. Аделя Кутуя , 159, 273-15-85, 299-70 www.magnetron.ru

420087, Россия, Казань, ул. Аделя Кутуя , 159,
тел/факс (843) 299-72-69, 273-15-85, 299-70-89
info@magnetron.ru
www.magnetron.ru
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
Нанесение упрочняющих, износостойких и декоративных покрытий
Варианты
конструкции
К1- К6 – магнетроны, дуговые испарители, ионные источники
ВАТТ 900-3Д
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
Модификация установки с элкутродуговыми распылителями предназначена для
нанесения твердых, износостойких, трибологических и защитных покрытий на
основе как обычных многослойных, так и нанокомпозитных пленок на деталях
машин и инструменте.
Зона обработки до D-700, L-1200 мм.
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
Интерфейс управления
Пульт управления
Система управления позволяет в автоматическом режиме проводить все виды
обработки подложки и наносить нано-структурированные покрытия, состоящие из
слоев на основе чистых металлов и их соединений в любой комбинации.
Количество слоев до 600.
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
Модификация установки с магнетронными распылителями предназначена для
нанесения твердых, износостойких трибологических и защитных покрытий на
основе металлов и их соединений на
детали машин, металлическую
фурнитуру, в том числе из цинкосодержащих сплавов.
Зона обработки до D-700, L-1200
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
Линия нанесения защитно-декоративных покрытий на керамическую плитку
Установка состоит из трех модулей, составляющих один вакуумный объем
– модуль загрузки, модуль напыления и модуль выгрузки.
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
Линия включает стол загрузки,
проходную инфракрасную печь
для нагрева подложек,
вакуумную установку для
нанесения покрытий, стол
выгрузки.
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
Стол выгрузки.
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
Технические характеристики:
Предельное остаточное давление Па
(мм.рт.ст), не более
6,6х10-3 (5х10-5)
Время откачки до давления 1х10-4 мм.рт.ст,
мин., не более
20
Объем вакуумной камеры, м3
6
Производительность установки, расчетная,
м2/цикл
13,6
Установленная мощность, кВт
40
Вес установки, не более, кг
2500
Расход охлаждающей воды, м3/ч
1,2
Габариты, длина, ширина, высота, м
6 х 5,85 х 2,5
Нанесение покрытий на солнечные коллекторы
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
Планарный дуговой
испаритель
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
Барабан с изделиями.
Загрузка – 48 единиц.
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
Технические характеристики:
Предельное остаточное давление Па
(мм.рт.ст), не более
6,6х10-3 (5х10-5)
Время откачки до давления 1х10-4 мм.рт.ст,
мин., не более
20
Объем вакуумной камеры, м3
3,2
Производительность установки, расчетная,
м2/цикл
12
Установленная мощность, кВт
50
Вес установки, не более, кг
4500
Расход охлаждающей воды, м3/ч
1,8
Габариты, м
Нанесение покрытий на отражатели автомобильных фар
5 х 6,4 х 2,4
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
Интерфейс программы управления
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
Барабан с изделиями.
Загрузка – 300 единиц.
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
Технические характеристики:
Предельное остаточное давление Па
(мм.рт.ст), не более
6,6х10-3 (5х10-5)
Время откачки до давления 1х10-4 мм.рт.ст,
мин., не более
30
Объем вакуумной камеры, м3
5,45
Производительность установки, расчетная,
м2/цикл
7,68
Установленная мощность, кВт
28
Вес установки, не более, кг
5500
Расход охлаждающей воды, м3/ч
1,2
Габариты, длина, ширина, высота, м
5,5х3,2х2,8
Нанесение покрытий на стеклянные полотна
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
Источник системы оптического контроля
Приемник системы
оптического контроля
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
контроль пропускания стекол с помощью автоматизированного спектрометра
Загрузка кривой
пропускания эталонного
стекла из файла
Измерение пропускания
образца при нанесении
следующего слоя
оптического покрытия
Измерение
пропускания образца
при нанесении
оптического покрытия
Достигнуто
совпадение
пропускания образца с
эталонной кривой,
подается звуковой
сигнал и команда на
завершение работы
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
Технические характеристики:
Предельное остаточное давление Па
(мм.рт.ст), не более
6,6х10-3 (5х10-5)
Время откачки до давления 1х10-4 мм.рт.ст,
мин., не более
30
Объем вакуумной камеры, м3
2,45
Производительность установки, для труб
длиной 3000 мм, шт/цикл
24
Установленная мощность, кВт
Вес установки, не более, кг
Расход охлаждающей воды, м3/ч
69
5500
4
Габариты, длина, ширина, высота, м
4,5 х 1,6 х 2
Нанесение твердых декоративных покрытий на трубы
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
Установка электронно-лучевого напыления в сверхвысоком вакууме
Сверхвысоковакуумная установка (10-9 мм.рт.ст) для получения сверхчистых пленок
толщиной 1-5 нанометров для фундаментальных исследований свойств наноразмерных
покрытий
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
магнетронного нанесения бинарных структур нанометровой толщины
Покрытие толщиной до 50 мкм, состоящих из слоев толщиной 5-10 нм.
Температура подложки не превышает 50 градусов Цельсия.
Специальные
магнетроны
с
особой
конструкцией
магнитной
системы,
дополнительные водоохлаждаемые аноды с блоком анодного смещения и система
подачи гелия под подложку. (находится в производстве)
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
нанесение оптических покрытий с шлюзованием
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
Высокопроизводительная проходная установка для двухстороннего
нанесения барьерных слоев и слоев под пайку на подложки из
Те Вi для получения термоэлектрических элементов нового поколения
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
УСТАНОВКИ
Вакуумная вставка климатической камеры с откачным постом для испытаний узлов
космической техники при давлении не более 10-6 мм рт ст в условиях длительного
термоциклирования.
1. Вакуумные камеры и посты по ТЗ заказчика.
2. Вакуумные прессы.
3. Установки для литья пластмассы в вакууме.
4. Установки для вакуумной сушки и термомодификации древесины.
5. Установки для вакуумной сушки любых продуктов.
6. Насосы бустерные паромасляные 3НВБМ-630.
7. Установки для вакуумно-нагнетательной пропитки.
www.ottom.com.ua
Украина, 61108, г. Харьков,
ул. Академическая, 1
Т/ф. (057) 335-25-45, (057) 335-35-29
Тел. (057) 335-64-32, (057) 335-63-23
v.shulayev@kipt.kharkov.ua
Директор:
Шулаев Валерий Михайлович