уральский электрохимический комбинат

ЗАВОД ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ
ФИЛЬТРЫ
ДЛЯ СВЕРХТОНКОЙ ОЧИСТКИ ГАЗОВ
Страница
Производство фильтров
4
Качество фильтров
5
Информация для контакта
5
Фильтры для сверхтонкой очистки газов
6
Фильтр
МКФ –
10
8
Фильтр
МКФ –
40
10
Фильтр
МКФ – 140
12
Фильтр
МКФ – 280
14
-2-
-3-
Производство фильтров
Завод электрохимических преобразователей (ЗЭП), входящий в состав
Уральского электрохимического комбината (УЭХК) находится в городе Новоуральске, в
70 км от Екатеринбурга.
УЭХК – крупнейшее в мире предприятие по обогащению урана, один из центров
атомной промышленности России. Основная продукция УЭХК – топливо для атомной
энергетики, системы управления и космическая техника. Комбинат является крупным
экспортером в промышленно-развитые страны.
Производство фильтров на ЗЭП было организовано более пятидесяти лет назад.
Фильтры применялись для обогащения урана диффузионным методом.
Метод основан на том, что молекулы среды, содержащей уран-235, имеют
большую скорость, чем молекулы, содержащие уран-238, и, как следствие, быстрее
проникают через пористую перегородку – фильтр. Пространство за фильтром при этом
обогащается легким изотопом.
Поскольку изменение изотопного состава на одном фильтре мало,
для достижения нужного обогащения создаются технологические каскады последовательное соединение тысяч диффузионных фильтров.
Фильтры, применяемые для обогащения, должны быть прочными, устойчивыми в
очень агрессивных средах и иметь размер пор менее 1 микрометра (длина свободного
пробега молекулы).
Разработка и организация на ЗЭП производства фильтров для обогащения урана
были удостоены Ленинской и Государственной премий.
Пятидесятилетний опыт работы в области тонкого фильтрования позволил ЗЭП
создать совершенные пористые материалы. Сегодня завод обладает технологией
достижения самой высокой в России степени очистки газов фильтрованием
и производит фильтры, обеспечивающие высокую чистоту и асептические условия
различных производств.
После многолетних испытаний в условиях эксплуатации, фильтры ЗЭП
применяют на десятках предприятий России и других стран. Фильтры, разработанные
для сверхтонкой очистки газов, например, используют на всех российских линиях,
производящих интегральные схемы высокой категории сложности. По результатам
эксплуатации получены заключения о полном соответствии этих фильтров уровню,
достигнутому ведущими мировыми производителями.
ЗЭП использует разные формы сотрудничества с другими предприятиями:
от поставки изделий с заданными характеристиками до анализа условий эксплуатации,
выбора фильтров и сопровождения работы систем фильтрования.
Фильтрующее оборудование ЗЭП унифицировано с изделиями мировых
производителей. При необходимости, фильтры комплектуются арматурой для установки
в газовые линии.
Качество фильтров и большой опыт практической работы позволяют ЗЭП
предлагать решение любых проблем, связанных с фильтрованием газов.
-4-
Качество фильтров
Разработка и производство фильтров на ЗЭП производятся в соответствии
с требованиями системы качества ГОСТ Р ИСО 9001.
Система позволяет выявлять любые отклонения от жестких норм качества и, при
необходимости, немедленно производить коррекцию и даже останавливать
технологический процесс на любом из участков производства.
Применяемый ЗЭП стопроцентный выходной контроль гарантирует, что все
изделия будут поставлены заказчику полностью проверенными.
ЗЭП уделяет большое внимание созданию аналитической базы контроля качества.
Технические
характеристики
изготовленных
фильтров
проверяются
специализированной
лабораторией.
Лаборатория
располагает
современным
оборудованием, позволяющим проводить аттестацию изделий в соответствии
с международными стандартами.
Информация для контакта
Завод электрохимических преобразователей открыт для сотрудничества
в области разработки, производства и поставок требуемых потребителям устройств
фильтрования.
