The review рынока трифторида nitrogen

реклама
Мировой рынок трифторида азота.
Содержание.
Введение
3
1. Мировое производство ТФА
1.1. Производители.
5
1.2. Поставщики.
9
1.3. Характеристики выпускаемой продукции.
13
Общие свойства.
13
Упаковка и транспортировка.
14
1.4. Оценка мирового объема производства.
18
1.5. Ценовая ситуация.
19
2. Оценка объемов потребления и спроса по странам
21
2.1. Производство полупроводников.
21
2.2. Производство жидкокристаллических панелей.
23
2.3. Потенциальные потребители. (Реквизиты крупнейших фирм – потенциальных
потребителей ТФА).
24
3. Динамика и прогноз мирового рынка ТФА.
33
3.1. Динамика и прогноз основных показателей на 10-15 лет.
33
3.2. Поведение крупнейших участников рынка.
38
Источники информации
41
Приложения. Годовые отчеты фирм-производителей ТФА.
Air Products
Mitsui Chemicals
Central Glass
2
Введение.
С 1960х в полупроводниковой промышленности стали широко использоваться
перфторкомпаунды (ПФК), в 1980х они были признаны эффективными материалами в
процессах плазменной очистки поверхности и плазменного травления тонкого слоя
полупроводниковых кристаллов. Однако известно, что использование в технологических
процессах этих газов влечет за собой их эмиссию, что вносит существенный негативный
вклад в процесс глобального нагревания атмосферы Земли, так называемый парниковый
эффект. Поэтому, начиная с 1990х, наиболее экологически сознательные представители
крупнейших полупроводниковых компаний и ведущие ученые мира стали активно
исследовать возможности уменьшения эмиссии используемых в технологии газов путем
оптимизации процесса, рециркуляции и поиска новых альтернативных материалов. Цель
снижения эмиссии парниковых газов была сформулирована Всемирным Советом
Полупроводниковой промышленности (World Semiconductor Council), членами которого
являются представители стран, репрезентирующих 90% всего мирового производства
полупроводников.
Весомый аргумент в пользу поиска более экологичных материалов –
это
рекомендации Киотского протокола (1997) по снижению уровня выброса парниковых газов в
атмосферу. Протокол был подписан в Киото (Япония) в декабре 1997 года на Конференции
Сторон Рамочной Конвенции ООН по изменению климата. В соответствии с
рекомендациями Киотского протокола страны-участницы этого форума обязались
обеспечить сокращение выбросов парниковых газов в атмосферу к 2008-2012 г. в среднем на
7% по отношению к уровню 1990 года.
Параллельно с принятием решений на международном уровне принимались решения
о добровольных обязательствах к снижению эмиссии ПФК со стороны производителей
полупроводниковых компонентов, использующих ПФК в технологических процессах. Так, в
1996 году в США было образовано партнерство по добровольному снижению эмиссии
парниковых газов (US EPA Semiconductor PFC Voluntary Partners), которое вошли фирмы:
Advanced Micro Devices
American Microsystems
Burr-Brown
Cherry Semiconductor
Digital Equipment
Dominion Semiconductor
Eastman Kodak
Hewlett-Packard
Hitachi Semiconductor
IBM
Intel
LSI Logic
Lucent Technologies
Micron Technology
Motorola
National Security Agency
National Semiconductor
NEC Electronics
Philips Electronics
Rockwell Semiconductor Systems
Sony Semiconductor
ST Microelectronics
Texas Instruments
VLSI Technology
Позднее подобные партнерства были образованы в Японии и Южной Корее. В марте
1998 года правительство Японии опубликовало государственный план по снижению эмиссии
3
ПФК в атмосферу, а в октябре 1998 о первых успехах в снижении эмиссии ПФК доложили
представители корпорации IBM, в 1999 году о том же доложили представители Motorola.
В апреле 1999 года Международный Совет Полупроводниковой промышленности
(World Semiconductor Council) выпустил документ, в котором была сформулирована цель –
уменьшение абсолютной эмиссии ПФК в технологических полупроводниковых процессах на
10% или более к 2010 году. Документ также предписывал продолжать усилия по поиску
жизнеспособных и рентабельных альтернатив, которые бы позволили уменьшить эмиссию
ПФК, не препятствуя при этом промышленному и технологическому росту отрасли.
В качестве такой наиболее оптимальной альтернативы производителями с середины
1990х рассматривается трифторид азота (ТФА). ТФА - также как и перфторуглероды
относится к перфторированным соединениям –перфторкомпаундам, и также его относят к
парниковым газам. Но уникальная структура ТФА позволяет получать в технологическом
процессе более высокую степень переработки, что позволяет уменьшать поток эмиссии до
90% против других ПФК. ТФА также позволяет увеличить скорость процессинга
полупроводников (от 4 до 12 раз по сравнению с фторуглеродами). Поэтому наряду с
экологической целесообразностью налицо и коммерческая выгода использования
в
производстве полупроводниковых микрокомпонентов этого газа.
В соответствии с последними решениями авторитетных международных и
национальных
экологических
организаций
производители
оборудования
для
полупроводниковой отрасли стали выпускать для производства последнего поколения
полупроводников
новые серии производственных установок, предполагающие
использование ТФА в техпроцессе. Таким образом, изложенные выше обстоятельства
обусловили бурный рост спроса на ТФА в 2000е годы.
4
1. Мировое производство ТФА
1.1. Производители.
Мировым лидером в производстве ТФА является американская фирма Air products and
Chemicals, Inc. (APC), основанная более 60 лет назад. В настоящее время (2002) APC держит
в своих руках не менее половины мирового рынка ТФА, оставаясь лидером также и в
поставках других газов и химикатов для электроники и для химической промышленности.
Фирма продолжает выпускать другие перфторкомпаунды, предназначенные для
производства полупроводников, но при этом непрерывно наращивает объем производства
ТФА, следуя росту потребностей мировых производителей электроники.
Объем продаж АРС в 2001 году составил 5,7 млрд. долларов, из которых 3,9 млрд.
долларов приходились на индустриальные газы, а остальное на химикалии и
спецоборудование. Поскольку основные покупатели продукции АРС – фирмы,
производящие микроэлектронику, колебания конъюнктуры, характерные для рынка
электроники и полупроводников отражаются и на динамике годовых продаж АРС. Так,
объем продаж продукции компании в первые три месяца 2002 года составил 1,313 млрд.
долларов, что меньше по сравнению с 1,534 млрд. долларов, полученными от продаж за
аналогичный период 2001 года.
Головной офис АРС находится в штате Пенсильвания (США), а дополнительные
офисы и производственные структуры в более чем 30 странах мира. Общая численность
сотрудников АРС 17500 чел.
50% продукции АРС продается в своем регионе (США), 25% - в Европе, 7% - в
Канаде и Латинской Америке, 17% приходится на все остальные регионы.
ТФА выпускается на основной мощности АРС в США в местечке Hometawn
(Пенсильвания), где работает 370 служащих. По итогам рейтинга американского издания
Industry/Weeks этот завод признан одним из 25 лучших промышленных предприятий
Северной Америки в 2001 году. Одним из критериев высокой оценки послужили хорошо
продуманные и реализованные программы утилизации отходов на заводе.
Кроме того, АРС имеет партнерские и дочерние предприятия по отгрузке (transfill
transfill) ТФА за пределами США. Это – заводы в Amagasaki (Япония), Tainan (Тайвань),
Shihwa (Ю.Корея), Keumiee (Бельгия).
В 1999 году суммарные мощности по производству ТФА на АРС составляли 988 тыс.
фунтов (примерно 450 тонн) в год. Уже к середине 2001 года по данным компании они
должны были составить 2400 тыс. фунтов (примерно 1100 тонн) в год, а в первой половине
2002 года 2775 тыс. фунтов (1260 тонн) в год.
Air Products and Chemicals, Inc.
7201 Hamilton Boulevard
Allentown, PA 18195-1501
Phone (800) 654-4567
Fax (800)880-5204
Основные конкуренты АРС на рынке ТФА - японские фирмы КДК (Канто Денка
Когё), Мицуи Хемикал Инк. и Central Glass Co., Ltd. На их доли в последнее время
приходилось 30- 40% рынка.
Наиболее известная из них на Западе - Мицуи Хемикалс Инк. (Mitsui Chemicals, Inc.)
– крупнейшая японская химическая компания, основанная в 1947 году, имеющая свои
офисы и производственные подразделения в Европе, Китае, Южной Корее, США и странах
Тихоокеанского региона. Количество служащих в корпорации составляет 12,8 тысяч.
Объем продаж фирмы непрерывно растет. По итогам года, заканчивающегося 31
марта 2001, оборот фирмы составил 940 млрд. йен, из которых 190 млрд. пришлось на
продажи вне Японии. Основные зарубежные покупатели продукции фирмы (более 60%) –
страны Тихоокеанского региона.
5
ТФА производится на двух предприятиях: в Японии в Симоносеки (Shimonoseki
Mitsui Chemicals, префектура Yamaguchi) и в США в Адриане (Anderson Development Co.,
штат Мичиган). Производство в Адриане началось с 1997 года, когда компания Мицуи
предоставила своим американским партнерам технологию.
По итогам 2001 года мощности Мицуи Хемикалс позволяли вырабатывать 400 тонн
ТФА в год. Запланированные на 2002 год мероприятия по наращиванию мощностей на обоих
предприятиях должны позволить увеличить этот показатель до 600 тонн в год.
Mitsui Chemicals, Inc.
Kasumigaseki Bldg., 2-5, Kasumigaseki 3-chome,
Chiyoda-ku, Tokyo 100-6070, Japan,
Tel. 81-3-3592-4060
Fax 81-3-3592-4211
Anderson Development Company
1415 E. Michigan Street
Adrian, MI 49221-3499
Phone: (517) 263-2121
Fax: (517) 263-1000
President Larry Dickinson
Director of Marketing Jack Georgal
jack.georgal@anddev.com
Канто Денка Когё – японская химическая фирма, специализирующаяся на
фторорганике, а также выпускающая широкий ряд органических и неорганических
химикатов. Традиционно среди продукции фирмы заметное место занимали такие продукты
как каустик-сода, порошки железа. Годовые объемы продаж продукции этой фирмы
составляли в последние годы 20-22 млрд. йен.
Однако, несмотря на постоянно растущий спрос на ТФА, компания испытывала,
начиная с 1999 года, стойкое падение доходов, что заставило менеджмент вплотную заняться
реструктуризацией производственной программы фирмы. Наращивание объемов выпуска
ТФА остается одним из главных приоритетов компании. В 2001 году производственные
мощности по ТФА составляли около 400 тонн в год.
KANTO DENKA KOGYO CO., LTD.
Tokyo Kaijo Bldg. Shinkan, 1-2-1 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 100-0005
Japan
Phone (03)3216-4561
Fax Phone (03)3216-4581
http://www.kantodenka.co.jp/index2e.htm
Central Glass Co., Ltd. (CG) основана в 1936 году. Со временем наряду со стеклом и
стеклоизделиями стала выпускать также удобрения, соду, органические и неорганические
фторированные соединения. Капитал фирмы оценивался в 2001 году в 18,1683 млн. йен.
Представительства фирмы есть на Тайване, в Тайланде, Вьетнаме, Китае и США.
Компания располагает тремя заводами (все в Японии), на одном из которых было освоено
производство ТФА. По сведениям из пресс-релизов следует, что фирма планировала
увеличить проектную мощность ТФА со 100 (1999) до 200 тонн в год. В материалах
годового отчета (2001) компании утверждается, что CG – единственная в мире фирма,
использующая технологию получения ТФА из фтористой кислоты (HF).
Central Glass Co., Ltd.
Kowa-Hitotsubashi Building, 7-1
Kanda-Nishikicho, 3 chome Chiyoda-ku,
Tokyo 101-0054, Japan
Phone No. (03) 3259-7111
6
Fax No. (03) 3259-7883
Все остальные фирмы, производящие ТФА, пока находятся в стадии освоения
технологии и в силу разных причин иногда сталкиваются с проблемами.
Наиболее известными из компаний «второй линии» мирового ТФА-бизнеса являются
Advanced Specialty Gases (ASG, США) и Pelchem (ЮАР), химическое подразделение
NECSA, которое организовало производство ТФА в альянсе с BOC Edwards , известным как
поставщик интегральных решений в полупроводниковой отрасли. Эти производители
каждый в свое время ввели в действие мощности по выпуску ТФА, но в силу разных причин
сталкиваются с проблемами.
Advanced Specialty Gases (ASG) – американская фирма, имеющая завод в Дайтоне
(Dayton), на котором в конце 90-х было запущено производство ТФА с проектной
мощностью 100 тыс. фунтов (50 тонн) в год. Однако 30 июля 2000 года на заводе произошел
взрыв, в ходе которого произошла утечка примерно 100 кубических футов ТФА. В
настоящее время ASG предлагает к продаже специальные газы, в т.ч. и ТФА. Однако, в то же
время есть указания на внешнее, в частности, российское происхождение части реализуемой
продукции, в т.ч. и ТФА. (http://www.business.com/directory/chemicals/gases/)
Advanced Specialty Gases
280 B Coney Island Dr.
Sparks, NV 89431
PH: 775-356-5500
FAX: 775-356-5571
asg@advancedspecialtygases.com
Pelchem-NECSA . Технология производства ТФА была приобретена BOC Edwards у
АРС. В 2000 году был широко анонсирован старт производственного процесса по выпуску
ТФА на предприятии Pelchem-NECSA в ЮАР. В проектировании производства участвовала
фирма Main Line Engineering (MLE).Функции маркетинга и реализации продукции, как
предполагалось, на себя полностью возьмет BOC Edwards. Планировалось начать
производство с четвертого квартала 2000 года, проектная мощность составляла 250 тонн в
год. Но сообщение о запуске производственной линии ТФА было опубликовано только в
сентябре 2001 года. В сообщении говорилось, что производство в действии и есть все
необходимые условия для вывода его на проектную мощность. В пресс-релизах и
предложениях для продажи BOC Edwards по-прежнему практически не упоминается такой
продукт как ТФА. Хотя на сайте предприятия Pelchem выставлено предложение о продаже
ТФА, но на обращения извне с просьбами уточнить стоимость и условия его поставок
менеджеры завода отсылают потенциальных покупателей к BOC Edwards.
Pelchem- NECSA
Postal Address: P.O Box 582Pretoria 0001
South Africa
Physical Address: Pelindaba
Church Street Extension West
Pretoria
South Africa
+27-12-305 4550
Tel: +27-12-305 4557
e-mail: cheminfo@aec.co.za
BOC Edwards
One Edwards Park
301 Ballardvale Street
Wilmington, MA 01887-1075
United States
7
Phone: .978.658.5410
Fax: .978.658.7969
Web Site: http://www.bocedwards.com
Main Line Engineering
Tel: (610) 594-9310 Fax: (610) 594-9311
211 Welsh Pool Rd Suite 120 Exton PA 19341
В России мощности по выпуску ТФА были недавно установлены на опытном заводе
ГИПХ в п.Кузьмолово Ленинградской области. Технология разработана в России и продукт
стандартизован по ТУ 6-02-2-852-85 . Возможные текущие объемы поставок составляют 10
тонн в год, возможные перспективные 15 тонн в год.
ФГУП РНЦ "ПРИКЛАДНАЯ ХИМИЯ" Опытный завод
188663, п.о. Кузьмолово, Ленинградская область
Факс (812) 327-48-21
Тел. (812) 534-90-89
Еще один новый азиатский производитель появился в 2002 году в Китае. Линия по
производству ТФА была запущена в зоне приоритетного научно-технологического развития
Чэнду-Вэньцзян (Chengdu-Wenjiang) в провинции Сычуань (Sichuan province) на базе
действующего предприятия China Nuclear Honghua Specialty Gases Co., Ltd., которое
является крупнейшим в Китае производителем неорганических фторидов. Завод входит в
корпорацию Honghua Industries Corp., которая расположена в той же зоне и занимает
площадь в 6.95 гектаров. Стоимость активов компании - 234 миллиона юаней (32,2 миллиона
Евро), она производит высокочистые газы - гексафторид серы (1400 тонн – 70% внутреннего
рынка КНР), фтор, четырехфтористый углерод. В реализации проекта участвует
правительство зоны Чэнду. Рeализация проекта потребует инвестиций в размере 140
миллионов юаней (19,3 миллиона Евро), а стоимость выпускаемой продукции может достичь
200 миллионов юаней в год (27.6 миллиона Евро).
В мае 2002 между руководителями китайской корпорации и фирмой Дюпон было подписано
соглашении об инвестировании последней во вновь созданное производство ТФА (Chengdu
Beyond Chemicals), которое должно позволить к концу 2003 года нарастить мощности по
выпуску ТФА до 150 тонн.
China Nuclear Honghua Specialty Gases Co., Ltd.
Liulin Road, Chengnan Economic Development Zone, Wenjiang, Chengdu, China
PostCode: 611130
Tel: 0086-28-2687885 2687870 2687871
Fax: 0086-28-2687792
hhgasjjz@mail.sc.cninfo.net
http://www.honghuagas.com
Chengdu Beyond Chemicals Co.,Ltd.
610041,Tianxinyuan,No.18,North HongPaiLou St.
Chengdu,
Sichuan,
China
Tel: 0086-28-85060355
Fax: 0086-28-85082015
8
1.2. Поставщики трифторида азота.
Поставщики ТФА играют заметную роль на
мировом рынке в условиях
малочисленности производителей. Крупные производители (такие как АРС) предпочитают
напрямую работать только с крупнейшими потребителями, для остальных существуют сети
поставщиков.
Среди поставщиков можно выделить как группу предприятий, выступающих от
имени производителя и непосредственно входящих в его производственно-сбытовую
структуру («вторичные производители»), так и независимые предприятия, зачастую
занимающиеся сбытом продукции нескольких производителей. К первым относятся
упоминаемые также в п.3.2. и 1.1. четыре дочерних завода АРС, расположенные в Бельгии и
трех странах ТОР.
Наибольшее число независимых поставщиков находится в США, где ТФА больше
всего производится и потребляется. При этом американские поставщики работают не только
на свой регион, они охотно устанавливают связи и потребителями из других регионов, в т.ч.
из стран СНГ.
Advance Research Chemicals, Inc. – американская компания, головное отделение
которой находится в штате Оклахома, специализирующаяся на различных органических и
неорганических соединениях фтора. Располагает двумя заводами в США, имеет офисы в
Великобритании. С момента основания (1987) занимается как производством различных
химических соединений, так и предлагает услуги по расфасовке и упаковке химических
изделий других производителей, в том числе является поставщиком трифторида азота.
Advance Research Chemicals, Inc.
Tanumal Chemical Complex Bldg., 1110 W. Keystone Ave. Catoosa, OK 74015 USA
Tel:(918)266-6789
Fax:(918)266-6796
http://www.fluoridearc.com/
Ozark Fluorine Specialties, Inc. – американская компания, принадлежащая LithChem
International, одному из отделений Toxco Inc., крупнейшей компании, занимающейся
переработкой литиевых батарей (головной офис компании расположен в Калифорнии, США,
также есть офисы в Великобритании и Канаде). Созданная поначалу для производства
различных кислот, в 50-е годы компания была полностью была перепрофилирована на
производство и продажу различных фторсоединений, как органических, так и
неорганических.
Ozark Fluorine Specialties, Inc.
Dale Fisher, Technical Marketing Specialist
5101 W. 21st St. Tulsa, OK 74107-2230
Tel:(918)586-4079
Fax:(918)586-4083
sales@ozarkfluorine.com
Dr. Philip E. Rakita
New Business Development Manager
Phone: 215-729-6850
prakita@ozarkfluorine.com
Scott Specialty Gases – производитель и поставщик широкого ассортимента газов и
газовых смесей, применяемых в электронной и нефтехимической промышленности,
медицине, а также газов высокой степени очистки для научных и лабораторных
исследований. Также специализируются на поставках различного газобалонного
оборудования. Трифторид азота предлагают двух степеней очистки 99,99% - для
9
плазменного травления и 99,9% - для очистки в 44, 16 и 7-литровых баллонах. Компания
имеет два головных офиса - в Филадельфии (Пенсильвания, США) и в Европе (Нидерланды),
и четыре специализированных (по направлениям бизнеса), расположенными в США, офисы
продаж открыты по всему миру.
Scott Specialty Gases
Corporate Headquarters (Philadelphia Area)
6141 Easton Road Box 310 Plumsteadville, PA 18949
Tel.: (215) 766-8861 Fax: (215) 766-0320
European Headquarters & Production Facility
Takkebijsters 48 4817 BL Breda the Netherlands
Tel.: (31) 76 571 18 28 Fax: (31) 76 571 32 67
Scott Semiconductor Gases – специализированный офис по полупроводниковым газам
5121 Brandin Court Fremont, CA 94538
Tel.: (510) 659-0162 Fax: (510) 659-9156
Wesco Redwood Inc. – американская компания, занимающаяся поставками
трифторида азота от Air Products.
Wesco Redwood Inc.
Redwood City, CA., USA
Tel.: (650) 368-2821
CATALOGS@wesco-gas.com
Praxair - крупнейший американский производитель и поставщик газов в мире.
Осуществляет продажи в Сев. Америке (70%), Ю.Америке (14%), Европе (11%), Азии (5%).
Офисы в США, Мексике, Канаде. В 2001 году объем продаж составил $5158 млн., что на 2%
больше по сравнению с 2000 годом. Количество служащих на 31 декабря 2001 года
составляло 24271.
Praxair, Inc.
Worldwide Headquarters
39 Old Ridgebury Road
Danbury, CT 06810
USA
Tel.: 1-716-879-4077,
Tel: 800-PRAXAIR (772-9247)
Fax 1-716-879-2040
SOXAL (Singapore Oxygen Air Liquide Pte Ltd.) – сингапурская компания,
принадлежащая Air Liquide (Франция) и BOC Group (Великобритания), занимающаяся
производством и поставками различных газов для промышленности, производства и
медицины.
SENOKO
53 Senoko Road
Cylinder Gas Depot
Ultra High Purity Hydrogen Plant
J1 (16 Tanjong Kling)
Customer Service Unit - Tel: (65) 62654555
Fax: (65) 62660224
J2 (16 Jalan Buroh)
Head Office - Tel: (65) 62653788
Fax: (65) 62651441
J3 (24 Jalan Buroh)
Special Gases Centre - Tel: (65) 62623788
Fax: (65) 62659903
10
Другие поставщики ТФА приведены в таблице 1.1.
Таблица 1.1. Компании-поставщики ТФА азота.
№
1
Компания
Messer Griesheim GmbH
(Германия)
2
Toll Gas & Welding Supply
(США)
3
Mil-Spec Industries Corp.
(США)
4
NISSAN IOI BERHAD (Япония)
5
Linde Gas Ltd (Великобритания)
6
Q 8 Petroleum Ltd (США)
7
Matheson-tri-gas (США)
Координаты
Berlin
Ludwig-Boltzmann-Straße 3
12489 Berlin
Tel. (030) 6 70 093
Fax (030) 67 00 9 5090
Bielefeld
(Industriegase Deutschland) Messer Griesheim GmbH
Altenburger Straße 9
33699 Bielefeld
Tel. (0521) 9 24 77 30
Fax (0521) 9 24 77 40
3005 Niagara Lane
Minneapolis, MN 55447
USA
Tel: 877-865-5427
Fax: 763-551-5335
info@tollgas.com
sales@tollgas.com
10 Mineola Ave.
Roslyn Heights, NY 11577
USA
Tel: 516-625-5787
Fax: 516-625-0988
Hicom Head Office
Lot 2, Persiaran Sabak Bernam, Section 26,
Hicom Sector B, PO Box 7077, 40702 Shah Alam, Malaysia.
