Ñîïîñòàâëåíèå ÷åòûðåõ ñïîñîáîâ òîïîãðàôè÷åñêèõ èçìåðåíèé ïóëü ïî ñòàíäàðòó NIST SRM 2460 J Song, T Vorburger, T Renegar, H Rhee 1, A Zheng, L Ma 2, J Libert and S Ballou Íàöèîíàëüíûé èíñòèòóò ñòàíäàðòîâ è òåõíîëîãèè (NIST) Gaithersburg MD 20899 USA. 1 Ïðèãëàøåííûé èññëåäîâàòåëü èç Korea Advanced Institute of Science and Technology (KAIST) Daejeon Korea. 2 Ïðèãëàøåííûé èññëåäîâàòåëü èç Êàòîëè÷åñêîãî Óíèâåðñèòåòà Àìåðèêè Washington DC 20064 USA. B Bachrach and K Bogart Intelligent Automation Inc. (IAI) Gaithersburg MD 20855 USA. E-mail: junfeng.song@nist.gov Êðàòêèé îáçîð: Òðè îïòè÷åñêèõ ïðèáîðà, âêëþ÷àÿ èíòåðôåðåíöèîííûé ìèêðîñêîï, êîíôîêàëüíûé ìèêðîñêîï ñ äèñêîì Íèïêîâà ( Nipkow disk — ìåõàíè÷åñêîå óñòðîéñòâî äëÿ ñêàíèðîâàíèÿ èçîáðàæåíèé), è ëàçåðíûé ñêàíèðóþùèé êîíôîêàëüíûé ìèêðîñêîï, ïðèìåíÿþòñÿ äëÿ èçìåðåíèé õàðàêòåðíûõ îãíåñòðåëüíûõ îòïå÷àòêîâ íà ïóëå Íàöèîíàëüíûì èíñòèòóòîì ñòàíäàðòîâ è òåõíîëîãèè (NIST). Ñòàíäàðòíûé ññûëî÷íûé ìàòåðèàë (SRM) 2460. Äâóõìåðíûå ïðîôèëè îòñòðåëÿííûõ ïóëü ñðàâíèâàþò ñ âèðòóàëüíûìè áàëëèñòè÷åñêèìè îòïå÷àòêàìè, êîòîðûå óñòàíîâëåíû òàêòèëüíîé èçìåðèòåëüíîé ñèñòåìîé â NIST. Ðàçëè÷èÿ îïðåäåëÿþòñÿ ôóíêöèåé ìàêñèìàëüíîé âçàèìíîé êîððåëÿöèè CCFmax- åñëè ñðàâíèâàåìûå îáðàçöû ïîëíîñòüþ ñîâïàäàþò, CCFmax ðàâåí 100 %. Ðåçóëüòàòû ñðàâíåíèé ñ ïîìîùüþ ÷åòûðåõ ìåòîäèê ïî÷òè ïîëíîñòüþ ñîâïàäàþò. Ñðåäíåå çíà÷åíèå CCFmax áîëåå 90 %. Ýòè ðåçóëüòàòû ïðåäïîëàãàþò âîçìîæíîñòü èñïîëüçîâàíèÿ ìåòîäèêè ïîâåðõíîñòíîé òîïîãðàôèè äëÿ áàëëèñòè÷åñêîé ýêñïåðòèçû â êà÷åñòâå àëüòåðíàòèâû ñîâðåìåííîé òåõíîëîãèè, îñíîâàííîé íà ñðàâíåíèè èçîáðàæåíèé îòñòðåëÿííûõ ïóëü. 1. Âñòóïëåíèå Èíòåãðèðîâàííûå Ñèñòåìû Áàëëèñòè÷åñêîé Ýêñïåðòèçû (ñèñòåìà IBIS) [1] øèðîêî ïðèìåíÿþòñÿ â ÑØÀ è äðóãèõ ñòðàíàõ ìèðà äëÿ èäåíòèôèêàöèè îòñòðåëÿííûõ ïóëü è ãèëüç. Ñèñòåìà ñîñòîèò èç äâóõ ðàáî÷èõ ñòàíöèé: êîìïëåêñ ïîëó÷åíèÿ äàííûõ è êîìïëåêñ àíàëèçà ýëåêòðîííîé ïîäïèñè. Ñòåïåíü êîððåëÿöèè îïðåäåëåíà êàê ïàòåíòîâàííàÿ ôîðìóëà îöåíêè ñòåïåíè ñîîòâåòñòâèÿ ìåæäó äâóìÿ îïòè÷åñêèìè èçîáðàæåíèÿìè. Õîòÿ, âèä îïòè÷åñêèõ èçîáðàæåíèé âî ìíîãîì çàâèñèò îò óñëîâèé îñâåùåíèÿ. Ðàçâèòèå îïòè÷åñêèõ òåõíîëîãèé â òîïîãðàôè÷åñêèõ èçìåðåíèÿõ ïîâåðõíîñòè è ñâÿçü äàííûõ èçìåðåíèé ñî ñòàíäàðòîì äëèíû, à òàêæå íåçàâèñèìîñòü îò óñëîâèé îñâåùåíèÿ, äàåò âîçìîæíîñòü èñïîëüçîâàíèÿ äàííîé ìåòîäèêè äëÿ áàëëèñòè÷åñêîé ýêñïåðòèçû [2]. Ñëåäîâàòåëüíî, âàæíî èçó÷èòü êîððåëÿöèþ ìåæäó ðàçíûìè òîïîãðàôè÷åñêèìè ìåòîäèêàìè, âêëþ÷àÿ âîñïðîèçâîäèìîñòü è ïîâòîðÿåìîñòü ðåçóëüòàòîâ . 2. Ñðàâíåíèå òîïîãðàôèè ïîâåðõíîñòåé Äëÿ äâóõ- è òðåõìåðíûõ ñðàâíåíèé òîïîãðàôèè ïîâåðõíîñòåé íåîáõîäèì ýòàëîí èçìåðåíèé è ïàðàìåòð ñðàâíåíèé. Ïóëè ñòàíäàðòà NIST SRM 2460 ðàçðàáîòàíû êàê âèðòóàëüíûé/ôèçè÷åñêèé ñòàíäàðò õàðàêòåðèñòèêè ïóëè è íàïðàâëåíû íà êîíòðîëü êà÷åñòâà èçìåðåíèé ïðè áàëëèñòè÷åñêîé ýêñïåðòèçå. Âèðòóàëüíûé ñòàíäàðò – ýòî íàáîð èç øåñòè îöèôðîâàííûõ ïóëåâûõ õàðàêòåðèñòèê, èçíà÷àëüíî èçìåðåííûõ ñ ïîìîùüþ ùóïà ó îòñòðåëÿííûõ ïóëü, ïðåäîñòàâëåííûõ Áþðî ïî Êîíòðîëþ çà Îáîðîòîì Àëêîãîëÿ, Òàáà÷íûõ Èçäåëèé è Îãíåñòðåëüíîãî Îðóæèÿ è ÔÁÐ. Ñòàíäàðòíàÿ õàðàêòåðèñòèêà âèðòóàëüíîé ïóëè èñïîëüçóåòñÿ äëÿ êîíòðîëÿ òðàåêòîðèè äâèæåíèÿ èíñòðóìåíòà àëìàçíîãî òî÷åíèÿ ñ ÷èñëîâûì óïðàâëåíèåì, ÷òîáû íàíåñòè øåñòü ïóëåâûõ õàðàêòåðèñòèê íà ñòàíäàðòíûå ïóëè. Âñå ïóëè ïðîèçâîäÿòñÿ ñ îäèíàêîâûìè õàðàêòåðèñòèêàìè [3]. Äëÿ äâóõ- è òðåõìåðíûõ òîïîãðàôè÷åñêèõ ñðàâíåíèé ïóëü è ãèëüç ìû èñïîëüçîâàëè ïàðàìåòð, êîòîðûé íàçûâàåòñÿ ìàêñèìàëüíîé ôóíêöèåé âçàèìíîé êîððåëÿöèè CCFmax, è ðàçðàáîòàëè äðóãîé ïàðàìåòð, íàçâàííûé ðàçíèöåé õàðàêòåðèñòèêè Ds [4]. Îïðåäåëåííîå ñåðèéíîå îáîðóäîâàíèå , ïðèáîðû èëè ìàòåðèàëû óêàçàíû â äàííîì äîêóìåíòå äëÿ òî÷íîãî îïèñàíèÿ ïîðÿäêà ïðîâåäåíèÿ ýêñïåðèìåíòà. Äàííûå óêàçàíèÿ íå ïîäðàçóìåâàþò ðåêîìåíäàöèþ èëè îäîáðåíèå Íàöèîíàëüíîãî Èíñòèòóòà Ñòàíäàðòîâ è Òåõíîëîãèè ( ÍÈÑÒ), à òàêæå íå îçíà÷àþò, ÷òî äëÿ äîñòèæåíèÿ öåëè íåîáõîäèìî èñïîëüçîâàíèå ëèøü óêàçàííîãî îáîðóäîâàíèÿ. Ïðåäëîæåííûé ÍÈÑÒ ïàðàìåòð Ds ÿâëÿåòñÿ óíèêàëüíûì ïàðàìåòðîì, êîòîðûé äàåò âîçìîæíîñòü èñïîëüçîâàíèÿ åäèíîãî ÷èñëà äëÿ îïðåäåëåíèÿ ðàçíèöû ìåæäó äâóõìåðíûìè ïðîôèëÿìè è òðåõìåðíûìè òîïîãðàôèÿìè. Åñëè Ds = 0 (÷òî òàêæå çíà÷èò, ÷òî CCFmax = 100 % [3]),òî äâà ñðàâíèâàåìûõ ïðîôèëÿ èëè òîïîãðàôèè äîëæíû áûòü ïîëíîñòüþ îäèíàêîâûìè. Èç-çà ñèëüíîé ëèíåéíîé êîððåëÿöèè ìåæäó CCFmax è Ds [3], ïðè äàëüíåéøåì ðàññìîòðåíèè, òîëüêî ïàðàìåòð CCFmax áóäåò èñïîëüçîâàòüñÿ äëÿ ñðàâíåíèÿ ÷åòûðåõ ìåòîäèê èçìåðåíèé òîïîãðàôèè ïîâåðõíîñòåé. ÎÎÎ «ËÅÊ – Èíñòðóìåíòñ» 124482, Ìîñêâà, Çåëåíîãðàä, Ñàâåëêèíñêèé ïð-ä 4, îôèñ 1213 Òåë./ôàêñ (495) 730-64-70, (495) 730-64-71 e-mail: sam@lec-instruments.ru 1 3. Ñðàâíåíèÿ è ðåçóëüòàòû èçìåðåíèé äâóõìåðíûõ ïðîôèëåé áàëëèñòè÷åñêîãî ñëåäà íà ïóëå.  ñðàâíåíèè èçìåðåíèé îäíîãî è òîãî æå áàëëèñòè÷åñêîãî ñëåäà ïóëè ñòàíäàðòà SRM èñïîëüçóåì òðè îïòè÷åñêèõ óñòðîéñòâà. Ýòî èíòåðôåðåíöèîííûé ìèêðîñêîï, êîíôîêàëüíûé ìèêðîñêîï ñ äèñêîì Íèïêîâà , ëàçåðíûé ñêàíèðóþùèé êîíôîêàëüíûé ìèêðîñêîï. Òàê êàê ñòàíäàðòíûå ïóëè èìåþò äâóõìåðíûå êàíàâêè, ýòî ïîçâîëÿåò ïåðåìåùàòü êàæäûé ïðèáîð