Наш адрес: Дзержинского 2, Новоуральск, Свердловская область,
624 130, Россия
Телефон: (34 370) 9-33-70, 9 59 54
Факс: (34 370) 9-33-70, 9 59 54
e-mail: zep@ueip.ru
-5-
Фильтры для сверхтонкой очистки газов
Назначение
Для фильтрования газов, применяемых при изготовлении интегральных схем кроме
фоефина (РН3), окиси углерода (СО) и озона (О3).
Класс. Группа (ГОСТ Р 51251-99)
U 16. Фильтры сверхвысокой эффективности
Фильтр МКФ-10
Рекомендуемый расход
До 3 нм3/ч (50 нл/мин)
Степень очистки
Не менее 99.99999 % для частиц размером более 0.01 мкм
Фильтр МКФ-40
Рекомендуемый расход
От 3 нм3/ч (50 нл/мин) до 9 нм3/ч (150 нл/мин)
Степень очистки
Не менее 99.99999 % для частиц размером более 0.01 мкм
Фильтр МКФ-140
Рекомендуемый расход
От 9 нм3/ч (150 нл/мин) до 20 нм3/ч (330 нл/мин)
Степень очистки
Не менее 99.99999 % для частиц размером более 0.01 мкм
Фильтр МКФ-280
Рекомендуемый расход
От 20 нм3/ч (330 нл/мин) до 40 нм3/ч (660 нл/мин)
Степень очистки
Не менее 99.99999 % для частиц размером более 0.01 мкм
-6-
-7-
Фильтр МКФ-10
Назначение
Для фильтрования воздуха, азота, водорода, кислорода, аргона, гелия и других газов,
химически инертных к материалам корпуса и фильтрующего элемента
Класс. Группа (ГОСТ Р 51251-99)
U 16. Фильтр сверхвысокой эффективности
Параметры фильтруемого газа
Давление на входе фильтра
Температура
Относительная влажность
не более 1.0 МПа (10 кгс/см2)
от 5 до 150 С
не более 80 %
Перепад давления на фильтре при расходе газа –
0,25 м3/час (не более 20 кПа (0,2 кгс/см2)
Максимальный перепад давлений в прямом и обратном направлениях
0.6 МПа (6 гкс/см2)
Степень очистки
Не менее 99.99999 % для частиц размером более 0.01 мкм
Применяемые материалы
Фильтрующий элемент – никель
Корпус – нержавеющая сталь
Площадь фильтрующей поверхности
10 см2
Локальная негерметичность корпуса
Не более 1·10-3 лмкм рт. ст./с при внутреннем давлении гелия (1.00±0.05) МПа
[(10±0,5) кгс/см2] и температуре (25±10) °С
Обработка внутренних поверхностей корпуса
Электрохимическое полирование. Чистота обработки 0.63 Ra
Подготовка к работе
Подготовка к работе и испытания в чистых помещениях класса 100
Упаковка
Два полиэтиленовых пакета, заполненных очищенным воздухом или азотом
Условия эксплуатации
Температура окружающего воздуха
Пространственная ориентация
от 5 до 35 С
произвольная
Рекомендуемая периодичность замены
Два года при предварительном фильтровании газа от частиц размером более 2 мкм
Примечания:
1. Расход газа указан при давлении 101.3 кПа и температуре 293.15 К
2. Возможна поставка комплекта принадлежностей, предназначенного
для установки фильтра в газовую линию (см. стр. 16)
-8-
РАСХОДНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
нм3/ч
0,50
0,3
0,6
0,9
1,2
1,5 1,8
2,1
2,4
2,7
3,0
0,45
2 атм
0,40
0,30
0,25
0,20
0,15
0,10
6 атм
0,05
0
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
Расход воздуха при 20 
мл/мин
Подсоединительные размеры
17
40
25
A
84 ± 0,5
A
6
9.4
n
D
АТМ Перепад давлений
0,35
R 0.75
Обозначение
еК2.966.754
-01
0.75
19
D, мм
М14х1,5
Резьба 9/16 “
-9-