Tel: 603-511 2959 (6Lines)
Fax: 603-511 2835 (General) 603-512 1701 (Marketing)
Shah Alam
Jalan Pengisir 15/9, Off Jalan Utas 15/7,
PO Box 7077, 40702 Shah Alam. Malaysia.
Tel: 603-559 1006 / 1059 Fax: 603-559 3728
Penang
Plot 90, Bukit Minyak Industrial Park, 14100 Seberang Perai
Tengah, Pulau Pinang, Malaysia.
Tel: 604-507 0684 / 0642 Fax: 604-507 5442
Ipoh
No 2, Jalan President Kennedy,
Off Lahat Road, 30200 Ipoh, Malaysia.
Tel: 603-559 1006 / 1059 Fax: 603-559 3728
Johor Bahru28, Jalan firma 1/5, Tebrau Industrial Estate,
81100 Johor Bahru, Malaysia.
Tel: 607-335 2344 / 2345 Fax: 607-355 2346
Johnsons Bridge Rd, Church La, West Bromwich, W.
Midlands, B71
UK
Tel: 0121-500 1000
Fax: 0121-500 1111
Burgan Ho, The Causeway, Staines, Middx, TW18 3PA
GB
Tel: (01784) 467788
Fax: (01784) 419158
General enquiries ijr@kpgb.q8.co.uk
Specialty Gas Division
11
8
United Fluoride(США)
9
Korea Specialty Gases Co.,Ltd.
(Корея)
10
DAIDO AIR PRODUCTS
ELECTRONICS, INC. (Япония)
San Fu Chemical Co., Ltd.
(Тайвань)
11
12
AIR PRODUCTS KEUMIEE
(Бельгия)
13
PanGas (Швейцария)
14
AIR LIQUIDE GmbH
(Германия)
15
SPECIALTY GASES OF AMERICA
(THE AMERICAN GAS
GROUP)(США)
16
AGA GAS, Inc. (США)
17
Showa Denko K.K. (Япония)
18
Korea Standart Gas (Корея)
Equipment Technology Center
166 Keystone Drive
Montgomeryville, PA 18936
Phone: 215-641-2700
International
6775 Central Avenue
Newark, CA 94560
Phone: 510-793-2559
Fax: 510-790-6241
Email: mtgnewark@matheson-trigas.com
info@matheson-trigas.com
onlinequotes@mathesongas.com
2/F, 136-08, 35 Avenue, Flushing, NY 11354, USA
Tel: (718)886 5318
Fax: (718)886 2688
http://uf-chem.com/formmail.htm (заказ)
Head Office & Factohry : 1238-3, Jeongwang-dong, Shieungcity, Kyungki-do, Korea
(Tel : 31-433-3070 / Fax : 31-433-3079)
Sales Office :Tel) 31-433-3070
President :Lee, Jun-Youl
Nihon Seimei Midosuji Building 6F, 4-2-4,
Minami-semba, Chuo-ku, Osaka City, Osaka 542-0081
5th Fl., No.21 Chung Shan N. Rd. Sec. 2 Taipei 104 Taiwan
R.O.C. Tel:886-2-25214161 Fax:886-2-25818359 Email:info@sanfu.com.tw
B-5140 KEUMIEE Tel 071/82.22.76 - 82.22.54 Fax
071/81.65.99
e-mail kalogegd@apci.com
Industriepark 10
CH-6252 Dagmersellen
TelefonZentrale 062 748 15 00
Fax Zentrale 062 748 15 55
Telefon Contact Center 0844 800 300
Fax Contact Center 0844 800 301
contact@pangas.ch
Hans-Günther-Sohl-Straße 5
D-40235 Düsseldorf
Germany
Tel. (0211) 66 99 0
Fax (0211) 66 99 222
6055 Brent Road
Toledo, OH 43611
(419) 729-7732
конт. лицо JIM AVOLT: THEGASGODS@AOL.COM
(800) 471-7013
(419) 470-0267
6055 Rockside woods Blvd
P.O. Box 94737
Cleveland, OH 44101-4737
Tel. (216) 642-66-00
Gases & Chemicals Division
Phone:81-44-329-0707
81-44-329-0760
Fax:81-44-329-0797
Tel: 053-582-4148/9
Fax: 053-585-3205
12
1.3. Характеристика продукции.
Общие свойства.
ТФА представляет собой токсичный, неогнеопасный, бесцветный газ, не обладающий
запахом.
Основная область применения – используется в полупроводниковой промышленности
в процессе очистки и плазменного травления кремниевых пластин. Является альтернативой
перфторуглеродам, использующимся для этих же целей. Обладает рядом преимуществ,
которые определяют постепенный отказ в последние годы от перфторуглеродов, главное из
которых состоит в его большей экологической безопасности.
ТФА представляет минимальную опасность для окружающей среды, вследствие своей
инертности и низкой растворимости в воде при нормальных условиях. Также он не
представляет такой опасности для озонового слоя земли, как другие применяющиеся для
таких же целей вещества.
Поскольку ТФА с водой при нормальных условиях не реагирует, а также очень плохо
растворяется, то опасность загрязнения водных ресурсов, в случае его утечки при отгрузке
минимальна. Однако при повышенных температурах (более 3000 С) ТФА диссоциирует в
реактивную разновидность фтора, которая реагирует с большинством материалов.
В таблице 1.2. приведены общие физические и химические свойства ТФА.
Таблица 1.2. Физические и химические свойства ТФА.
Характеристика
Температура кипения
Температура замерзания
Молекулярная масса
Критическая температура
Критическое давление
Растворимость в воде
Плотность газа (1 атм, 700 F)
Плотность жидкости (1 атм, - 200,20 F)
Стандартная энтальпия образования при 0 К
Стандартная энтальпия образования при 298 К
Энергия образования Гиббса при 298 К
Значение
- 200,20 F (- 1290 C)
- 340,20 F (- 206,80 C)
71,002
- 38,50 F (- 39,30 C)
44,02 атм (4,46 Mpa)
1,43 x 10-5 моль (1 атм/220С)
2,95 кг/м3
1554 кг/м3
- 28,43 ккал/моль
- 29,8 ккал/моль
- 21,4 ккал/моль
ТФА выпускается разной степени очистки. В микроэлектронном производстве, при
плазменном травлении кремниевых подложек применяется ТФА, степень чистоты которого
не менее 99,99%. ТФА, содержащий большее количество примесей, применяют на начальной
стадии очистки кремниевых пластинок.
Таблица 1.3. Степень чистоты ТФА, заявляемая поставщиками и производителями.
Компания
Anderson Development Company (Mitsui
Chemicals)
Air Products
Kanto Denka Kogyo co., ltd
Praxair
Пр/По*
Пр
Пр
Пр
По*
Чистота ТФА, %
99.999
99.99
99.995
99.9
99.5
99,0
99.99
99.99
99.7
13
Scott Semiconductor Gases
По*
Korea Standart Gas
Matheson-tri-gas
По*
По*
Speciality Gases of America
Пр
99.99
99.9
99.998
99.995
99.99
99.9
99.999
99.7
Упаковка и транспортировка.
является токсичным веществом, поэтому при его хранении и транспортировке
выполняется ряд требований.
Наиболее распространены семь типов контейнеров высокого давления, которые
используются основным производителем АРС для перевозки ТФА, включая тубы и
тубодержатели, позволяющие транспортировать до 4300 тонн продукта. Материалы
изготовления – различные виды стали, никелевые сплавы. Баллоны комплектуются
различными типами клапанов, сильно различающимися по цене (например, CGA 330 ~ 40$,
CGA 640 ~ 300$).
ТФА
Таблица 1.4. Классификация баллонов в зависимости от размеров (рабочее давление
100 бар).
Характеристика
Y
A
B
C
D-1
D
Размеры, дюйм
24 x 90
9 x 55
9 x 51
7 x 33
7 x 19
4 x 17
Размеры, см
61 х 229
23 х 140
23 х 130 18 х 84
18 х 48
10 х 43
Максимальный
объем
71,6
7,6
7,3
2,8
1,2
0,5
ТФА*, м3
Масса NF3, кг
195,45
22,73
20,0
7,33
3,18
1,36
*рассчитано для газа, находящегося под давлением 1 бар и температуре 15С.
Существуют и другие по размерам баллоны, рассчитанные на другое давление .
Например, ТФА от фирмы Messer (Германия) предлагается в баллонах под давлением 52 и
43бар. Кроме того фирмы, не являющиеся производителями ТФА, но участвующие в
процессе заполнения баллонов под давлением, часто имеют собственную систему
маркировки этих баллонов. Компании, работающие с АРС как дочерние transfill-предприятия
(заполнение емкостей под давлением, анализ и сертификация продукции), также могут
использовать свои баллоны и соответственно свою их маркировку. Например, Showa Denko
K.K. использует заполнения ТФА баллоны 10 и 47 литров с размерами 14х85 и 23,2х137 мм.
Торговые названия ТФА как таковые присутствуют только у АРС. Основной
производитель предлагает следующие торговые названия в зависимости от степени чистоты
ТФА : CP (99,0), Electronic (99,5%), VLSI (99,9%), Megaclass (99,995%). Упакованному
продукту соответствует номер спецификации, в котором первые 6 цифр идентифицируют
степень очистки газа, а следующие за ним буква или буква и цифра обозначают тип
используемого баллона. Например, спецификациооный номер 430600D1 у АРС обозначает
сжиженный при 100 бар ТФА с чистотой 99,995% (Megaclass) в баллоне типа D1 (Cм.
Табл.1.4.). Западные поставщики ТФА чаще всего упоминают продукцию степени чистоты,
соответствующей Electronic и Etchant . Это, например, собственно Electronic и Etchant у Scott
Semiconductor Gases (но несколько ниже чем у АРС показатели примесей – см. табл. 1.6) или
спецификации N30 и N40 у Air Liquide. Поставщики в странах ТОР – степени чистоты
Electronic и VLSI (часто обозначают ULSI).
14
Но обычно поставщики и остальные производители не используют никаких торговых
названий, ограничиваясь спецификационными номерами. Например, ТФА производства
японской фирмы CG имеет спецификационный номер 306С, а поставляемый фирмой Praxair
– С57. Однако спецификационные номера – это внутренний учет каждой фирмы, они не
являются торговыми марками или торговыми названиями, и при заказе ТФА ссылка
покупателя на них обычно не обязательна. Пока на рынке мало производителей, ТФА чаще
всего в каталогах обозначен своим обычным химическим названием.
Таблица 1.5. Торговые марки и их характеристики для ТФА, предлагаемого Air Products.
Марка\Степень чистоты\ спецификационный
номер
CP
99,0%
40004
Electronic
99.5%
40010
VLSI
99.9%
40034
Megaclass
99.995%
40090
Примеси
Мах концентрация
Компонент
(ppm)*
CF4
5000
CO
50
CO2
50
H2O
5
N2
3000
N2O
200
O2 + Ar
5000
SF6
200
O2
700
N2
700
CO
25
CO2
25
CF4
1500
H2O
1
N2O
50
SF6
50
HF
0.3
O2
50
N2
50
CO
10
CO2
10
CF4
700
H2O
1
N2O
10
SF6
50
HF
0.3
O2 + Ar
6
N2
10
CO
0.5
CO2
4
CF4
25
H2O
1
N2O
2
SF6
1
HF
1
Таблица 1.6. Показатели чистоты ТФА, предлагаемого Scott Semiconductor Gases(ppm)
Electronic
99.9%
Etchant
99.99%
<635
< 50
< 50
< 10
<1
< 0.3
< 50
<2
< 2.5
<2
< 0.25
< 1.5
Примеси
CF4
N2
O2 + Ar
CO2
H2O
HF
15
< 50
< 10
< 10
SF6
N2O
CO
< 20
<3
-
Таблица 1.7. Показатели чистоты ТФА, предлагаемого Chengdu Beyond Chemicals
Примеси
CO2
CO
CF4
N2
N2O
O2
SF6
H2O
(Степень очистки 99,8%)
Содержание, макс.,ppm
80
130
500
100
80
100
25
1
Информация о ТФА со степенью чистоты менее 99% обычно не размещается
зарубежными производителями в каталогах.