ïî îäíîìó è òîìó æå ïðîôèëþ äëÿ ñðàâíåíèÿ èçìåðåíèé. Âèðòóàëüíûé ñòàíäàðò áàëëèñòè÷åñêîãî ñëåäà ïóëè, ïîëó÷åííûé ïðè ïîìîùè ñèñòåìû èçìåðåíèé òîïîãðàôèè ñ èçìåðèòåëüíûì íàêîíå÷íèêîì (ùóïîì) [3], èñïîëüçóåòñÿ â êà÷åñòâå îáðàçöà ïðè èçìåðåíèÿõ. Ñèñòåìà ïîêàçàíà íà Ðèñ.1. Aëìàçíàÿ èãëà (1) êîïèðóåò îòïå÷àòîê íà ñòàíäàðòíîé ïóëå (2). Íîìèíàëüíûé ðàäèóñ çàêðóãëåíèÿ ðåæóùåé êðîìêè àëìàçíîé èãëû 2 jam. Íîìèíàëüíîå êîíòàêòíîå óñèëèå 0.001 N (ïðèìåðíî 100 mgf). Ñêîðîñòü ïåðåìåùåíèÿ 0.5 ìì/ñ. Âåðòèêàëüíûé óðîâåíü êâàíòîâàíèÿ 0.01 jam, èíòåðâàë äèñêðåòèçàöèè ïî ãîðèçîíòàëè 0.25 |nm. Ïîëîñà ïðîïóñêàíèÿ âñåõ ïðîôèëåé ïî äëèííîìó ñðåçó Xc = 250 nm è ïî êîðîòêîìó ñðåçó Xs = 2.5 \xm [5]. Îäèí èç øåñòè èçìåðåííûõ ïðîôèëåé ïîêàçàí íà Ðèñ. 2 ñâåðõó. Åñëè ñðàâíèâàòü åãî ñ âèðòóàëüíûì îáðàçöîì [3](íå ïîêàçàí), ïîëó÷åííûì ñèñòåìîé èçìåðåíèé õàðàêòåðèñòèê îòñòðåëÿííûõ ïóëü NIST, CCFmax áóäåò 99.6 %. Òîò æå ìåòîä áûë èñïîëüçîâàí ïðè èçìåðåíèè îñòàëüíûõ ïÿòè áîðîçäîê íà òîé æå ïóëå. Ñðåäíåå è ñòàíäàðòíîå îòêëîíåíèå îò çíà÷åíèÿ CCFmax äëÿ øåñòè ïðîôèëåé 98.9 % ± 1.2 %. Èíòåðôåðåíöèîííûé ìèêðîñêîï èçîáðàæåí íà Ðèñ. 3 ñëåâà. Äëÿ ýòèõ èçìåðåíèé ìèêðîñêîï èñïîëüçîâàëñÿ â ðåæèìå ñêàíèðîâàíèÿ áåëûì ñâåòîì. Íåïîñëåäîâàòåëüíûé â ïðîñòðàíñòâå è âî âðåìåíè èñòî÷íèê áåëîãî ñâåòà îñâåùàåò ïîâåðõíîñòü îáúåêòà. Ìåæäó îòðàæåííûì îò îáúåêòà ëó÷îì è ëó÷îì, îòðàæåííûì îò çåðêàëà îïîðíîãî ëó÷à âîçíèêàåò èíòåðôåðåíöèîííûé ñèãíàë. Óñòðîéñòâî îòâå÷àåò ñòàíäàðòàì NIST ïî âûñîòå ñòóïåíè è øåðîõîâàòîñòè ñèíóñîèäàëüíîãî ïðîôèëÿ, à òàê æå ïðîìûøëåííîìó ñòàíäàðòó øåðîõîâàòîñòè. Ðèñóíîê 1. Óñòàíîâêà äëÿ èçìåðèòåëüíîé ñèñòåìû õàðàêòåðèñòèêè ïóëè NIST: 1) Àëìàçíàÿ èãëà; 2) Ñòàíäàðòíàÿ ïóëÿ; 3) Äåðæàòåëü ïóëè; 4) Âðàùàþùèéñÿ ñòîëèê; 5) Ãîðèçîíòàëüíûé ïîâîðîòíûé ñòîëèê; 6) ñòîëèê X-7. ÎÎÎ «ËÅÊ – Èíñòðóìåíòñ» 124482, Ìîñêâà, Çåëåíîãðàä, Ñàâåëêèíñêèé ïð-ä 4, îôèñ 1213 Òåë./ôàêñ (495) 730-64-70, (495) 730-64-71 e-mail: sam@lec-instruments.ru 2 Ðèñóíîê 2. Ïðîôèëü ñòàíäàðòíîé ïóëè èçìåðÿåòñÿ ÷åòûðüìÿ ñïîñîáàìè. 1) Ïðèáîðîì ñ èçìåðèòåëüíûì íàêîíå÷íèêîì , CCFmax = 99.6 %; 2) Èíòåðôåðåíöèîííûì ìèêðîñêîïîì, CCFmax = 92.1 %; 3) Êîíôîêàëüíûì ìèêðîñêîïîì ñ äèñêîì Íèïêîâà, CCFmax =99.0 %; 4) Ëàçåðíûì ñêàíèðóþùèì êîíôîêàëüíûì ìèêðîñêîïîì, CCFmax ~ 95.3 %. Åäèíèöû èçìåðåíèÿ ïî âåðòèêàëè µm, ïî ãîðèçîíòàëè ìì. Äëÿ èçìåðåíèé èñïîëüçóåòñÿ îáúåêòèâ ñ 50-êðàòíûì óâåëè÷åíèåì. Òàê êàê äëèíà ñòîðîíû ïðîôèëÿ ðàâíà 1.93 mm, à ïîëå çàõâàòà îáúåêòèâà ñ 50-êðàòíûì óâåëè÷åíèåì (0.2 x 0.16) mm2 , ïîòðåáîâàëîñü ñäåëàòü 12 òîïîãðàôè÷åñêèõ èçìåðåíèé è ñîâìåñòèòü èõ â îäíî äëÿ òîãî, ÷òîáû ïîëíîñòüþ ïîêðûòü äëèíó ïðîôèëÿ. Äâóõìåðíûé ïóëåâîé ïðîôèëü ïîëó÷åí èç îäíîé èç ñîñòàâíûõ òðåõìåðíûõ òîïîãðàôèé, êàê ïîêàçûâàåò âòîðîé ïðîôèëü íà Ðèñ. 2. Ýòîò ïðîôèëü ñðàâíèâàþò ñ âèðòóàëüíûì ñòàíäàðòîì áàëëèñòè÷åñêîãî îòïå÷àòêà, íàíåñåííîãî èãëîé, ïîëó÷åííîå çíà÷åíèå - CCFmax ðàâíÿåòñÿ 92.1%. Ïîñòðîåíèå êîíôîêàëüíîãî èçîáðàæåíèÿ îñíîâàíî íà òî÷å÷íîé îïòèêå , êîòîðàÿ óëàâëèâàåò îòðàæåííûé ñâåò è ïðåïÿòñòâóåò ïîïàäàíèþ ðàñôîêóñèðîâàííîãî ñâåòà íà ïëîñêîñòü èçîáðàæåíèÿ. Òîëüêî ñâåò, îòðàæåííûé îò îáðàçöà â ôîêóñíîé ïëîñêîñòè ëèíçû îáúåêòèâà ìîæåò ïðîéòè îáðàòíî ñêâîçü ëèíçó è îòâåðñòèå, è âëèÿòü íà ïîñòðîåíèå èçîáðàæåíèÿ ïîâåðõíîñòè. Òîïîãðàôèÿ ïîâåðõíîñòè òàêæå ïîëó÷àåòñÿ ïóòåì ñêàíèðîâàíèÿ îáðàçöà èëè èñòî÷íèêà ñâåòà [6]. Êîíôîêàëüíûé ìèêðîñêîï ñ äèñêîì Íèïêîâà èçîáðàæåí íà Ðèñ. 3, â öåíòðå. Äèñê Íèïêîâà èìååò ìíîæåñòâî îòâåðñòèé, êîòîðûå ôîðìèðóþò ìíîæåñòâî èñòî÷íèêîâ ñâåòà äëÿ ïîñòðîåíèÿ êîíôîêàëüíîãî èçîáðàæåíèÿ [6]. Âðàùàÿñü, äèñê ñòðîèò êîíôîêàëüíîå èçîáðàæåíèå ïîâåðõíîñòè íàä ïîëåì îáçîðà. Ëþáàÿ îøèáêà âîëíîâîãî ôðîíòà êîððåêòèðóåòñÿ èçìåðåíèåì îïòè÷åñêè ïëîñêîé ïîâåðõíîñòè. Êàëèáðîâêà âûïîëíÿåòñÿ ñî ñòàíäàðòîì øåðîõîâàòîñòè ñèíóñîèäàëüíîãî ïðîôèëÿ NIST è ïðîìûøëåííûì ñòàíäàðòîì øåðîõîâàòîñòè. Èñïîëüçóåòñÿ îáúåêòèâ 50x ñ (0.32 x 0.32) ìì2 ïîëåì, 0.62 |im X-Y ðàçðåøåíèåì è 0.07 \xm òîìîãðàôè÷åñêèé èíòåðâàë ïî îñè Z. Ïðîâîäÿòñÿ âîñåìü òîïîãðàôè÷åñêèõ èçìåðåíèé è ñîåäèíÿþòñÿ âìåñòå â îäíî èçîáðàæåíèå , ÷òîáû ïîêðûòü äëèíó ñòîðîíû ïðîôèëÿ îòñòðåëÿííîé ïóëè. Äâóõìåðíûé ïóëåâîé ïðîôèëü ïîêàçàí íà Ðèñ. 2, òðåòèé ïðîôèëü . Ïðè ñðàâíåíèè ýòîãî ïðîôèëÿ ñ âèðòóàëüíûì ñòàíäàðòîì áàëëèñòè÷åñêîãî îòïå÷àòêà CCFmax ðàâåí 99.0 %. Ïðè ðàáîòå ëàçåðíîãî ñêàíèðóþùåãî êîíôîêàëüíîãî ìèêðîñêîïà (Ðèñ. 3, ñïðàâà), ëàçåðíûé ëó÷ ñêàíèðóåò îáðàçåö è ôîðìèðóåò äâóõìåðíûé ìàññèâ èñòî÷íèêîâ ñâåòà íà îáðàçöå äëÿ ñîçäàíèÿ êîíôîêàëüíîãî èçîáðàæåíèÿ òðåõìåðíîé òîïîãðàôèè[6]. Èñïîëüçóåòñÿ îáúåêòèâ 20x ñ ïîëåì (0.46 x 0.46) ìì2 è 0.9 \xm X-Y ðàçðåøåíèåì. Ïðîâîäÿòñÿ ïÿòü òîïîãðàôè÷åñêèõ èçìåðåíèé è ñîåäèíÿþòñÿ âìåñòå â îäíî èçîáðàæåíèå . Äâóõìåðíûé ïóëåâîé ïðîôèëü ïîêàçàí íà Ðèñ. 2, ÷åòâåðòûé ïðîôèëü . Ïðè ñðàâíåíèè ýòîãî ïðîôèëÿ ñ âèðòóàëüíûì ñòàíäàðòîì áàëëèñòè÷åñêîãî îòïå÷àòêà CCFmax ðàâåí 95.3 %. ÎÎÎ «ËÅÊ – Èíñòðóìåíòñ» 124482, Ìîñêâà, Çåëåíîãðàä, Ñàâåëêèíñêèé ïð-ä 4, îôèñ 1213 Òåë./ôàêñ (495) 730-64-70, (495) 730-64-71 e-mail: sam@lec-instruments.ru 3 4. Òåñòû íà ïîâòîðÿåìîñòü èçìåðåíèé è