S, мм
17
n
18 ниток на 1 “
Фильтр МКФ-40
Назначение
Для фильтрования воздуха, азота, водорода, кислорода, аргона, гелия и других газов,
химически инертных к материалам корпуса и фильтрующего элемента
Класс. Группа (ГОСТ Р 51251-99)
U 16. Фильтр сверхвысокой эффективности
Параметры фильтруемого газа
Давление на входе фильтра
Температура
Относительная влажность
не более 1.0 МПа (10,0 кгс/см2)
от 5 до 150 С
не более 80 %
Перепад давления на фильтре при расходе газа 1,0 м3/час
(не более 20 кПа (0,2 атм)
Максимальный перепад давлений в прямом и обратном направлениях
0.6 МПа (6 кгс/см2)
Степень очистки
Не менее 99.99999 % для частиц размером более 0.01 мкм
Применяемые материалы
Фильтрующий элемент – никель
Корпус – нержавеющая сталь
Площадь фильтрующей поверхности
40 см2
Локальная негерметичность корпуса
Не более 1·10-3 лмкм рт. ст./с при внутреннем давлении гелия (1.00±0.05) МПа
[(10±0,5) атм] и температуре (25±10) °С
Обработка внутренних поверхностей корпуса
Электрохимическое полирование. Чистота обработки 0.63 Ra
Подготовка к работе
Подготовка к работе и испытания в чистых помещениях класса 100
Упаковка
Два полиэтиленовых пакета, заполненных очищенным воздухом или азотом
Условия эксплуатации
Температура окружающего воздуха
Пространственная ориентация
от 5 до 35 С
произвольная
Рекомендуемая периодичность замены
Два года при предварительном фильтровании газа от частиц размером более 2 мкм
Примечания:
1. Расход газа указан при давлении 101.3 кПа и температуре 293.15 К
2. Возможна поставка комплекта принадлежностей, предназначенного
для установки фильтра в газовую линию (см. стр. 16)
- 10 -
РАСХОДНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
нм3/ч
0,9
0,50
1.8
2.7
3.6 4.5
5.4
6.3
7.2
8.1
9.1
0,45
2 атм
АТМ Перепад давлений
0,40
0,35
0,30
0,25
0,20
0,15
0,10
6 атм
0,05
0
15
30
45
60
75
90
105
120
135
150
Расход воздуха при 20 
мл/мин
Подсоединительные размеры
43
 80
Б
A
Б
127±0.5
A
0.75
S
Обозначение
Обозначение
еК2.966.731
еК2.966.731
-01
-02
-03
-04
еК2.966.733
D2
D1
n
D
Б-Б
R 0.75
D, мм
D1, Dмм,мм S, ммS, мм D2, ммn
n
D ,мм
М14х1.5
17 17 М 14 х 1,5
 69.4 
9,4
6
18 ниток на 1"
Резьба 9/16"
-01 9  14.0
17 19
9/16 “
18 ниток на 1 “
6

9,4
М18х1.5
М22х1.5
-0210  17.3
19 24 M 18 x 1.5
9

14
Резьба 7/8"
14 ниток на 1"
-03
24
M 22 x 1,5
 10
 17,3
-04
24
7/8 “
14 ниток на 1 “
 10
 17,3
17
М 16 х 1,5
6
8
-01
22
М 20 х 1,5
8
 11
D,мм
1
2
- 11 -
Фильтр МКФ-140
Назначение
Для фильтрования воздуха, азота, водорода, кислорода, аргона, гелия и других газов,
химически инертных к материалам корпуса и фильтрующего элемента
Класс. Группа (ГОСТ Р 51251-99)
U 16. Фильтр сверхвысокой эффективности
Параметры фильтруемого газа
Давление на входе фильтра
Температура
Относительная влажность
не более 1.0 МПа (10 атм)
от 5 до 150 С
не более 80 %
Перепад давления на фильтре при расходе газа 5 м3/час
(не более 20 кПа (0,2 атм)
Максимальный перепад давлений в прямом и обратном направлениях
0.6 МПа (6 кгс/см2)
Степень очистки
Не менее 99.99999 % для частиц размером более 0.01 мкм
Применяемые материалы
