требования материально-техническому оснащению учебного

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ
РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
МОСКОВСКИЙ ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ
(ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ)
ТРЕБОВАНИЯ МАТЕРИАЛЬНО-ТЕХНИЧЕСКОМУ
ОСНАЩЕНИЮ УЧЕБНОГО ПРОЦЕССА МАГИСТРОВ
ДЛЯ НАЦИОНАЛЬНОЙ НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ СЕТИ (ННС)
по направлению подготовки
«МЕТРОЛОГИЯ, СТАНДАРТИЗАЦИЯ И СЕРТИФИКАЦИЯ»
профиль
«ЕДИНСТВО ИЗМЕРЕНИЙ, СТАНДАРТИЗАЦИИ И ОЦЕНКИ
СООТВЕТСТВИЯ»
МОСКВА
2008 г.
1
Высшее учебное заведение, реализующее основные образовательные программы
подготовки магистра, должно располагать материально-технической базой, обеспечивающей
проведение всех видов лабораторной, дисциплинарной и междисциплинарной подготовки,
практической и научно-исследовательской работы студентов, предусмотренных учебным
планом вуза, и соответствующей действующим санитарным и противопожарным правилам и
нормам.
Должно быть обеспечено проведение лабораторных работ и практических занятий по
базовым дисциплинам естественнонаучного и общепрофессионального циклов.
Лаборатории высшего учебного заведения должны быть оснащены современными
стендами и оборудованием, позволяющим изучать особенности обеспечения требуемой
точности элементов, составных частей и самих объектов измерения и технологических
процессов, а также методы и средства контроля качества и систем обеспечения точности
измерений при производстве и реализации продукции. В составе вуза должны быть центры,
классы и лаборатории, оснащенные современным измерительным и испытательным
оборудованием и компьютерной техникой.
2
Перечень материально-технических средств учебной аудитории для чтения лекций по
дисциплинам цикла естественнонаучных дисциплин
№ Наименование
1
Количество
Специальное оборудование
Комплект электропитания ЩЭ (220 В, 2 кВт) в комплекте с УЗО
1
1
Технические средства обучения
Мультимедийный крупноформатный комплекс на базе проЕКЦИОННЫХ телевизоров (2000х1500 мм)
1
2
Графопроектор - Орион-3 ОООТ4 (3 линзы, 400 Вт, 3400 лм, 14,4 кг)
1
3
4
Экран настенный (2000х1500 мм)
1
Компьютер Pentium Ш - 600 МГц / ОЗУ- 256 Мб / Video-32 Мб / Sound 1
card - 16 bit + tv / HDD-20 GB / FDD-3.5"/ CD-ROM-48x / SVGA-17"
5
Видеомагнитофон Panasonic NV-HD620 / 6-HEAD / LONG PLAY
1
6
Диапроектор «Пеленг 500 А» ( 800 лм)
1
1
Специализированная мебель и оргсредства
Доска аудиторная на основе стального эмалированного листа для
написания мелом и фломастером ДК52Э3010МФ (1000х3 000 мм)
1
2
3
4
5
6
7
8
9
Стол демонстрационный
Стойка-кафедра
Стол лектора
Стул-кресло
Стойка компьютерная
Подставка под ТСО
Стол аудиторный двухместный на металлокаркасе из труб
прямоугольного, квадратного или круглого профиля с покрытием:
ламинат, меламин, пластик или шпон
Стулья аудиторные с сиденьями и спинками из фанеры (№6)
3
2
1
1
1
1
1
54
108
Перечень материально-технических средств учебного помещения для проведения
практических (семинарских) занятий по дисциплинам цикла естественнонаучных
дисциплин
№ Наименование
1
2
3
4
5
1
2
3
4
5
6
7
Количество
Технические средства обучения
Мультимедийный портативный переносной проектор с диагональю 46" 1
Графопроектор - Орион- 5000Т портативный переносной (3 линзы,
250Вт,2000лм, 8,25 кг)
Экран на треноге (1200х1200 мм)
Компьютер Intel Celeron Pentium II, III - 600 МГц / ОЗУ-256Мб / Video32 Мб / Sound card - 16 bit + tv / HDD-20 GB / FDD-3.5"/ CP ROM-24x '/
SV3 Д-17"
Видеомагнитофон Panasonic NV-HD620 / 6-HEAD / LONG PLAY
Специализированная мебель и оргсредства
Доска аудиторная на основе стального эмалированного листа для
написания мелом и фломастером ДК11Э107 (1000х750мм)
Стол преподавателя
Стул преподавателя
Стойка компьютерная
Подставка под ТСО
Стол аудиторный двухместный на металлокаркасе из труб
прямоугольного, квадратного или круглого профиля с покрытием:
ламинат, меламин, пластик или шпон
Стулья аудиторные с сиденьями и спинками из фанеры (№6)
1
1
1
1
1
1
1
1
1
13
26
Перечень материально-технических средств учебного помещения для проведения
практических (семинарских) занятий по дисциплинам цикла общепрофессиональных
дисциплин
№ Наименование
1
2
3
Количество
Технические средства обучения
Мультимедийный портативный переносной проектор с диагональю 46" 1
Графопроектор - Орион- 5000Т портативный переносной (3 линзы,
250Вт,2000лм, 8,25 кг)
Экран на треноге (1200х1200 мм)
4
1
.1
4
5
1
2
3
4
5
6
7
Компьютер Intel Celeron Pentium II, III - 600 МГц / ОЗУ-256Мб / Video- 1
32-Мб / Sound card - 16 bit + tv / HDD-20 GB / FDD-3.5"/ CD-ROM-24x /
SVGA-17"
Видеомагнитофон Panasonic NV-}iD620 / б-HEAD / LONG PLAY
1
Специализированная мебель и оргсредства
Доска аудиторная на основе стального эмалированного листа для
написания мелом и фломастером ДК11Э107 (1000х750 мм)
Стол преподавателя
Стул преподавателя
Стойка компьютерная
Подставка под ТСО
Стол аудиторный двухместный на металлокаркасе из труб
прямоугольного, квадратного или круглого профиля с покрытием:
ламинат, меламин, пластик или шпон
Стулья аудиторные с сиденьями и спинками из фанеры (№6)
1
1
1
1
1
13
26
Перечень материально-технических средств учебных помещений для проведения
лабораторного практикума по дисциплине «Приборы и методы измерения химического
состава и структуры нанообъектов»
Растровый электронный микроскоп
Растровый электронный микроскоп – прибор позволяющий производить измерение
линейных
размеров
нанообъектов,
элементного
состава
поверхности
и
спектров
катодолюминесценции
Необходимые требования
1. Разрешающая способность не ниже 10 нм в режиме истинно вторичных электронов.
2. Возможность измерения в высоком (10-5 Тор) вакууме.
3. Регистрация истинно-вторичных и упруго-отраженных электронов.
4. Диапазон ускоряющих напряжений 500 В – 30 кВ.
Желательные требования
5. Наличие режима низкого вакуума для измерений диэлектрических образцов.
6. Наличие энергодисперсионного или волнового рентгеновских детекторов для
определения элементного состава, исследуемого образца.
5
Просвечивающий электронный микроскоп
Просвечивающий
электронный
микроскоп
предназначен
для
исследования
микроструктуры и фазового состава объектов.
Основные функции микроскопа:
1. наблюдение и фотографирование изображений объектов в широком диапазоне
увеличений
2. исследование объектов в режимах микро-дифракции, малоугловой дифракции,
дифракции высокого разрешения
3. исследование объектов при их наклоне и вращении
4. режим высокого контраста для медико-биологических объектов
5. автоматизированное компьютерное управление
6. компьютерный анализ изображений объектов по специальным программам
7. элементный анализ исследуемых объектов
Атомно-силовой микроскоп
Атомно-силовой микроскоп предназначен для исследования физико-химических
свойств поверхности нанообъектов и наноструктур.
Необходимые требования
8. Точность измерения перемещения по вертикали лучше 3нм
9. Точность измерения перемещения в латеральном направлении лучше 50 нм
10. Возможность работы в контактном или прерывисто-контактном или бесконтактном
режиме
Желательные требования
11. Возможность исследования образцов в жидкостях
12. Возможность исследования контролируемой газовой среде
13. Возможность исследования при различных температурах
Сканирующий туннельный микроскоп
Сканирующий туннельный микроскоп предназначен для исследования физикохимических свойств поверхности нанообъектов и наноструктур.