Степень очистки российского ТФА, производимого на опытном предприятии ГИПХ в
пос.Кузьмолово – 98,5%.
Ниже приводятся технические требования и другая информация производителя об
этой продукции.
1. Наименование продукции
Азорит
Химическая формула: NF3 (трифторид азота)
2. Область применения
Трифторид азота применяется для плазмотравления, в микроэлектронике.
При заказе указывают: Трифторид азота по ТУ 6-02-2-852-85
3. Технические характеристики
1. Технические требования
Трифторид азота газообразный представляет собой бесцветный газ, не обладающий запахом, с массовой долей
не менее 98,5%.
Молекулярная масса (по международным атомным массам 1985 г.) – 71
Плотность газа – 3,17 кг/м3
Температура кипения – минус 129оС
Температура замерзания – минус 206,8оС
По физико-химическим показателям трифторид азота должен соответствовать требованиям и нормам,
указанным в таблице:
Наименование показателя
1. Объемная доля трифторида азота,
%, не менее
2. Объемная доля примесей азота и
кислорода, %, не более
Норма
3. Объемная доля воды, %, не более
0,008
98,5
1,5
2. Требования безопасности
2.1. Трифторид азота при нормальной температуре является не горючим токсичным газом.
Предельно-допустимая концентрация трифторида азота в воздухе зоны производственных помещений 0,5
мг/м3.
Трифторид азота относится ко 2 классу опасности по ГОСТ 1.1.005-88.
2.2. Трифторид азота очень опасен при вдыхании, поэтому необходимо создать полную герметичность
аппаратуры, а все работы с ним проводить в помещениях с действующей приточно-вытяжной вентиляцией.
16
2.3. Заметное взаимодействие трифторида азота с металлами начинается при температуре свыше 350 оС.
Газовые смеси трифторида азота с водородом, парами воды, метанолом, аммиаком и другими газами, которые
могут окисляться, взрывоопасны при инициировании (искра, открытый огонь). В помещении, где проводят
работы с трифторидом азота, запрещается курить и проводить огневые работы.
3. Правила приемки
3.1. Трифторид азота поставляют партиями. Партией считают 1-10 баллонов, заполненные одновременно,
однородного по качеству продукта, оформленные одним документом о качестве – паспортом.
Паспорт должен содержать:
- наименование завода-изготовителя или его товарный знак;
- наименование продукта;
- номер партии;
- номер баллона;
- массу нетто;
- дату изготовления;
- дату проведения анализа;
- показатели качества продукта по результатам проведенных анализов или подтверждение о
соответствии качества продукта требованиям настоящих ТУ;
- обозначение настоящих ТУ.
3.2. Для проверки качества продукта на соответствие его показателей требованиям настоящих ТУ отбирают
среднюю пробу партии.
3.3. При получении неудовлетворительных результатов анализа партии бракуют и производят дополнительную
очистку.
4. Упаковка, транспортирование и хранение
4.1. Трифторид азота закачивают в баллоны по ГОСТ 949-73 вместимостью 5-40 дм3 и максимальным рабочим
давлением до 11 МПа.
4.2. Баллоны перед заполнением должны быть вымыты и высушены горячим азотом при температуре 70-100оС,
а затем отвакуумированы.
4.3. Трифторид азота транспортируют мелкими отправками автомобильным транспортом предприятияпотребителя.
4.4. Баллоны с газообразным трифторидом азота хранят в вытяжных шкафах или в вентилируемых боксах.
5. Гарантии изготовителя
5.1. Изготовитель гарантирует соответствие продукта требованиям настоящих ТУ при соблюдении
потребителем условий применения, транспортирования и хранения, установленных настоящими ТУ.
5.2. Гарантийный срок хранения трифторида азота устанавливается 5 лет со дня изготовления.
4. Возможные объемы поставок:
существующие – до 10 тонн/год
потенциальные – до 15 тонн/год
17
1.4.Оценка мирового объема производства.
Исходя из опубликовавших данные о производственных мощностях и об объемах
потребления ТФА, можно оценить текущий мировой объем производства в 1,2 – 1,6 млн.
тонн.
Оценка произведена, исходя из следующих посылок.
Суммарные мощности всех производителей ТФА в мире в 1999 году составляли
1990000 фунтов (900 тонн). Прогноз развития мощностей на 2001 год был приведен осенью
2000 г. на одной из конференций The Information Network, он составила 5582000 фунтов (2,5
млн.тонн) (См. таблицу 1.8. ) . Однако на реальные объемы производства, очевидно, все же
оказал влияние небывалый спад на рынке полупроводников, произошедший в 2001 году.
(См. также п.3.1) Так, например, об АРС было отмечено в прессе, что к марту 2001 года он
выпускал 1,35 млн. фунтов (615 тонн) ТФА, что примерно в 1,8 раза менее запланированной
на середину этого года мощности. Кроме того, есть сомнения в освоении мощностей такими
производителями как Advanced Specialty Gas, BOС и китайским производителем.
Относительно производителя из России известно, что мощность по азориту (марка ТФА)
составляет сейчас 10 тонн. Это также менее, чем проставленные в таблице 23 тонны.
Ориентировочный объем загрузки имеющихся мощностей оценивался примерно в 80%.
Кроме того, данные по мощностям были посчитаны авторами, исходя из заявлений в
прессе, в устных интервью и на совещаниях представителей самих предприятий, в то время
как оценка реального потребления исходила из статистики продаж нового оборудования,
предоставляемой ответственными ведомственными структурами.
Таблица 1.8. Производственные мощности по выпуску трифторида азота (1999-2001)
(The Information Network)
Производитель
Страна
Air Products
Advanced Specialty Gas
BOС
Central Glass
Konto Denka K.
Mitsui Chem.
Ministry of Nuclear
Departament
ГИПХ
Итого
США
США
Ю. Африка
Япония
Япония
Япония/США
Китай
Россия
1999
фунтов
тонн
988000
450
100000
45
0
0
220000
100
352000
160
330000
150
-
2001 год
фунтов
тонн
2400000
1090
180000
80
550000
250
440000
200
880000
400
880000
400
200000
90
> 11000
1990000
50000
5582000
>5
910
23
2533
18
1.5.Ценовая ситуация.
С момента выхода на мировой рынок и до 2002 года цены на ТФА или поднимались
или сохраняли свой уровень, но снижения не наблюдалось. Это характерно для рынка
продавца, каким и является сегодня мировой рынок ТФА. На рынке присутствуют многие
сотни потребителей, и их количество постоянно увеличивается вместе с уровнем
совокупного спроса в то время, как производителей пока очень мало – менее десятка.
Средние цены на ТФА с высокой степенью очистки (99,99 и 99,999%) в 1998/99 годах
составляли $100-120 за фунт (0,454 кг), далее они непрерывно росли до $200 в 2000-м, $250 в
2001-м и $270 – в первой половине 2002 года. (См таблицу 1.9.)
Это те цены, которые платят конечные потребители продукции - предприятияпроизводители полупроводников и ЖКП. При этом объемы потребления разными
предприятиями могут значительно различаться. Но поскольку среднегодовой расход ТФА
одной среднестатистической установки плазмохимического травления обычно не превышает
700 кг, то, очевидно, вряд ли годовые объемы закупок большинства предприятий,
выпускающих микроэлектронную продукцию, выходит за рамки тонны. Крупнейшие
предприятия-потребители (такие как IBM) и крупные фирмы-посредники совершают
сделки на более крупные объемы ТФА. Однако сведения о таких сделках далеко не всегда
попадают в статистику (или попадают с искаженной информацией), кроме того, условия
таких поставок могут учитывать партнерские или дочерние-материнские отношения фирм,
обмен технологиями, оборудованием и т.п.
Влияние степени чистоты ТФА на цену продукта ощутимо. Разница в цене между
ТФА со степенью очистки 99,99% и 99,9% составляет порядка 15%, между ТФА со степенью
очистки 99,999% и 99,99% примерно 25%.
Продукция со степенью очистки 70% практически нигде не упоминается как
товарная.
Цены на реализуемый потребителям ТФА
также очень зависят от объема,
расфасовки продукта и используемой тары. Например, стоимость мелкорасфасованных
порций ТФА, исчисляемых граммами (используются для некоторых приборов как
стандартный газ), может превышать в 3-5 раз цену того же продукта, реализуемого в 44литровом баллоне. Стоимость баллона также существенно влияет на конечную цену
продукта, особенно стоимость конкретной марки запорного вентиля.
ТФА пока еще не является биржевым товаром в обычном понимании этого слова, т.е.
не существует открытых котировок его продаж на биржах. Сделки между поставщиками и
покупателями заключаются в ходе двусторонних переговоров и цена часто является
предметом торга.
Поэтому, хотя небольшая часть предложений попадает в каталоги (табл.1.12) и часть
во внешнеэкономическую статистику, эти сведения все равно не позволяют вывести т
однозначных котировок текущих цен.
Таблица 1.9. Данные о ценах на ТФА из прайс-листа Scott Semiconductor Gases (июль 2002).
Баллоны: (емк.в л)
A (44 l )
TB (16 l )
C (7 l )
Содержание, lbs.
44
16
7
Давление при 70 oF, psig/бар
1,45/0,1
1,45/0,1
1,45/0,1
A
TB
C
Тип газа
Степень
чистоты
19
Electronic
Etchant
99.9%
99.99%
$12,160.00
$14,190.00
$5,680.00
$3,960.00
$4,630.00
Примечание к разделу 1.5.
По конфиденциальным сведениям, полученным от российского разработчика ТФА
(ПИМ-инвест), ему были предложены следующие цены за промышленные партии ТФА с
уровнем чистоты 98,5%:
$200/кг (Hannywell, США)
$120-140/кг (Daikin, Япония)
$160-179/кг (Samsung, Ю.Корея)
20
2. Оценка объемов потребления и спроса по странам.
2.1. Производство полупроводников.
Мировой рынок газов для производства полупроводников принято делить на два
сектора – электронные газы и специальные. К первым относят, в основном газы
транспортировки – азот, жидкий азот, водород и другие. Вторая категория включает газы,
участвующие в процессах чистки, формирования тонких слоем, нанесения масок и т.д. как
непосредственные реагенты. Специальные газы используются в меньшем количестве, но в то
же время имеют более высокие цены из-за особых требований к их чистоте. ТФА наряду с
другими перфторкомпаундами входит в категорию специальных газов.
В середине 1990х годов, когда еще только готовились основные международные
соглашения по экологическим требованиям к выбросу парниковых газов и когда далеко не
все производители полупроводниковых микроэлементов были осведомлены о наличии
эффективной альтернативы использующимся перфторкомпаундам в процессах плазменной
обработки кремниевых пластин, мировой спрос на ТФА оценивался в 40-50 тонн в год.