Фильтрующий элемент – никель
Корпус – нержавеющая сталь
Площадь фильтрующей поверхности
140 см2
Локальная негерметичность корпуса
Не более 1·10-3 лмкм рт. ст./с при внутреннем давлении гелия (1.00±0.05) МПа
[(10±0,5) атм] и температуре (25±10) °С
Обработка внутренних поверхностей корпуса
Электрохимическое полирование. Чистота обработки 0.63 Ra
Подготовка к работе
Подготовка к работе и испытания в чистых помещениях класса 100
Упаковка
Два полиэтиленовых пакета, заполненных очищенным воздухом или азотом
Условия эксплуатации
Температура окружающего воздуха
Пространственная ориентация
от 5 до 35 С
произвольная
Рекомендуемая периодичность замены
Два года при предварительном фильтровании газа от частиц размером более 2 мкм
Примечания:
1. Расход газа указан при давлении 101.3 кПа и температуре 293.15 К
2. Возможна поставка комплекта принадлежностей, предназначенного
для установки фильтра в газовую линию (см. стр. 16)
- 12 -
нм3/ч
0,250
0
3
РАСХОДНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
66
9
12
15
0,225
0,200
2 атм
АТМ Перепад давлений
0,175
0,150
0,125
0,100
0,075
6 атм
0,050
0,025
0
50
100
150
200
250
Расход воздуха при 20 
мл/мин
Подсоединительные размеры
А
L
59
Б
А
L
1
Б
0.75
n
D2
D1
D
А-А
R 0.75
S
Обозначение D, мм
еК2.966.732
6
-01
9
-02
 10
-05
6
-06
 10
еК2.966.730
 21
-01
 32
еК2.966.734
6
-01
8
D1, мм
 9,4
 14
 17,3
 9,4
 17,3
 27,8
 38,8
8
 11
S, мм
17
19
24
17
24
36
46
17
22
D2, мм
n
М 14 х 1,5
M 18 x 1.5
M 22 x 1,5
9/16 “
18 ниток на 1 “
7/8 “
14 ниток на 1 “
М 33 х 2
М 45 х 3
М 16 х 1,5
М 20 х 1,5
-
- 13 -
L, мм
136
136
136
136
136
136
136
136
136
L1, мм
220
220
220
220
220
220
220
220
220
Фильтр МКФ-280
Назначение
Для фильтрования воздуха, азота, водорода, кислорода, аргона, гелия и других газов,
химически инертных к материалам корпуса и фильтрующего элемента
Класс. Группа (ГОСТ Р 51251-99)
U 16. Фильтр сверхвысокой эффективности
Параметры фильтруемого газа
Давление на входе фильтра
Температура
Относительная влажность
не более 1.0 МПа (10 атм)
от 5 до 150 С
не более 80 %
Максимальный перепад давлений в прямом и обратном направлениях
0.6 МПа (6 кгс/мс2)
Степень очистки
Не менее 99.99999 % для частиц размером более 0.01 мкм
Применяемые материалы
Фильтрующий элемент – никель
Корпус – нержавеющая сталь
Площадь фильтрующей поверхности
280 см2
Локальная негерметичность корпуса
Не более 1·10-3 лмкм рт. ст./с при внутреннем давлении гелия (1.00±0.05) МПа
[(10±0,5) атм] и температуре (25±10) °С
Обработка внутренних поверхностей корпуса
Электрохимическое полирование. Чистота обработки 0.63 Ra
Подготовка к работе
Подготовка к работе и испытания в чистых помещениях класса 100
Упаковка
Два полиэтиленовых пакета, заполненных очищенным воздухом или азотом
Условия эксплуатации
Температура окружающего воздуха
Пространственная ориентация
от 5 до 35 С
произвольная
Рекомендуемая периодичность замены
Два года при предварительном фильтровании газа от частиц размером более 2 мкм
Примечания:
1. Расход газа указан при давлении 101.3 кПа и температуре 293.15 К
2.
