МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
реклама
МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИНФОРМАЦИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ, МЕХАНИКИ И ОПТИКИ На правах рукописи НОВИКОВ Борис Юрьевич ЛАЗЕРНАЯ МОДИФИКАЦИЯ СТЕКЛОКЕРАМИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ Специальность 05.27.03 – Квантовая электроника АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Санкт-Петербург 2008 2 3 Диссертация выполнена на кафедре «Лазерных технологий и экологического ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ приборостроения» Санкт-Петербургского государственного университета Актуальность работы. Одним из направлений исследований и разработок в области создания новых материалов и элементов как за информационных технологий, механики и оптики. рубежом, так и в нашей стране является контролируемая локальная Научный руководитель: Официальные оппоненты: Ведущая организация: доктор технических наук, профессор Вейко Вадим Павлович перестройка структуры материалов. Смена фазового состояния часто приводит к радикальным изменениям физико-химических свойств материала. доктор технических наук, профессор Храмов Валерий Юрьевич Фазово-структурная модификация в локальных областях позволяет создавать кандидат технических наук Смирнов Валентин Николаевич размером новые элементы и устройства, которые будут характеризоваться малым и новыми функциями. Подобные элементы могут быть востребованы в системах записи и обработки информации, в интегральных оптических схемах, в микроаналитических устройствах и т.д. НПК ГОИ им. С.И. Вавилова Использование лазерного излучения имеет ряд преимуществ перед Защита состоится 22 апреля 2008 г. в 17 ч. 30 мин. на заседании другими методами локальной модификации, а именно локальность и диссертационного совета Д212.227.01 «Квантовая электроника» при Санкт- бесконтакность воздействия, высокоэнергетический характер излучения, Петербургском государственном университете информационных технологий, возможность механики и оптики по адресу: 190000, г. Санкт-Петербург, пер. Гривцова, воздействия. Воздействие лазерного излучения позволило осуществить д. 14, ауд. 314-а. локальную задания энергетических фазово-структурную и геометрических модификацию множества параметров различных материалов (например, кремния, пористых стёкол, углеродистых сталей), а С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке СПбГУ ИТМО. также существенно расширило возможности технологии кристаллизации фоточувствительных стекол. Автореферат разослан «___» _________ 2008 г. Группами Скибы П.А. и Вейко В.П. показана перспективность модификации стеклокерамических материалов при воздействии излучения Ваши отзывы и замечания на автореферат (в двух экземплярах), заверенные СО2-лазера (10,6 мкм) для формирования оптических микроэлементов, в том печатью, просим направлять по адресу: 197101, г. Санкт-Петербург, числе новых типов, недоступных при использовании других технологий. При Кронверкский пр., д. 49, секретарю диссертационного совета Д212.227.01. определённых условиях обработки из локальной лазерно-индуцированной ванны расплава возможно формирование аморфной или кристаллической фаз Ученый секретарь стеклокерамического материала. Однако на данном этапе применение диссертационного совета Д212.227.01 кандидат технических наук, доцент указанного излучения накладывает ограничения на минимальный размер и Красавцев В.М. геометрические параметры области модификации. Кроме того, физические 5 4 механизмы процессов фазово-структурной перестройки, применение 3. Применение аппарата теории теплопроводности для лазерного излучения различных длин волн, определение оптимальных математического моделирования процессов фазово-структурной модификации режимов формирования элементов остаются недостаточно исследованными. ситалла СТ-50-1 под действием излучения YAG:Nd-лазера; Цель работы Научная новизна Целью работы является исследование закономерностей лазерно- 1. Экспериментально индуцированной фазово-структурной модификации исследована кинетика процесса лазерно- стеклокерамических индуцированной фазово-структурной модификации стеклокерамического материалов на примере модификации ситалла СТ-50-1 под действием материала под действием излучения YAG:Nd-лазера и выявлены аномально излучения YAG:Nd-лазера. высокие скорости аморфизации и кристаллизации; Задачи исследования: 1. Разработка 2. Впервые наблюдалось явление периодической фазово-структурной установки для локальной фазово-структурной модификации стеклокерамических материалов под действием лазерного излучения; лазерного излучения и возникновение в материале волн просветления; 3. Предложен механизм и построена теоретическая физическая и 2. Исследование лазерно-индуцированной фазово-структурной модификации стеклокерамических материалов и определение наиболее перспективного направления разработки, в том числе: - обоснование и определение источника лазерного облученной области материала при лазерно-индуцированной модификации; индуцированной возможностей применения фазово-структурной технологии модификации лазерно- стеклокерамических материалов для формирования элементов микрооптики. 