Причем формировался он в первую очередь за счет крупнейших фирм-производителей с
мировым именем, традиционно занимающих лидирующую позицию в вопросах внедрения
новых технологий. Так, известная американская фирма IBM активно использовала ТФА в
смеси с гелием в производстве микроэлектронных элементов памяти и логики на своем
заводе в Essex Jct., VT еще в 1995 году, в результате чего наряду с экологическим
выигрышем смогла добиться еще общего снижения себестоимости процесса изготовления
микроэлементов почти в 3 раза на единицу поверхности кремниевой пластины.
Сейчас спрос на ТФА резко растет вверх, несмотря на неустойчивость
рынка
полупроводников в целом (См. также п.3.1.)
Газовый сектор был в последние три года году единственным, имеющим ежегодную
прибыль в сфере полупроводникового бизнеса. Объем мирового газового рынка в 2001 году
составил 2,3 млрд. долларов, по предварительным прогнозам объем этого рынка в 2002 году
должен составить 2,7 млрд. долларов, из которых 1,63 млрд. долларов, как ожидается,
должны приходиться на специальные газы.
В количественном выражении объем потребления
ТФА на в производстве
полупроводников в 2001 году составлял около 850 тонн, в 2002 году он должен будет
составить порядка 1-1,2 млн. тонн.
Основные потребители ТФА – заводы по выпуску полупроводниковых
микроэлементов (fabs) и предприятия, занимающиеся производством жидкокристаллических
дисплеев. Соответственно, территориальное
распределение потребителей отвечает
географии расположения производственных мощностей по выпуску этой продукции.
В настоящее время в мире насчитывается порядка тысячи заводов или четыре с
половиной тысячи производственных линий, использующих кремниевую технологию в
производстве микроэлементов. По оценке западных аналитиков примерно 40% из них
используют в техпроцессах ТФА в качестве специального газа. Причем этот показатель
непрерывно растет, в первую очередь за счет производителей, использующих наиболее
современную технологию на кремниевых пластинах 300мм.
Основной бум ввода новых мощностей по производству интегральных микросхем и
других видов микроэлектронных компонентов приходится на страны Тихо-Океанского
региона (ТОР). Так, за период, прошедший с середины 2001 года инвесторами было
проанонсировано открытие в ближайшие сроки 84 заводов, из которых 52 располагаются в
странах ТОР. Кроме того, в новые мощности по производству полупроводников в трех
ведущих странах ТОР – Японии, Корее и Тайване - за два последних года (2000-2001) было
инвестировано 35,3 млрд. долларов, что соответствует 47% всех мировых инвестиций в эту
сферу.
Наиболее крупными потребителями ТФА сегодня являются страны (в % объема
мирового потребления):
21
США – 28
Япония – 22
Тайвань –17
Ю.Корея – 8
Страны Европы – 13,
В т.ч.
Германия – 3,5
Франция - 2
Италия –1,5
Великобритания –1,5
Нидерланды – 1,0
Самыми быстрыми темпами в последнее время росла доля Тайваня. Если в 1999 году
страна потребляла не более 50 тонн ТФА, то в 2002 году тайваньские производители
определили свою потребность в продукте в 200 тонн. На долю остального мира приходится
12%. Из оставшихся наиболее активными и перспективными потребителями считаются
страны ТОР : Малайзия, Сингапур, ГонКонг, Китай. Особенно следует отметить Китай,
представляющий
собой
крупнейший
региональный
сектор
мирового
рынка
микроэлектроники. Китай остро заинтересован в развитии собственных мощностей по
производству современных полупроводниковых материалов. Пока же из четырех
используемых в стране микросхем три ввезены из-за рубежа.
Таблица 2.1. Распределение мощностей по выпуску микроэлектронных компонентов
(Wafer – processing) по странам и регионам (2002, оценка с учетом анонсов фирм о вводе
новых мощностей).
Количество
предприятий
190
341
334
209
1074
Европа
Япония
США
Страны ТОР
Всего
%
18%
32%
31%
19%
Мощность в эквиваленте КП
200мм, пластин в год
1714660
3152102
2555987
3920838
11343587
%
15%
28%
22,5%
34,5%
рис. 2.1.Распределение производственных мощностей по
производству полупроводников в мире
15%
Европа
34%
Япония
США и Канада
28%
Страны ТОР и
прочие
23%
22
2.2. Производство жидкокристаллических панелей (ЖКП).
В производстве ЖКП ТФА используется на стадии обработки стеклоосновы (glass
substrate) для плоского экрана. Как и в сфере производства микросхем, ТФА используется в
технологии плазменного травления силиконового слоя (для образования тонкопленочных
транзисторов – Thin film transistor (TFT), и объемы его использования во многом зависят от
скорости продвижения новых технологий и нового оборудования, предусматривающего
использование ТФА в техпроцессе.
90% всего рынка ЖКП занимают четыре позиции – мониторы для персональных
компьютеров, ноутбуки, плоскопанельные телевизоры и мобильные телефоны.
Основной объем производства тонкопленочных транзисторов для ЖКП сосредоточен
в странах ТОР, а именно всего в трех из этих стран – Японии, Южной Корее, Тайване.
Другие страны (например, Китай, ГонКонг), выступающие на рынке также как
производители ЖКП, можно не рассматривать как серьезных потребителей ТФА, поскольку
в подавляющем большинстве случаев их производители заняты на других стадиях процесса
создания ЖКП – сборка, тестирование и т.п.
Соотношение перечисленных стран в бизнесе ЖКП в течение последних лет сильно
менялось. Япония, которая
в 1999 году была основным производителем ЖКП и
соответственно наиболее крупным потребителем ТФА в секторе ЖКП, уступила сейчас
(2002) лидерство Южной Корее, позиции которой в свою очередь теснит Тайвань. Это
связано в первую очередь со сменой производственных приоритетов стран. Известно, что
японские производители в последнее время в большей степени сфокусировали свои усилия
на производстве панелей малых размеров (мобильная телефония, электронные записные
книжки и т.д.), в то время как тайваньские предприятия активно разрабатывают
компьютерное направление, а корейские фирмы – новые поколения потребительских
товаров, где самый крупный сегмент – телевизоры.
Общий объем потребления ТФА в секторе производства ЖКП составил в 2001 году
примерно 150 тонн, из которых оценочно на долю Южной Кореи приходилось 60 тонн,
Тайваня 50 тонн и Японии – 40 тонн.
Тайваньские производители ЖКП планируют дальнейшее наращивание своих
мощностей по выпуску новых поколений продукции с использованием новейших технологий
и нового оборудования. К концу 2004 года они предполагают занять в мировом производстве
ЖКП нишу 49,2% с объемом потребления ТФА – 100-120 тонн.
Таблица 2.2. Оценка потребления ТФА крупнейшими странами-потребителями (к
началу 2002 года).
Страна
США
Япония
Тайвань
Южная Корея
Остальной мир
Итого:
Потребление (ИС + ЖКП), тонн
240
225
200
125
210
1000
Доля, %
24
22,5
20
12,5
21
100
23
2.3. Потенциальные потребители.
Таблица 2.3. Потенциальные потребители – крупнейшие производители
микроэлектроники и жидкокристаллических панелей.
№
Компания
Контактные сведения
1.
Cypress Semiconductor
2.
Acer Inc. (Hsin-Chu)
3.
ADI Corporation
4.
AMD
5.
ATMEL San Jose
3901 North First Street
San Jose, CA, U.S.A.
408-943-2600 (phone)
408-943-2796 (fax)
7, Hsin An Road, Hsin-Chu Science-Based Inductrial Park, Hsin Chu
Tel.: (03) 577-07-07
Stock Office
7F, 137, Sec. 2, Jiann-Gwo North Rd., Taipai, R.O.C.
Tel.: (02) 2509-2368
Acer Inc.
21F, 88, Sec.1, Hsin Tai Wu Rd., Hsichin, Taipei, Hsien 221, Taiwan,
R.O.C.
Tel.: (02) 26961234
Taipei Head Quarters
4F, No.2, Lane 235, Bauchiau Rd.
Shindian City
Taipei 231
Taiwan, R.O.C.
Tel: 886-2-8911-5123
Fax: 886-2-8911-8177
WWW: www.adi.com.tw
E-mail: Marketing@mail.adi.com.tw
Headquarters
One AMD Place
P.O. Box 3453
Sunnyvale CA U.S.A 94088
408-732-2400
800-538-8450
USA
2325 Orchard Parkway
San Jose, CA 95131
6.
California Micro Devices
USA
7.
Chartered Semiconductor
Manufacturing Ltd
8.
Compal
430 N. McCarthy Blvd.
Milpitas, CA 95035-5112
(408) 263-3214
60 Woodlands Industrial Park D
Street Two, Singapore 738406
Tel: (65) 6362.2838
Fax: (65) 6362.2938
Taipei Office
Tel.: 886-2-87978588
Fax: 886-2-26585001
No. 581 Jui-Kuang Rd.
Neihu, Taipei, Taiwan,114
PCP Office
Tel.: 886-3-4391707
Fax: 886-3-4391724
9.
Conexant Systems, Inc.
USA
EM Microelectronic-Marin
4311 Jamboree Road
Newport Beach, CA 92660-3095
Phone: (949) 483-4600
Fax 1: (949) 483-4078
Fax 2: (949) 483-4391
Rue des Sors 3, CH-2074/Switzerland
10.
24
11.
Fairchild Semiconductor
12.
Fujitsu
13.
General Semiconductor
14.
15.
Hitachi, Ltd.
Hynix Semiconductor Inc.
16.
IBM Corporation
17.
Infineon
18.
Intel Corporation
19.
International Rectifier
20.
Intersil Corporation
Phone +41(0)32.755 5111
Fax +41(0)32.755 5403
82 Running Hill Road
South Portland, ME 04106
U.S.A.
Tel: 207-775-8100
Tel: 800-341-0392 (outside Maine)
Tel: 800-832-5505 (inside Maine)
Marunouchi Center Building
1-6-1 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 100-8211
http://www.fujitsu.com
tel. 81-3-3216-3211
USA
10 Melville Park Road
Melville, NY 11747-3113
Phone: (631) 847-3000
Fax: (631) 847-3236
6, Kanda-Surugadai 4-chome,
Chiyoda-ku, Tokyo 101-8010,
Japan
phone:+81-3-3258-1111
Semiconductor & Integrated Circuits Dividion, Hitachi, Ltd.
Nippon Building 6-2 Otemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-1002
Japan
TEL: (81) 3-3270-2111
Hitachi Semiconductor (America) Inc.
179 East Tasman Dr.
San Jose, CA 95134
Tel: (408) 433-1990
Fax: (408) 433-0223
South Korea
San 136-1 Ami-ri Bubal-eub, Ichon, Kyonggi-do,
Phone: +82-31-630-4114
Fax: +82-31-630-4103
http://www.hynix.com
United States
3101 North First Street
San Jose, CA 95134
Phone. 408. 232. 8000
1133 Westchester Avenue
White Plains, New York 10604
United States
Germany
St.-Martin-Str. 53
81541
Munich GM
Phone: (899) 221-4086
Fax: 8992212071
Web Site http://www.infineon.com
2200 Mission College Blvd.
Santa Clara, California 95052
USA
Tel: 408-765-8080
Fax: 408-765-9904
Mexico
233 Kansas St.
El Segundo, CA 90245
phone (310)726-8000
fax (310)322-3322
USA 7585 Irvine Center Drive
25
21.
JDS Uniphase Corporation
22.
Linear Technology
23.
Macronix International Co
24.
25.
Matsushita Electric Industrial Co.,
Ltd.
Micron Technology, Inc.
26.
Microsemi Corp.
27.
Mitel Semiconductor Inc.
28.
Mitsubishi Corporation,
29.
Nanya Technology Corporation
30.
NEC Electronics Inc
Suite 100
Irvine, CA 92618
TEL: (949) 341-7000
FAX: (949) 341-7123
3000 Merivale Road
Ottawa, Ontario
Canada K2G 6N7 Tel
Fax 613 843-3000
613 843-3333
USA 720 Sycamore Dr.
Milpitas, CA 95035
(408) 432-1900
16, Li-Hsin Road, Science -Based Industrial Park,
Hsinchu, Taiwan, R.O.C.
Tel: +886-3-5786688
Fax: +866-3-563-2888
1006, Kadoma, Kadoma City, Osaka 571-8501, Japan
TEL+81-6-6908-1121
USA
8000 S. Federal Way, P.O. Box 6
Boise, ID 83707-0006
Phone: (208) 368-4400
Fax: (208) 368-4435
2381 Morse Avenue
Irvine, CA 92614
USA
Phone: (949) 221-7100
Fax: (949) 756-0308
360 Leggett Dr.
Kanata, ON, K2K 1X3, Canada
Tel: 613-592-2122 ext.6757
Fax: 613-592-6909
E-Mail: lars-goran_bodin@mitel.com
Website: www.mitelsemi.com
Mitsubishi Corporation, 6-3, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo
100-8086 Japan
Telephone:81-3-3210-2121
Facsimile:81-3-3210-8935
IT& Electronics Business Group:
ite-group@org.mitsubishicorp.com
Head Office
HWA YA Technology Park
669, Fu Hsing 3rd Rd. Kueishan
Taoyuan, Taiwan R.O.C.
Tel║G886-3-3281688
Fax║G886-3-3960997
Customer service center
Tel║G886-3-3962223
mllin@ntc.com.tw
Nanya Technology Corporation USA:
675 E.Brokaw Rd.,
San Jose, CA 95112 USA
Tel: (408) 441-7819 ext. 15
Fax: (408) 441-6578
Japan
United States
Corporate Headquarters
2880 Scott Boulevard
Santa Clara, CA 95050-2554
Tel: (408) 588-6000
26
Literature/technical support: (800) 366-9782
31.
Oki Electric Industry Co
Manufacturing Plant
7501 Foothills Boulevard
Roseville, CA 95747-6565
Tel: (916) 786-3900
Silicon Solution Company,
10-3, Shibaura, 4-chome,
Minato-ku, Tokyo 108-8551,
Japan,
Tel.: +81-(0)3-5445-6027,
Fax.: +81-(0)3-5445-6058,
brenner595@oki.co.jp
785 North Mary Avenue,
Sunnyvale, CA 94085,
U.S.A.,
Tel.: +1-408-720-1900,
Fax.: +1-408-720-1918,
32.
ON Semiconductor
33.
Powerchip Semiconductor Corp.
34.
Powerex Inc
35.
QUANTA
36.
Raytheon RF Components
37.
ROHM CO., LTD
38.
Samsung Semiconductor, Inc.
39.
Sanken Electric
Head Office Europe,
Hellersbergstraße 2,
D-41460 Neuss,
Germany,
Tel: +49-2131-15960,
Fax: +49-2131-103539
5005 East McDowell ROAD
Phoenix, Arizona 85008
USA
Tel:602.244.6600
Corporate Headquarters & Fab I Address
No. 12, Li-Hsin Rd. 1, Science-based Industrial Park, Hsinchu, Taiwan,
R.O.C.
Tel 886-3-5795000
Fax 886-3-5788565
Pennsylvania, USA
200E. Hillis Street, Youngwood, PA 15697
phone: (724) 925-7272
marketing fax: (724) 925-4393
Registered office:
No.4, Wen Ming 1st Street, Kuei Shan Hsiang, Taoyuan Shien, Taiwan,
ROC
Principal executive office:
No. 188 Wen Hwa II Road, Kuei Shan Hsiang, Taoyuan Shien, Taiwan,
ROC
Massachusetts USA
362 Lowell Street
Andover, MA 01810
978.684.8900
Fax: 978.684.5452
21, Saiin Mizosaki-cho, Ukyo-ku, Kyoto 615-8585, Japan
TEL(075)311-2121 FAX(075)315-0172
3655 North First Street
San Jose, CA. USA 95134
Tel: 1-408-544-4000
Fax: 1-408-544-4980
6th Fl. SK Seungmyong B/d. 168, Kongduk-dong, Mapo-ku, Seoul. Zip
121-705 Korea
Telephone
27
40.
41.
Seiko Instruments
Semefab (Scotland) Ltd
42.
Semicoa -
43.
Sensitron Semiconductor
44.
Sharp Microelectronics of the
Americas
45.
Shindengen Electric
Manufacturing Company, Ltd.
(SEM), Shindengen America, Inc.
46.
Solid State Devices, Inc.
47.
48.
Sony Electronics Inc.
Core Technology Solutions
Company
Semiconductor Solutions Division
STMicroelectronics
49.
Supertex's Corporate
Sales/Managing Department - 02-714-3700
Technical Department - 02-3275-2600
Fax 02-3272-2145
Tel (310) 517-7771
Newark Road South
Eastfield Industrial Estate
Glenrothes
Fife KY7 4NS
Scotland
Tel +44 (0)1592 630 630
Fax +44 (0)1592 775 265
California- USA
333 Mc Cormick Ave. Costa Mesa, CA 92626
phone: 714-979-1900
fax: 714-557-4541
New York 221 West Industry Court
Deer Park, NY 11729-4681
Tel: (631) 586-7600
Fax: (631) 586-7652
sales@sensitron.com
5700 NW Pacific Rim Blvd.
Camas, WA 98607
Phone: 360-834-2500
2985 East Hillcrest Drive
Suite 140
Westlake Village, CA 91362
Telephone: (800) 634-3654
Fax: (805) 373-3710
E-mail: customerservice@shindengen.com
14380 Valley View Ave. * La Mirada, Ca 90638
Tel: (562) 404-4474 * Fax: (562) 404-1773
3300 Zanker Road
San Jose, CA 95134
Tel (408) 432-1600
STMicroelectronics
Zone Industrielle de Rousset
13106 ROUSSET cedex
Tel: + 33 4 42 68 88 00
Fax: + 33 4 42 53 22 88
STMicroelectronics
Centre commum CNET - ST
850, rue Jean Monnet - BP 16
F-38926 CROLLES Cedex
Tel: + 33 4 76 92 60 00
Fax: + 33 4 76 08 98 25
STMicroelectronics K.K.
Shinagawa - INTERCITY Tower A
2-15-1, Konan,
Minato-Ku
TOKYO 108-6018
Tel: +81 3 5783-8200
Fax: +81 3 5783-8216
Headquarters:
1235 Bordeaux Drive
Sunnyvale, CA 94089
Phone: (408) 744-0100
Fax: (408) 222-4800
(408) 222-4895
Supertex's Wafer Foundry:
71 Vista Montana
San Jose, CA 95134
28
50.
Taiwan Semiconductor
Manufacturing Company Ltd.
(TSMC)
51.
Teccor Electronics
52.
Teledyne Electronic Technologies
53.
Texas Instruments Incorporated
54.
Toko Inc.
55.
Toshiba Corporation
56.
TriQuint Semiconductor, Inc.
57.
United Microelectronics Corp.
(UMC)
Phone: (408) 222-8888
Corporate Headquarters, Fabs 2 & 5
No. 121 Park Ave. III, Science-Based Industrial Park,
Hsin-Chu, Taiwan 300, R.O.C.
Tel: 886-3-578-0221
Fax: 886-3-578-1546
Fabs 3
No. 9, Creation Rd. I, Science-Based Industrial Park,
Hsin-Chu, Taiwan 300, R.O.C.
Tel: 886-3-578-1688
Fax: 886-3-578-1548
WaferTech L.L.C.
5509 N.W. Parker Street
Camas, WA 98607-9299 U.S.A.
Tel: 1-360-817-3000
Fax: 1-360-817-3590
1800 Hurd Drive
Irving, Texas 75038 USA
Tel +1 972 580 7777
Fax +1 972 550 1309
12333 West Olympic Blvd, Los Angeles, CA 90064
(Phone) 310-893-1600
Company Headquarters
Texas Instruments Incorporated
12500 TI Boulevard
Dallas, TX 75243-4136
800-336-5236
Toko Worldwide Headquarters
1-17, Higashi-Yukigaya 2-chome,
Ohta-ku, Tokyo, 145-8585 Japan
Tel: (03) 3727-1161
Fax: (03) 3727-1176, 1169
E-mail: s.nomoto@toko.co.jp
Serving: Asia (other countries), Egypt, Japan
Toko America Headquarters
Toko America, Inc.
1250 Feehanville Drive
Mt. Prospect, IL 60056
Tel: (847) 297-0070
Fax: (847) 699-7864
E-mail: info@tokoam.com
Technology Planning Div.,
Toshiba Corporation,
1-1, Shibaura 1-chome, Minato-ku, Tokyo 105-8001, Japan
Editorial Office:
Toshiba Documents Corporation,
1-1, Shibaura 1-chome, Minato-ku, Tokyo 105-8001, Japan
review@toshiba.co.jp
2300 NE Brookwood Parkway
Hillsboro, Oregon 97124
United States of America
Phone: 503-615-9000
Fax: 503-615.8900
No. 3, Li-Hsin 2nd Road,
Science-Based Industrial Park,
Hsinchu City, Taiwan, R.O.C.
Tel: 886-3-578-2258
Fax: 886-3-577-9392
Email: foundry@umc.com
UMC USA
488 De Guigne Drive,
Sunnyvale, CA 94085, USA
29
58.
United Monolithic Semiconductors
(UMS)
59.
VIA Technologies, Inc.
60.
Vishay Intertechnology, Inc.
61.
Westcode Semiconductors Ltd.
62.
Winbond
Tel: 1-408-523-7800
Fax: 1-408-733-8090
Email:sales@umc.com
UMC Europe BV
Hogehilweg 19,
1101 CB Amsterdam,
The Netherlands
Tel: 31-20-697-0766
Fax: 31-20-697-7826
Email:europe@umc.com
UMS S.A.S.
Route Départementale 128 - BP 46
91401 Orsay Cedex
Tel. +33 1 69 33 03 08
Fax. +33 1 69 33 03 09
UMS GmbH
Wilhelm-Runge-Strasse 11
D-89081 Ulm
Tel. +49 731/5 05-3012
Fax. +49 731/5 05-3005
Taipei Headquarters
8F,533, Chung-Cheng Rd.,
Hsin-Tien,Taipei,Taiwan
Tel: 886-2-2218-5452
Fax: 886-2-2218-5453
Email: mkt@via.com.tw
VIA Technologies , Inc.-Beijing
6F, Dascom Tower, 9 Shangdi East Road, Haidian District, Beijing,
100085
Tel: 86-10-6296-3088
Fax: 86-10-6297-2929
Email: mkt@via.com.tw
VIA Technologies , Inc.-Shanghai
6F, G Area, No. 668, Beijing East Road, Shanghai, 200001
Tel: 86-21-5365-0056
Fax: 86-21-5308-0574
Email: mkt@via.com.tw
VIA Technologies, Inc.-CA
Main Office-940 Mission Court, Suite 220 Fremont, CA 94539, USA
Tel: 1 510 683 3300
Fax:1 510 687 4654
E-Mail: mkt@via.com.tw
VIA Technologies, Inc. -Germany
Mottmann Strasse 12. 53842 Troisdorf-Oberlar Germany
Tel: 49 2241 397780
Fax: 49 2241 3977819
E-Mail: support@viac3.de
E-Mail: sales@viac3.de
63 Lincoln Highway
Malvern, PA 19355-2143
United States
Phone: (610) 644-13-00
Fax: (610) 296-06-57
P O Box 57 Chppenham
Wiltshire England SN15 1JL
Tel.: +44 (0) 1249 444524
Fax: +44 (0) 1249 659448
USA
3270 Cherry Avenue Long Beach
California 90807
Tel: 562 595 6971
Fax: 562 595 8182
CREATION RD.SITE (Fab II)
30
Add: No. 4, Creation Rd. 3, Science-Based Industrial
Park, Hsinchu, Taiwan
63.