âîñïðîèçâîäèìîñòü Ïîâòîðÿåìîñòü èçìåðåíèé è âîñïðîèçâîäèìîñòü ïðîâåðÿëèñü äëÿ ïðèáîðà ñ èçìåðèòåëüíûì íàêîíå÷íèêîì , èíòåðôåðåíöèîííîãî ìèêðîñêîïà è êîíôîêàëüíîãî ìèêðîñêîïà ñ äèñêîì Íèïêîâà. Èñïûòàíèå íà ïîâòîðÿåìîñòü ïðîâîäèòñÿ â òîò æå äåíü ñ òåìè æå íàñòðîéêàìè èçìåðåíèé è êàëèáðîâêîé ïðèáîðà. Èçìåðåíèÿ ïðîâîäÿòñÿ íà òîì æå îòïå÷àòêå òîé æå ïóëè SRM. Ðèñóíîê 3 . Òðè îïòè÷åñêèõ ïðèáîðà, âêëþ÷àÿ èíòåðôåðåíöèîííûé ìèêðîñêîï ( ñëåâà), êîíôîêàëüíûé ìèêðîñêîï ñ äèñêîì Íèïêîâà (â öåíòðå) è ëàçåðíûé ñêàíèðóþùèé êîíôîêàëüíûé ìèêðîñêîï (ñïðàâà). Òåñòèðóåìûå ïðîôèëè ñðàâíèâàþòñÿ ñî ñòàíäàðòíûì âèðòóàëüíûì îòïå÷àòêîì ïóëè. Ñðåäíåå è ñòàíäàðòíîå îòêëîíåíèå çíà÷åíèÿ CCFmax äëÿ ïðèáîðà ñ èçìåðèòåëüíûì íàêîíå÷íèêîì 99.47 % ± 0.06 %; äëÿ èíòåðôåðåíöèîííîãî ìèêðîñêîïà: 92.5 % ± 0.6 %; è äëÿ êîíôîêàëüíîãî ìèêðîñêîïà ñ äèñêîì Íèïêîâà: 91.6 % ± 1.6 %. Èñïûòàíèå íà âîñïðîèçâîäèìîñòü ïðîâîäèòñÿ íà òîì æå îòïå÷àòêå òîé æå ïóëè â ðàçíûå äíè, ïðè ðàçëè÷íûõ íàñòðîéêàõ è êàëèáðîâêå ïðèáîðîâ . Ñðåäíåå è ñòàíäàðòíîå îòêëîíåíèå çíà÷åíèÿ CCFmax äëÿ ïðèáîðà ñ èçìåðèòåëüíûì íàêîíå÷íèêîì 99.29 % ± 0.26 %; äëÿ èíòåðôåðåíöèîííîãî ìèêðîñêîïà: 91.0 % ± 1.5 %; è äëÿ êîíôîêàëüíîãî ìèêðîñêîïà ñ äèñêîì Íèïêîâà: 90.3 % ± 1.9 %. 5. Çàêëþ÷åíèå Ðåçóëüòàòû ñðàâíåíèé ïîêàçûâàþò âûñîêóþ ñòåïåíü ñîâïàäåíèÿ âñåõ ÷åòûðåõ ìåòîäîâ èçìåðåíèé 2D îòïå÷àòêà ïóëè åñëè èçìåðåííûå ïðîôèëè ôèëüòðîâàëèñü îäèíàêîâî. Âñå çíà÷åíèÿ CCFmax âûøå 90%. Ýòî ãîâîðèò î âîçìîæíîñòè èñïîëüçîâàíèÿ ìåòîäîâ èçìåðåíèÿ òîïîãðàôèè ïîâåðõíîñòè è ïàðàìåòð CCFmax ïðè áàëëèñòè÷åñêîé ýêñïåðòèçå â êà÷åñòâå àëüòåðíàòèâû ñåãîäíÿøíåé òåõíîëîãèè , îñíîâàííîé íà ñðàâíåíèè îïòè÷åñêèõ èçîáðàæåíèé. Ïîäîáíûå ñðàâíåíèÿ èçìåðåíèé äëÿ òðåõìåðíîé òîïîãðàôèè îòïå÷àòêîâ ïî ñòàíäàðòó îïûòíîãî îáðàçöà ãèëüçû NIST [3] â äàííûé ìîìåíò íàõîäÿòñÿ â ñòàäèè ðàçðàáîòêè. Áëàãîäàðíîñòè: Ôèíàíñèðîâàíèå äàííîãî èññëåäîâàíèÿ ïðîâîäèëîñü Íàöèîíàëüíûì Èíñòèòóòîì Þñòèöèè (NIJ) ÷åðåç Âåäîìñòâî Ñòàíäàðòîâ Ïðàâîïðèìåíåíèÿ (OLES) â NIST. Àâòîðû âûðàæàþò áëàãîäàðíîñòü M, Ols, R. Thompson and J. Miller èç Áþðî ïî Êîíòðîëþ çà Îáîðîòîì Àëêîãîëÿ, Òàáà÷íûõ Èçäåëèé è Îãíåñòðåëüíîãî Îðóæèÿ çà èõ âêëàä â ïðîåêò. Áèáëèîãðàôèÿ: [1] Braga A and Pierce G 2004 Linking crime guns: Âëèÿíèå òåõíîëîãèè áàëëèñòè÷åñêîé âèçóàëèçàöèè íà ýôôåêòèâíîñòü ðàáîòû Áàëëèñòè÷åñêîãî Ïîäðàçäåëåíèÿ Äåïàðòàìåíòà Áîñòîíñêîé Ïîëèöèè.J Forensic Sci. 49 4 ppl-6. [2] Bachrach B 2002 Ðàçðàáîòêà ñèñòåìû òðåõìåðíîãî ñðàâíåíèÿ àâòîìàòè÷åñêîãî îãíåñòðåëüíîãî îðóæèÿJ Forensic Sci. 47 6 ppl253-1264. [3] Song J, Whitenton E, Kelley D, Clary R, Ma L and Ballou S 2004 SRM 2460/2461 Ñòàíäàðòû ïóëü è ãèëüçà J. Res. Natl. Inst. Stand Technol 109 6 pp533-542. [4] Song J, Ma L, Whitenton E and Vorburger T 2003 Äâóõìåðíûå è òðåõìåðíûå ñðàâíåíèÿ òåêñòóð ïîâåðõíîñòåé ñ èñïîëüçîâàíèåì àâòîêîððåëÿöèîííîé ôóíêöèè Proc. 6 th ISMTII Hong Kong Nov. 2003. [5] ASME B46 2002 Surface Texture (Surface Roughness, Waviness and Lay) ASME 2002. [6] Schmidt M and Compton R 1992 Êîíôîêàëüíàÿ ìèêðîñêîïèÿ ASM Handbook 18 pp357-361. ÎÎÎ «ËÅÊ – Èíñòðóìåíòñ» 124482, Ìîñêâà, Çåëåíîãðàä, Ñàâåëêèíñêèé ïð-ä 4, îôèñ 1213 Òåë./ôàêñ (495) 730-64-70, (495) 730-64-71 e-mail: sam@lec-instruments.ru 4 ÎÎÎ «ËÅÊ – Èíñòðóìåíòñ» 124482, Ìîñêâà, Çåëåíîãðàä, Ñàâåëêèíñêèé ïð-ä 4, îôèñ 1213 Òåë./ôàêñ (495) 730-64-70, (495) 730-64-71 e-mail: sam@lec-instruments.ru 5