1. Анализ литературы по методам фазово-структурной модификации материалов и возможностям применения данной технологии; 2. Экспериментальное исследование режимов и механизма формирования областей фазово-структурной модификации ситалла СТ-50-1 под действием с применением фотоэлектрических измерений и микроскопии; методов 1. Разработан действующий макет экспериментальной установки для под действием излучения YAG:Nd-лазера; данный макет может служить прототипом промышленной установки; 2. Разработана технология изготовления оптических микроэлементов на основе ситалла СТ-50-1 методом лазерно-индуцированной фазовоструктурной модификации; Методы исследования YAG:Nd-лазера под действием излучения YAG:Nd-лазера. локального формирования аморфизации и кристаллизации на ситалле СТ-50-1 - исследование кинетики процесса фазово-структурной модификации 3. Анализ математическая модель фазово-структурной модификации ситалла СТ-50-1 Практическая значимость работы материала, воздействия и режимов формирования областей модификации; излучения перестройки стеклокерамического материала под действием непрерывного пирометрии, 3. Получен ряд оптических микроэлементов и определены их основные параметры. Реализация на практике Под действием излучения YAG:Nd-лазера на пластинах ситалла СТ-50-1 толщиной 0,6 мм были изготовлены двояковыпуклые микролинзы, которые были применены для соединения оптических волокон. 6 7 Основные научные положения, выносимые на защиту конференции «Fundamentals of Laser Assisted Micro– & Nanotechnologies 1. Аморфизация ситалла СТ-50-1 под действием лазерного излучения (FLAMN-07)» (СПб – Пушкин, 2007); на V Международной конференции протекает со скоростью на 3 – 4 порядка большей, чем при традиционных молодых ученых и специалистов «Оптика – 2007». методах нагрева. Это объяснено на основании значительно бóльших темпов По теме данной работы выигран грант на Конкурсе персональных энерговложения при лазерном воздействии, что приводит к соответствующим грантов для студентов и аспирантов вузов и академических институтов скоростям продвижения изотермы плавления (просветления). Санкт-Петербурга 2006 г. Отчёт по гранту в форме устного доклада принят на 2. Кристаллизация ситалла СТ-50-1 также может быть реализована под действием лазерного излучения со скоростью на 2 – 3 порядка большей, чем Итоговом семинаре по физике и астрономии по результатам Конкурса в Физико-техническом институте им. А.Ф.Иоффе РАН. при традиционных методах ситаллизации. Т.к. в процессе кристаллизации Публикации важную роль играют диффузионные явления, то столь серьезное повышение По результатам диссертации опубликовано 11 работ и принято к скорости кристаллизации не может быть объяснено только на основании публикации 3 работы. Полный список публикаций приведён в конце термофизической автореферата. кинетики и требует проведения дополнительных экспериментов и теоретических исследований. Структура и объём работы 3. Облучение бистабильной стеклокерамической среды лазерным Диссертация состоит из введения, пяти глав и заключения. Список излучением непрерывного действия может приводить к возникновению волн использованных источников содержит 86 наименований. Диссертация прозрачности содержит 40 рисунков, 3 таблицы. Всего 103 страницы. в ней благодаря лазерно-индуцированной модуляции структуры при условии, что вновь сформированная фаза прозрачна для рабочего излучения, в то время как исходная фаза – непрозрачна. СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ Апробация работы Основные результаты проведённых в работе исследований докладывались на IV Международной конференции молодых ученых и специалистов «Оптика - 2005» (получен диплом конференции), на XXXV, XXXVI и XXXVII научных и учебно-методических Введение содержит обоснование актуальности работы, формулировку цели и основных положений, выносимых на защиту. В главе I на основании литературных данных дан обзор современного конференциях состояния работ в области фазово-структурной модификации материалов. профессорско-преподавательского и научного состава СПбГУ ИТМО, на III, Локальная структурная перестройка материалов при помощи традиционных IV и V межвузовских конференциях молодых ученых СПбГУ ИТМО, на XI методов нагрева невозможна. Показаны возможность и преимущества международном симпозиуме «Нанофизика и наноэлектроника» (Нижний локальной модификации материалов под действием лазерного излучения, Новгород, 2007), на 8-ой международной конференции «Laser Precision рассмотрена перспективность метода лазерно-индуцированной модификации Microfabrication стеклокерамических материалов. (LPM07)» (Австрия, Вена, 2007), на международной 9 8 В качестве