WJ Communications, Inc
64.
X-FAB Semiconductor Foundries
AG
65.
Zarlink
66.
Zarlink Semiconductor
67.
Zetex Semiconductors
68.
ZiLOG, Inc.
LI- SHIN RD. SITE (Fab IV, Fab V)
Add: No. 9, Li-Shin Rd., Science-Based Industrial Park, Hsinchu,
Taiwan
Corporate Headquarters (Components and Thin Film)
401 River Oaks Pkwy
San Jose, CA 95134-1916 USA
Telephone: (408) 577-6200
Fax: (408) 577-6620
GaAs Fabrication
1530 McCarthy Blvd
Milpitas, CA 95035 USA
Telephone: (408) 433-2222
Fax: (408) 433-5649
X-FAB Semiconductor
Foundries AG
Haarbergstr. 67
99097 Erfurt, Germany
Tel: +49-361-427 6000
Fax: +49-361-427 6111
info@xfab.com
X-FAB Texas, Inc.
2301 N. University Ave.
Lubbock, TX 79415
USA
Tel: +1-806-747-4400 Ext. 2271
Fax: +1-806-747-3111
fabinfo@xfabtexas.com
X-FAB UK Ltd.
Tamerton Road, Roborough
Plymouth, Devon
UK PL6 7BQ
Tel: +44-1752-693 000
Fax: +44-1752-693 200
info@xfab.com
400 March Road, Ottawa, Canada K2K 3H4
Phone: 613 592-0200
Fax: 613 591-2317
Email: corporate@zarlink.com
Web: www.zarlink.com
400 March Road, Ottawa, Canada K2K 3H4
Phone: 613 592-0200
Fax: 613 591-2317
Email: corporate@zarlink.com
Web: www.zarlink.com
Zarlink operates fabrication centers in Caldicot, Swindon, and Jarfalla.
Corporate Headquarters
Zetex plc
Fields New Road
Chadderton
Oldham
OL9 8NP
UK
Tel: (+44) 161 622 4444
Fax: (+44) 161 622 4420
ZiLOG Worldwide Headquarters
532 Race Street
San Jose, CA 95126
Phone: (408) 558-8500
Fax: (408) 558-8300
31
69.
ZMD AG
ZiLOG Manufacturing, MOD II
2601 11th Avenue., No. Ext.
Nampa, ID 83687
Phone: (208) 468-2600 (#61161)
Fax: (208) 468-2601
Corporate Headquarters
Grenzstrasse 28
D-01109 Dresden
Germany
Phone: +49-351-8822 306
Fax: +49-351-8822 337
General Info: info@zmd.de
Customer Support: support@zmd.de
Sales: sales@zmd.de
32
3. Динамика и прогноз мирового рынка ТФА.
3.1. Динамика и прогноз основных показателей на 10-15 лет.
Как уже было отмечено в предыдущих разделах, рынок ТФА в настоящее время один
из самых динамичных в сфере бизнеса материалов для микроэлектроники. Если в середине
1990х его объем оценивался в 50 тонн в год, то уже в 1998 оценки реализации составили 230
тонн, в 1999 – 360 тонн, в 2000 и 2001 соответственно 580 и 850 тонн. Производители
оборудования для процессов плазменной чистки и травления полупроводников, а также для
изготовления жидкокристаллических мониторов ориентируют свои последние модели на
использование в технологиях ТФА.
Опубликованные прогнозы по рынку ТФА предсказывают его дальнейший рост в
ближайшие годы. Robert N. Castellano, президент The Information Network (табл. 3.1.)
полагает, что сейчас рынок ТФА находится в точке своего максимального роста и темпы его
роста еще будут составлять в ближайшие 2-3 года 20-40% ежегодно. При расчетах
прогнозных объемов потребления он ориентируется на количество установленного в мире
оборудования для производства полупроводников с учетом ввода новых мощностей.
Учитывается также, что ТФА вводится в технологию как более эффективная и экологичная
альтернатива перфторуглеродам. Однако процесс вытеснения имеет и свои ограничения.
Ранее выпущенное оборудование (например, установки по процессингу кремниевых пластин
более ранних серий 200мм и менее) было создано под использование других газов. Кроме
того, перфторуглероды дешевле, они менее токсичны и менее взрывоопасны. И, наконец, не
прекращаются научно-исследовательские работы по поиску следующих альтернатив. По
расчетам Castellano в 1999 году ТФА составлял 34%, а в 2004 году будет составлять 52% от
всех используемых в процессах плазменной обработки подложек полупроводников газов.
Очевидно, что этот рост, но возможно с меньшими темпами сохранится и на
следующие 5-8 лет.
Таблица 3.1. Динамика и краткосрочный прогноз развития рынка ТФА.
Новое
оборудование, ед.
Всего установлено,
ед.
На новом
оборудовании
С использованием
всего оборудования
Факт
Прогноз (на
сент.2000)
Доля ТФА в секторе
специальных
газов(%)
1998
400
1999
473
2000
686
2001
774
2002
822
2003
727
2004
623
1097
1570
2256
3030
3852
4579
5202
1090500/
496
6868500/
3122
934500/
425
7803000/
3560
Реальное\ожидаемое потребление, фунтов (lbs/тонн)
500000/
800000/
227
364
1270849/ 1869769/ 2584118/ 3318020/
578
850
1175
1508
30,4%
34,0%
37,6%
41,1%
44,7%
48,3%
4049145/
1840
51,9%
Потенциал потребления ТФА, фунтов (lbs/тонн)
600000/
709500/
1029000/ 1161000/ 1233000/
273
322
468
528
560
1645500/ 2355000/ 3384000/ 4545000/ 5778000/
748
1070
1538
2066
2626
* 1кг=2,2 фунта
Прогноз развития рынка ТФА на более длительные сроки должен учитывать также
тенденции рынка целевой продукции – полупроводников.
Рынок полупроводников в мире подвергается циклическим колебаниям: он то растет,
то сокращается. При этом фирмы-участники этого рынка (производители, торговые
33
структуры) периодически то получают прибыль, то терпят убытки. Объем рынка
полупроводников по итогам 2001 года, например, оценивался в 139 млрд.долларов , что
меньше соответствующего показателя 2000 года на 65 млрд.долларов. Так, по итогам 2001
года уменьшились объемы продаж у всех компаний, входящих в десятку мировых лидеровпроизводителей полупроводников. (См.таблицу 3.2.) Сокращение коснулось как физических
объемов продукции, так и отпускных цен.
Рис. 3.1.
Динамика развития мирового рынка полупроводников
(1990-2001), млрд.долл.
250
200
150
100
2001
2000
1999
1998
1997
1996
1995
1994
1993
1992
1991
0
1990
50
Таблица 3.2. Объемы продаж 10 крупнейших производителей полупроводников
(2000/2001гг), млн.долл.
Компания
Продажи в 2001
Продажи в 2000
Intel
22725
29690
Toschiba
7220
11030
NEC
6950
10900
Texas Instruments
6670
10284
ST Microelectronic
6320
7764
Samsung
5100
10572
Motorola
4945
7876
Hitachi
4680
7380
Infineon
4635
6830
Phillips
4360
6307
Источник : журнал Elektronik (ФРГ), №2, 2002,с.5
Изменение,%
-23,5
-34,5
-36,2
-35,1
-18,6
-51,8
-37,2
-37,2
-32,1
-30,9
Аналитики выделяют даже отдельные стадии в развитии цикла :
1) преобладания продавцов над покупателями, Weak Market (1989-1992; 1996-1999)
2) осуществления низких капитальных затрат, Low Capital Spending (1989-1992;
1997-1999)
3) ввода небольших новых мощностей, Little New Capacity (1989-1993; 1998-1999)
4) умеренного роста средних цен продаж, Increasing ASPs (1993-1995; 1999-2001)
5) бурного роста цен, Strong Market (1993-1995; 2000-2001)
6) высоких капитальных затрат, High Capital Sending (1994-1996; 2000-2001)
7) устойчивого роста новых мощностей, Strong New Capacity (1995-1996; 2002-2003)
8) снижения средних цен продаж(1996-1998; 2002-2003)
34
Как следует из предложенной схемы, циклы повторяются, но их продолжительность
все же различается. В качестве вероятной причины, влияющей на подъемы-падения
электронного рынка, можно отметить не только общее состояние мировой экономики с
присущими ей взлетами и провалами, но и характерную для рынка высокотехнологичных
разработок особенность – быстрое устаревание казалось бы недавно разработанных
технологий. То, что казалось самым современным и передовым 3-4 года назад (а иногда и
год-два назад), зачастую уже не нравится потребителям, пристально следящим за новинками
в мире электроники, и потому раскупается плохо. Производители вынуждены периодически
снижать цены на стремительно устаревающую продукцию.
Анализ мировой статистики показывает, что спады рынка полупроводников ранее
также происходили в 1971, 1975, 1981, 1985, 1996 годах, но нынешнее сокращение рынка –
32% побило все рекорды и аналитики склонны считать, что 2001 год - это была низшая точка
развития и далее рынок будет постепенно оздоровляться. Прогноз на будущее: 2002 – 143,3
млрд.долларов, 2003 – 176,5 млрд.долларов, 2004 – 213,4 млрд.долларов, 2005 – 215,3
млрд.долларов, 2010 – 750 млрд.долларов.
В качестве примера влияния тенденций рынка целевой продукции на рынок
материалов можно привести рынок кремниевых пластин-подложек (КП). Рынок КП в целом
подвержен таким же колебаниям спроса как и рынок полупроводников, так как практически
все полупроводники сейчас изготавливаются на базе КП. В 1999 году в мире было
реализовано 4397 млн.кв.дюймов кремниевых пластин-подложек, в 2000 году – 3940
млн.кв.дюймов, а в 2001 – 5551 млн.кв.дюймов. Прогноз SEMI на 2005 год – 5877
млн.кв.дюймов. Таким образом, колебания спроса на рынке полупроводников прямо
отражаются на сбыте и ценах реализации КП.
Требования к темпам технологического прогресса, предъявляемые потребителями к
электронной и полупроводниковой продукции, конечно, отражаются и на тенденциях рынка
КП. На этом рынке также постоянно происходит устаревание предыдущих разработок со
снижением цен их реализации и соответственно со снижением спроса на них. Заметно
падает, спрос на пластины более ранних периодов разработки с диаметрами 150мм и менее,
а лидеры технологии – КП с диаметром 300мм
находятся на гребне спроса. Основную
долю рынка занимают сейчас пластины 200мм (8 дюймов).
Рис.3.2.Динамика годовых показателей в мировом производстве кремниевых пластин:
Слева – совокупная площадь (млн.кв.дюйм), справа – объем продаж (млрд.долл.) Ист.:SEMI.
35
Рис.3.3. Динамика развития структуры мирового рынка кремниевых пластин (19962001), млрд.долл., млн.кв.дюймов.
Рис. Структура рынка КП (1999-2004пр.),SEMI
300мм
200мм
2004
1999
150мм
125мм
100мм
0
100
200
300
400
Объем производства, млн кв.дюйм
Как и КП, ТФА относится к материалам для производства полупроводников. Но есть
отличия.
Отличия рынка ТФА от рынка КП в том, что:
- Рынок ТФА сейчас практически монополизирован. Количество производителей не
превышает и 10 (крупных только 4), тогда как
КП выпускают сотни
производителей.
- Пока не разработана достойная альтернатива ТФА, хотя эти разработки не
прекращаются.
- Ниша подложек для производства полупроводников практически полностью
заполнена КП. Поэтому все колебания спроса на полупроводники жестко
отражаются на спросе на КП.
- Ниша специальных газов заполнена ТФА пока менее, чем наполовину. Но она
будет гарантированно увеличиваться еще 5-8 лет за счет ввода в действие нового
оборудования, созданного с учетом использования ТФА.
Отмеченные аспекты гарантируют мировому рынку ТФА в течение ближайших 8-10
лет рост независимо от провалов рынка целевой продукции. Однако по мере их исчерпания
(появление новых производителей и развитие конкуренции на рынке ТФА, снижение цен,
вывод в технологию новых эффективных альтернативных специальных газов, окончательное
заполнение ТФА ниши спецгазов и т.п.) рост рынка будет затухать, могут проявиться
явления нестабильности, цикличности, затем произойдет стабилизация и постепенный спад.
Ориентировочный показатель расширения рынка – 7200 тыс. фунтов в 2010 году (The
Information Network).
Кроме того, велика вероятность появления новых полупроводниковых технологий.
Тот же Castellano считает, что уже через год-два взамен кремниевых подложек начнут
активно использоваться другие материалы, а через 10-15 лет КП скорее всего перестанут
занимать центральное место в технологии производства полупроводников.
Использование же ТФА в тонкопленочных технологиях при производстве ЖКП будет
продолжаться и наращиваться с ростом спроса примерно 30% ежегодно, что должно отчасти
скомпенсировать прогнозируемое падение спроса на ТФА со стороны производителей
микросхем.
36
Рис.3.4.
Долгосрочный прогноз развития мирового
рынка ТФА, тыс. фунтов (lbs)
8000
7000
6000
5000
4000
3000
2000
1000
2014
2012
2010
2008
2006
2004
2002
2000
1998
0
По динамике цен уже было отмечено ранее (п.1.5.), сто средняя цена одного
килограмма ТФА изменялась от $220 в 1998/99 до $440 в 2000/01, и далее до $660 в 2002
году.
Однако прогноз по цене благоприятный для потребителей. С вводом новых
мощностей независимых производителей цены должны упасть вновь до $220/кг ($100/ lb) и
даже ниже (предел -$60 за 1 кг), что, конечно, должно повлиять на динамику изменения
объемов рынка в стоимостном выражении. В итоге объем рынка в стоимостном выражении
будет расти, но темпы этого роста будут значительно отставать от темпов роста рынка в его
товарном выражении и могут достичь точки максимума раньше, чем рынок в его товарном
выражении.
37
3.2. Поведение крупнейших участников рынка.
Участник №1 мирового рынка ТФА – АРС, занимающий практически монопольную
позицию на рынке западных стран. АРС предпринимает энергичные шаги по продвижению
своей продукции не только на внутреннем рынке в США, но и на рынке других стран и
регионов, включая (и даже, возможно, уделяя этому особое внимание) и продвижение на
рынке стран ТОР.
Четыре завода по отгрузке ТФА и сервису были открыты компанией в Европе и
странах ТОР в конце 90-х-начале 2000х .
1.Korea Specialty Gases Co.,Ltd. - газовый центр в Шихва (Корея) был образован в
результате покупки АРС в 1998 году полностью всех акций своего корейского партнера
Korea Industrial Gases (KIG) – крупнейшего в своей стране поставщика индустриальных
газов,.Наряду с ТФА предприятие, теперь полностью принадлежащее АРС, поставляет также
и другие специальные и индустриальные газы. Численность персонала на заводе в 2000 году
была 56 чел.
2.DAIDO AIR PRODUCTS ELECTRONICS, INC. (Япония) – газовый центр в Амагасаки, был
основан АРС в январе 1997 года совместно с японской фирмой Air Water Inc.(поставщик
индустриальных газов). 49% акций принадлежит АРС, 51% - японской фирме. Капитал СП
оценивается в 300 млн йен.
3.Газовый центр на базе San Fu Chemical Company, Ltd., тайваньского партнера АРС
по совместному бизнесу, открыт в 2001 году. Предприятие-партнер АРСа имеет объем
продаж 5 млрд.тайваньских долларов и располагает 11 заводами на Тайване и 14 за
пределами острова. Основа собственного бизнеса San Fu Chemical Company –
индустриальные газы, химикаты и оборудование.
4.Принадлежащее АРС предприятие в Бельгии - AIR PRODUCTS KEUMIEE, имело в 2000
году объем продаж 4 млрд. бельгийских франков
Korea Specialty Gases Co.,Ltd.
Head Office & Factohry : 1238-3, Jeongwang-dong, Shieung-city, Kyungki-do, Korea
(Tel : 31-433-3070 / Fax : 31-433-3079)
Sales Office :Tel) 31-433-3070
President :Lee, Jun-Youl
DAIDO AIR PRODUCTS ELECTRONICS, INC.
Nihon Seimei Midosuji Building 6F, 4-2-4,
Minami-semba, Chuo-ku, Osaka City, Osaka 542-0081
San Fu Chemical Co., Ltd.
5th Fl., No.21 Chung Shan N. Rd. Sec. 2 Taipei 104 Taiwan R.O.C.
Tel:886-2-25214161
Fax:886-2-25818359
E-mail:info@sanfu.com.tw
AIR PRODUCTS KEUMIEE
B-5140 KEUMIEE Tel 071/82.22.76 - 82.22.54 Fax 071/81.65.99
e-mail kalogegd@apci.com
Как и большинство международных гигантов АРС активно сотрудничает с другими
крупнейшими международными фирмами, образуя СП или другие подобные структуры, а
также вкладывает инвестиции в небольшие предприятия смежных направлений бизнеса. Так,
в июне 2001 года в пресс-релизе АРС было объявлено об альянсе АРС с международной
фирмой Dow Corning Corp., результатом которого явился запуск производственной линии
по выпуску CVD-диэлектрики в США в районе Carrollton.
38
С известным международным гигантом Дюпон АРС образовал СП DuPont AIR
PRODUCTS NanoMaterials L.L.C., которое занимается технологиями коллоидного кремния,
используемого в производстве полупроводниковых подложек. Попутно следует заметить,
что Дюпон, являющийся признанным лидером мировой фторхимии, очевидно, также
заинтересован в проникновении и в ТФА-бизнес. Так, в 2001 году были анонсированы
встречи представителей концерна Дюпон с руководителями строящегося предприятия по
выпуску ТФА в Ченду (Китай). Речь шла о приобретении акций завода международным
концерном. Сделка состоялась в мае 2002 года. (См.также п. 1.1) Еще ранее осенью 2000 года
сразу после аварии, произошедшей на заводе в Дайтоне, состоялись переговоры руководства
ASG и руководителей концерна Дюпон о приобретении последним производства ТФА. При
этом в заявлении для прессы было указано и количество персонала, числящееся к моменту
переговоров на предприятии - 15 человек. Но сведений о завершении анонсированной сделки
в прессу не поступало. Не вполне ясно также, возобновлено ли производство ТФА на ASG.
Вскоре после аварии в открытых источниках прошли заявления руководства ASG, что не
только выпуск ТФА будет вскоре возобновлен, но и будут увеличены мощности. Однако
стало известно и о крупных претензиях, которые предъявила к руководству фирмы местная
администрация. Большие нарекания вызвало использование фторводорода в
технологическом процессе, которое вызывает опасения местных чиновников.
Заметную силу набрало еще одно детище АРС – компания TRiMEGA, основанная в
1998 году как СП при участии АРС и японской Kinetics Group Inc.
За весьма ограниченный срок фирма заняла одну из ведущих позиций в мире, и в частности
странах ТОР, в поставках оборудования и материалов для вновь создаваемых предприятий
по производству микроэлектроники.
Интерес к Японии носит у АРС, очевидно, стратегический характер. В марте 2001
года АРС вновь входит в СП с японскими фирмами через дочернее предприятие Daido Air
Products Electronics, Inc. (DAP). Другие участники СП - опять Kinetics Group Inc. и Air Water
Inc. На этот раз бизнес посвящен производству, дистрибуции и продажам микроэлектронных
устройств.
В портфель инвестиций АРС входят также множество средних и мелких вложений.
Например, вложения в фирму среднего бизнеса SC Fluids, Inc. (электроника), в фирму онлайновой торговли химикатами и т.д.
TRiMEGA
Corporate Headquarters
2805 Mission College Blvd.
Santa Clara, CA 95054
USA
Tel: +1 (408) 845.6000
+1 (888) TRI.MEGA
Fax: +1 (408) 727.1667
email: info@trimega.com
DuPont AIR PRODUCTS NanoMaterials L.L.C.,
1969 Palomar Oaks Way
Carlsbad, CA 92009
Phone: 866-265-0058
Phone: 760-603-2283
Fax: 760-929-6262
АРС не ограничивает свой бизнес сферой производства материалов для электронной
промышленности, а также для некоторых направлений химии и фармацевтики. Компания
проводит активную инвестиционную политику
в отношении смежных отраслей и
направлений. Так,
АРС занимая лидирующую позицию и в области научно-технических разработок фабпроцессинга. Спрос на ТФА в начале 2000-х оценивался экспертами выше имеющегося
39
предложения. (Elizabeth Schumann, Director, Industry Research and Statistics, SEMI,
http://www.semi.org).
Бурный рост спроса на ТФА привлекает к развитию этого производства внимание многих
крупных международных компаний, особенно фигурантов микроэлектронного бизнеса. Уже
отмечен интерес таких крупных корпораций как Hannywell (США),Daikin (Япония), Samsung
(Ю.Корея). А в мае 2002 года тайваньская корпорация Формоза (Formosa Plastics Corp.,)
объявила о своих планах инвестировать 600 млн. тайваньских долларов (примерно 20 млн.
долларов США) в создание производства ТФА на Тайване. Предполагается, что вновь
созданное предприятие будет выпускать в год 100 тонн продукции, 80% которой
предполагается реализовывать на внутреннем рынке Тайваня, а остаток – за рубежом.
Formosa Plastics Corp.,
No. 201 Tunhua N. Rd., Taipei, Taiwan
Tel. No.: 886 2 27122211
Fax No.: 886 2 27178533
00ra07@fpg.com.tw
Employees: 4,109
Chairman Wang Yung-ching
President Lee Chih-tsuen
В заключение можно отметить, что поведение участников мирового рынка ТФА
формируется под влиянием ряда факторов, из которых как существенные можно отметить
следующие:
1.Объективная необходимость перехода производителей полупроводников с менее
эффективных реагентов на ТФА, продиктованная в частности и рекомендациями Киотского
протокола.
2.Стремление безусловного лидера западного рынка - Air products and Chemicals, Inc.
сохранить свое монопольное положение на рынке и не допустить проникновения на рынок
сильных конкурентов.
3.Не менее сильное стремление крупнейших международных компаний и менее
крупных производителей включиться в выгодный на сегодня ТФА-бизнес.
4.Относительно независимое от Запада положение восточноазиатских (японских)
производителей и энергичные шаги по дальнейшему наполнению рынка тихоокеанского
региона произведенным на месте ТФА.
40
Источники информации.
Chemical Marketing Reporter
European Chemical News
Reuter
Chemical WeekJapan
SEMI Industry Research and Statistics ( SEMI - Semiconductor Equipment and Materials International)
Strategic Marketing Associates
IOMA Broadcaster
World Semiconductor Council
SemiWorld (Korea)
The Information Network
Elektronik (Germany)
Semiconductor Industry Association
ChemConnect Inc.
ЦМКИ
www.andersondevelopment.com/productset.html
www.airproducts.com
www.kantodenka.co.jp/
www.business.com/directory/chemicals/gases/
http://www.scottsemicon.com/semi.html
http://www.semiconductorfabtech.com
http://www.semi.org
/www.praxair.com
www.eyerforchem.com
www.ioigas.com/semi_main.htm
www.ibm.com
www.cgco.co.jp
http://www.theinformationnet.com/
http://www.chemicalweekly.com/
www.koreagas.co.kr
41
Скачать