ранняя диагностика язвы, рака etc 23 ÷ 37 THz, 60 ÷ 100 THz – atmospheric windows ► Оптическая связь (через туман, дождь, дым – благодаря длинным волнам) ► Круиз-контроль в автомобилях, противостолкновительные радары 6 Дальний ИК диапазон (ТГц диапазон) 1 ÷ 6 THz •Переходы с участием мелких примесей • Циклотронный и парамагнитный резонансы • Вращательные и колебательные возбуждения в жидкостях, газах и биологических объектах (колебания коллективных мод ДНК и белков) THz QCL ТГц Поглощение на свободных носителях • 1 ТГц 6 ТГц Область остаточных Лучей GaAs S.W. Smye, J.M. Chamberlain, A.J. Fitzgerald and E. Berry // Phys. Med. Biol. – 2001. – Vol.46. – P.R101-R112. 7 Волноводы Дальний ИК 1 ТГц Средний ИК 6 ТГц 9 ТГц 120 ТГц ТГц 1. Диэлектрические волноводы 2. SL-SP Двойной металлический волновод Поглощение на свободных носителях Область остаточных Лучей GaAs SI-SP – semi-insulating surface-plasmon 8 ККЛ для газовой спектроскопии: DFB IEEE J. Quant. Electr. V.38, P.569 (2002) 9 Применения ККЛ: газовая спектроскопия IEEE J. Quant. Electr. V.38, P.582 (2002) 10 Перестройка частоты Qi Qin, Benjamin S. Williams, Sushil Kumar, John L. Reno and Qing Hu NATURE PHOTONICS | VOL 3 | DECEMBER 2009 11 Линзы 34 – spacer 36 – lens 38 – retaining clip Qing Hu, Alan W. Min Lee, Sushil Kumar, OPTICS LETTERS / Vol. 32, No. 19 / October 1, 2007 12 Линзы Frequency 4.1 THz Qing Hu, Alan W. Min Lee, Sushil Kumar, OPTICS LETTERS / Vol. 32, No. 19 / October 1, 2007 13 ККЛ в ИФМ РАН Фото ТГц ККЛ фирмы TRION (г.Темпе, Аризона); L ~ 1.5 мм, 14 w ~ 100 мкм. Ю.Г.Садофьев Квантовые каскадные лазеры 15 Оптическая схема установки 1 – криостат замкнутого цикла 2 – лазер 3 – входной вакуумный волновод 4 – входное окно спектрометра 5 – выходной вакуумный волновод 6 – Ge/Ga приемник 7 – поворотное зеркало 8 – сферическое зеркало 9 – кварцевый делитель пучка 10 – неподвижное зеркало 11 – сканирующее зеркало 12 – сферическое зеркало 16 ККЛ в ИФМ РАН 17 Спектры ККЛ 18 Зависимость частоты излучения от температуры 1. A.L. Betz, R. T. Boreiko et al. / Optics Letters, 30, 1837 (2005). 2. D. Rabanus, U.U. Graf et al. / Optics Express, 17, 1159 (2009). 19 Гетероструктуры на основе HgCdTe с квантовыми ямами Ластовкин А.А. 20 ЦР в квантовых ямах HgCdTe 3,85 dark IR LED (10 A) IR LED (100 A) IR LED (10 A) mc= 0.0034m0 S = (2πeB/ħc)(n + γ) 1225 xb=0.69 0,020 3,75 xQW=0.129 Energy,eV 3,70 3,65 0-1 3,60 mc= 0.0074m0 3,55 3,50 dQW= 300A 0,015 0,010 0 - 1 (=1/2) 1 - 2 (=1/2) 0 - 1 (graphene) 1 - 2 (graphene) 0,005 2,61 ТГц 1-2 0,000 3,45 10 15 0 20 2000 25 4000 6000 B, G 4,0 B = 0.95 T (091225) B = 0 T (091225-1) 3,5 3,0 2,5 2,0 1,5 GaAs Reststrahlen B, kG TO CdTe-like 5 TO HgTe-like 0 Photoconductivity, arb. un. Пропускание, отн. ед. 3,80 0,025 1,0 0,5 0,0 50 100 150 200 250 -1 Wavenumber, cm 300 8000 10000 Основные тезисы 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. 8. 9. ККЛ – униполярный прибор. Излучение фотонов при межподзонные переходах. Частота излучения лазера зависит от толщин слоев и от смещения. Один электрон, проходя через каскадную структуру, рождает много фотонов ККЛ излучают в среднем ИК и в дальнем ИК (терагерцовом) диапазонах, но между ними существует область остаточных лучей в которой лазеры не работают. Используются три типа волноводов: двойной металический (для дальнего ИК), диэлектрический и плазменный (для среднего ИК). Частота излучения лазера определяется модами резонатора ФабриПерро. Частоту лазера можно перестраивать варьируя питающее напряжение, температуру, а также создавая механические напряжения в структуре. Основное приложение ККЛ в нашем институте – спектроскопия узкозонных полупроводниковых наноструктур. 22 Интенсивность, у.е. Перестройка частоты за время импульса лазерного излучения mc 2neff L Импульс тока t Интенсивность, у.е. Импульс излучения A. L. Betz, R. T. Boreiko, B. S. Williams, S. Kumar, Q. Hu, J. L. Reno, Optics Letters 30, 1837 (2005). ω 23 Недостатки простых схем ККЛ Для 3-уровневой схемы Для 2-уровневой схемы: главная проблема – электрическая неустойчивость 2 1 t tunn 3 2 1 Для создания инверсии необходимо: I Рабочая точка I t3 2 II V relax t2 1 relax t2 1 < ttunn <t3 2 Первый пик на ВАХ возникает из-за блоховских осцилляций электронов Второй пик возникает из-за рассогласования 1-го и 2-го уровней Инверсия населенностей достигается в электрически неустойчивой точке, где дифференциальное сопротивление отрицательно. 24 Ширина спектральной линии для импульсов различной длительности ~ 600 MHz 25 g(ω) 0 Интенсивность, у.е. 3 ω, THz Импульс тока 26 t Зависимость частоты излучения от приложенного напряжения 4 квантовые ямы в активной области 1 f 5 1 1,65 10 f U В 27 Спектры излучения лазера с тремя квантовыми ямами в активной области U=17В U=16,5 В Signal power, arb. un. 2,5 T=8K 2,0 1,5 t=1мкс скважность 100 FWHM=0,019 см -1 FWHM=0,020 см -1 FWHM=0,011 см -1 FWHM=0,010 см -1 1,0 0,5 0,0 106,8 107,0 107,2 107,4 Wavenumber, cm -1 107,6 28 29 ККЛ в Нижнем Новгороде: Ю.Г.Садофьев 30