материала для проведения наших исследований был выбран Глава II посвящена описанию экспериментов по аморфизации ситалла ситалл СТ-50-1. Этот ситалл выпускается промышленно в кристаллическом СТ-50-1 под действием излучения YAG:Nd-лазера. Излучение СО2-лазера состоянии, свойства этого материала хорошо воспроизводимы и изучены, поглощается в поверхностном слое ситалла, рост аморфизированной области модификация протекает за один этап. Ранее была исследована модификация происходит по теплопроводностному механизму (рис. 1, а). Под действием ситалла СТ-50-1 под действием излучения СО2-лазера (10,6 мкм). На излучения YAG:Nd-лазера ситалл нагревается до температуры плавления за основании лазерно- счёт остаточного поглощения при многократном рассеянии излучения на индуцированной модификации ситалла, указаны режимы обработки для границах микрокристаллов. Аморфная фаза (расплав) свободно пропускает получения областей аморфизации и обратной кристаллизации под действием излучение излучения СО2-лазера, динамического просветления ситалла в глубину (рис. 1, б), что позволяет процессов модификации, литературных данных указаны описаны факторы, рассмотрена принципы определяющие смена свойств протекание ситалла при модификации. Ситалл СТ-50-1 непрозрачен в видимой области из-за сильного YAG:Nd-лазера. В этом случае имеет место процесс получать аморфизованные области меньшего диаметра и большей глубины, чем при использовании излучения СО2-лазера. рассеяния на границах микрокристаллов размером 1 – 2 мкм, при плавлении микрокристаллы разрушаются. После прекращения воздействия лазерного излучения локальная ванна расплава затвердевает в аморфной фазе за счет а б эффективного теплоотвода в окружающие области исходного материала. При меньшей скорости остывания возможно формирование из расплава кристаллических структур. Ситалл СТ-50-1 является перспективным материалом для изготовления элементов микрооптики кристаллической управляемости оптическим и благодаря аморфной процессов фаз, сильным определённым кристаллизации характеристикам отличиям аморфной и в температурам стеклования, фазы. свойствах Однако и Рисунок 1. Принципиальная схема роста аморфизированной области ситалла СТ-50-1 при воздействии излучений СО2 (а) и YAG:Nd-лазера (б), где: сплошная линия – границы фонта аморфизации (оптической прозрачности); пунктир – температура высоким приблизительно равна температуре плавления; штриховка – температура выше характер температуры плавления; серый цвет – зона поглощения излучения взаимодействия излучения СО2-лазера с ситаллом накладывает существенные Описана экспериментальная установка (рис. 2), предназначенная для ограничения на геометрические параметры модифицированных областей формирования обоих типов модификации ситалла СТ-50-1 под действием Исходя из требования уменьшения минимального размера элементов и излучения YAG:Nd-лазера, а также для измерения наиболее информативных вместе с тем из необходимости достаточной мощности непрерывного параметров этих процессов – температуры и пропускания облученной области. воздействия, в наших исследованиях в качестве оптимального источника Изложена лазерного излучения был выбран YAG:Nd-лазер ( λ = 1,06 мкм). аморфизованных областей. В частности, для предотвращения разрушения методика и указаны режимы и условия формирования 11 10 материала из-за высоких температурных градиентов существенен Определены параметры обработки, влияющие на геометрические и дополнительный подогрев. В наших экспериментах для сквозной аморфизации оптические характеристики аморфизованных областей: пластин ситалла СТ-50-1 толщиной 0,6 мм при диаметре поперечного сечения - длина волны излучения выбранного лазера; пучка излучения в плоскости обработки 350 мкм в зависимости от - температура дополнительного подогрева; температуры подогрева (500о – 1000о С) необходимая плотность мощности - плотность мощности излучения; 7 7 2 излучения YAG:Nd-лазера должна составлять от 0,8·10 до 16·10 Вт/м . - размер и форма поперечного сечения пучка излучения в плоскости обработки; - размер обрабатываемого образца; - время облучения. Приведены графики зависимостей геометрических параметров аморфизованных областей от характеристик пучка излучения и времени воздействия, характер зависимостей объяснён с точки зрения взаимодействия лазерного излучения с материалом и поведения расплава. Различный механизм взаимодействия излучений YAG:Nd- и СО2 -лазеров с ситаллом СТ-50-1 обуславливает разный характер роста аморфизированных областей. (рис.3). Определение влияния условий обработки позволяет формировать аморфизованные области с заданными параметрами. Рисунок 2. Схема экспериментальной установки для формирования фазовоструктурной модификации ситалла СТ-50-1 при помощи излучения YAG:Nd-лазера. Здесь: 1 – YAG:Nd-лазер, 2 – CО2-лазер, 3 – полупроводниковый лазер, 4 и 8 – поворотное зеркало 5 – затвор, 6 – полупропускающая пластина, 7 и 13 – фотоэлементы, 