Необходимые требования
14. Точность измерения перемещения по вертикали лучше 3нм
6
15. Точность измерения перемещения в латеральном направлении лучше 50 нм
16. Пределы измерения туннельного тока от 60 до 5000 пА;
Режимы работы микроскопа
17. Сканирование по постоянному току;
18. Сканирование с постоянной высотой;
19. Измерение вольтамперной характеристики поверхности;
20. Измерение зависимости туннельного тока от величины зазора игла-образец;
Вторично-ионный масс-спектрометр
Вторично-ионный масс-спектрометр – прибор, позволяющий производить измерение
химического состава поверхности твердого тела с высокой точностью
Необходимые требования
21. Большой диапазон ускоряющих напряжений
22. Определяемые элементы: от H до U
23. Чувствительность: вплоть до концентраций 1014 атом/см3
24. Латеральное разрешение лучше 0,5 мкм
25. Информационная глубина: 0.5 атомных монослоев
26. Глубина ионного профилирования: до 10 мкм
27. Разрешение по глубине: вплоть до 2 нм
Желательные требования
1. Возможность использования 2-х или более первичных источников ионов.
Электронный Оже-спектрометр
Электронный Оже-спектрометр – прибор позволяющий, неразрушающим методом
определять элементный состав поверхностного слоя на глубине несколько атомных
монослоев.
Необходимые требования
1. Определение элементов от Li до U
2. Чувствительность поверхностных концентраций не хуже 1013 атом/см2
3. Чувствительность объемных концентраций ~ 1019 атом/см3
4. Латеральное разрешение 10 ÷ 30 мкм
5. Информационная глубина 0.5 ÷ 3 нм
7
Рентгеновский фотоэлектронный спектрометр
Рентгеновский фотоэлектронный спектрометр – прибор позволяющий, неразрушающим
методом определять элементный состав поверхностного слоя на глубине несколько атомных
монослоев.
Исследование
рентгеновской
элементного
фотоэлектронной
состава
спектроскопии
твердофазных
(РФЭС)
материалов
основано
на
методом
анализе
энергетического распределения фотоэлектронов, эмитированных с поверхности вещества в
вакууме при его возбуждении рентгеновскими фотонами.
Необходимые требования
1. Идентификация всех химических элементов, кроме водорода и гелия
2. Глубина анализа от 5 до 50 А°
3. Чувствительность метода выше, чем 0,1 ат.%
4. Наличие источника монохроматизированного излучения
Желательные требования
1. Ионная пушка, встроенная в камеру анализа, позволяющая очищать поверхности
образцов от адсорбированных на воздухе примесей, а также осуществлять ионное
травление образцов на глубину
Рентгеновский дифрактометр
Рентгеновский дифрактометр – прибор для измерения интенсивности и направления
рентгеновского излучения, дифрагированного на кристаллическом объекте. Рентгеновский
дифрактометр. применяется для решения различных задач рентгеновского структурного
анализа. С помощью рентгеновского дифрактометра можно производить фазовый анализ
поликристаллических объектов и исследование текстур, ориентировку монокристальных
блоков, получать полный набор интенсивностей отражений от монокристалла, исследовать
структуру многих веществ при различных внешних условиях и т.д.
Технические характеристики должны соответствовать приборам HECUS S3-MICRO,
XRD-6000, ARL X’TRA.
8
ИК-Фурье спектрометр
ИК-Фурье спектрометр предназначен для качественного и количественного анализа
твердых, жидких и газообразных образцов.
Технические характеристики должны соответствовать приборам IR Prestige 21
(Shimadzu), ФСМ-1211, ИнфраЛЮМ® ФТ-02, Spectrum 100.
Установка электронно-лучевого напыления
Установка электронно-лучевого напыления предназначена для напыления тонких
пленок различных материалов в сверхвысоком вакууме на подложку.
Технические характеристики должны соответствовать приборам STE EB 48, AUTO
306 (BOC Edwards)
Установка магнетронного распыления
Установка электронно-лучевого напыления предназначена для напыления тонких
пленок различных материалов в сверхвысоком вакууме на подложку
Технические характеристики должны соответствовать приборам STE MS 46, AUTO
500 (BOC Edwards)
9