Возможна поставка комплекта принадлежностей, предназначенного
для установки фильтра в газовую линию (см. стр. 16)
- 14 -
Расходные характеристики
нм3/ч
0,250
0
6
612
18
24
30
0,225
0,200
2 атм
АТМ Перепад давлений
0,175
0,150
0,125
0,100
0,075
6 атм
0,050
0,025
0
100
мл/мин
200
300
400
500
Расход воздуха при 20 
Подсоединительные размеры
А
L
59
Б
А
L
1
Б
n
0.75
D2
D1
D
А-А
R 0.75
S
Обозначение
D, мм
еК2.966.732 -03
9
-04  10
-07
6
-08  10
еК2.966.730 -02  21
-03  32
еК2.966.734 -02
6
-03
8
D1, мм
 14
 17,3
 9,4
 17,3
 27,8
 38,8
8
 11
S, мм
19
24
17
24
36
46
17
22
- 15 -
D2, мм
M 18 x 1.5
M 22 x 1,5
9/16 “
7/8 “
М 33 х 2
М 45 х 3
М 16 х 1,5
М 20 х 1,5
n
18 ниток на 1 “
14 ниток на 1 “
-
L, мм
216
216
216
216
216
216
216
216
L1, мм
300
300
300
300
300
300
300
300
Комплекты принадлежностей к фильтрам МКФ, для подсоединения к газовой линии:
Фильтр
Обозначение
Комплект принадлежностей
МКФ-10
МКФ-10
МКФ-10
еК2.966.754
еК2.966.754
еК2.966.754
УФАИ.067715.001 (труба 8х1, Dвнутр. = 6,00 мм)
УФАИ.067715.002 (труба 1/4 ", Dвнутр. = 4,56 мм)
УФАИ.067715.003 (труба 3/8 ", Dвнутр. = 7,73 мм)
МКФ-40
МКФ-40
МКФ-40
МКФ-40
МКФ-40
еК2.966.731
еК2.966.731
еК2.966.731-03
еК2.966.731-03
еК2.966.731-03
УФАИ.067715.001 (труба 8х1, Dвнутр. = 6,00 мм)
УФАИ.067715.002 (труба 1/4 ", Dвнутр. = 4,56 мм)
УФАИ.067715.004 (труба 12х1, Dвнутр. = 10 мм)
УФАИ.067715.005 (труба 3/8", Dвнутр. = 7,73 мм)
УФАИ.067715.006 (труба 1/2", Dвнутр. = 10,20 мм)
МКФ-140
МКФ-140
МКФ-140
МКФ-140
МКФ-140
МКФ-140
МКФ-140
еК2.966.732
еК2.966.732
еК2.966.732-02
еК2.966.732-02
еК2.966.732-02
еК2.966.730
еК2.966.730
УФАИ.067715.001 (труба 8х1, Dвнутр. = 6,00 мм)
УФАИ.067715.002 (труба 1/4 ", Dвнутр. = 4,56 мм)
УФАИ.067715.004 (труба 12х1, Dвнутр. = 10 мм)
УФАИ.067715.005 (труба 3/8", Dвнутр. = 7,73 мм)
УФАИ.067715.006 (труба 1/2", Dвнутр. = 10,20 мм)
УФАИ.067715.007 (труба 24х1,5, Dвнутр. = 21 мм)
УФАИ.067715.008 (труба 1", Dвнутр. = 22,10 мм)
МКФ-280
МКФ-280
МКФ-280
МКФ-280
МКФ-280
еК2.966.732-04
еК2.966.732-04
еК2.966.732-04
еК2.966.730-02
еК2.966.730-02
УФАИ.067715.004 (труба 12х1, Dвнутр. = 10 мм)
УФАИ.067715.005 (труба 3/8", Dвнутр. = 7,73 мм)
УФАИ.067715.006 (труба 1/2", Dвнутр. = 10,20 мм)
УФАИ.067715.007 (труба 24х1,5, Dвнутр. = 21 мм)
УФАИ.067715.008 (труба 1", Dвнутр. = 22,10 мм)
- 16 -