9 – фокусирующая линза (с возможностью отвода из системы), 10 – образец, 11 – рабочий стол, 12 – пластина, отсекающая излучение YAG:Nd-лазера, 14 – экран, 15 – пирометр, 16 – осциллографическая приставка, 17 – компьютер Рисунок 3. Аналитические зависимости глубины и диаметра аморфизированной области ситалла СТ-50-1 от времени воздействия излучений YAG:Nd- и СО2-лазеров Была измерена кинетика температуры и пропускания ситалла под Проанализированы характеристики аморфизованных областей ситалла действием излучения YAG:Nd-лазера в процессе аморфизации (рис. 4). СТ-50-1. Появление оптической прозрачности, увеличение удельного объёма, Выявлено, что в этом случае скорость охлаждения ванны расплава за счет снижение химической устойчивости могут быть объяснены изменением теплопроводности составляет около 150 К/с, а скорость роста аморфной структуры материала. области 0,1 ÷ 10 мм/с. При традиционных методах нагрева задание подобной 12 13 скорости охлаждения требует применения специальных механизмов, а кристаллизации во всей аморфной области. Также неизбежно поверхностное создание направленного фронта плавления затруднительно. плавление только что сформированных кристаллических структур (рис. 5). Непрозрачность ситалла при обратной кристаллизации восстанавливается (хотя образуются кристаллы иного размера, чем исходные), выпуклости на поверхности образца незначительно уменьшаются. а б Рисунок 4. Зависимость изменения температуры (а) и пропускания (б) ситалла СТ-50-1 Рисунок 5. Типичная обратная кристаллизация ситалла СТ-50-1, сформированная под от длительности воздействия излучения YAG:Nd-лазера при формировании аморфи- действием излучений СО2- (а) и YAG:Nd-лазера (б), где: Исх – исходная поликристал- зации, где: 1 – стадия предварительного подогрева (≈ 500 С); 2 – стадия расплавления лическая фаза, Ам – аморфная фаза, ВтКр – вторичная поликристаллическая фаза. (лазерное воздействие); 3 – стадия охлаждения за счёт теплоотвода в твердом теле Фотографии поперечного шлифа пластин через микроскоп в отраженном свете В главе III рассмотрены эксперименты по вторичной кристаллизации титан-содержащего стекла (аморфизированного ситалла СТ-50-1) под действием излучения YAG:Nd-лазера. Заметим, что возможность реализации такого процесса под действием лазерного излучения с длиной волны видимого и ближнего ИК излучения неочевидна, т.к. стекло не поглощает излучение на этих длинах волн. Кристаллизации такого стекла невозможна при прямом воздействии лазерного излучения указанного диапазона. С целью решения данной задачи предложен метод кристаллизации аморфной зоны, основанный на нагреве и контролируемом охлаждении окружающей её кольцевой зоны поликристаллического материала. В наших экспериментах воздействие излучения YAG:Nd-лазера на ситалл СТ-50-1 производилось в течении 15 – 20 с при плотности мощности излучения ≈ 105 Вт/м2, при Рисунок 6. Зависимость изменения температуры (а) и пропускания (б) ситалла СТ-50-1 от длительности воздействия излучения YAG:Nd-лазера при формировании обратной кристаллизации, где: 1 – стадия предварительного подогрева (≈ 600 С); 2 – стадия расплавления; 3 – стадия постепенного охлаждения большей температуре дополнительного подогрева, чем при аморфизации. Была измерена кинетика температуры и пропускания ситалла под Недостатком предложенного метода является неизбежность формирования действием излучения YAG:Nd-лазера в процессе кристаллизации (рис. 6). 15 14 Скорость охлаждения ситалла составляла ≈ 5 – 7 К/сек, время формирования этого поглощение кристаллических структур во всем объеме – около 90 с. Отметим, что пластины ситалла) и происходит остывание ванны расплава до температуры перестройка структуры при этом происходит в твердом состоянии ситалла. В кристаллизации Ткр за счёт радиального теплоотвода. Затем материал промышленных условиях кристаллизация ситалла производится двухступен- кристаллизуется, поглощение резко возрастает (до прежнего значения или чатой термообработкой исходного расплава при определённых температурах, близкого к нему) и процесс повторяется – вновь происходит просветление. общая длительность обработки составляет более трех часов, что на 2 порядка Таким образом, процесс является существенно нелинейным, т.к. величина дольше эффективного времени лазерно-индуцированной кристаллизации. воздействия излучения (пропорциональная поглощающей способности) В главе IV рассматривается впервые обнаруженное в работе возникновение волн оптической прозрачности облучаемой области пластины ситалла СТ-50-1 при воздействии излучения YAG:Nd-лазера непрерывного (вследствие сквозного просветления зависит от температуры, а кинетика изменения поглощающей способности – от времени достижения температурой значений Тпл и Ткр. Эта задача была решена методом источников. На рис. 8 приведёны результаты расчёта температуры и пропускания для случая мощности действия (рис. 7). tстаб1 τ, % прекращается tстаб2 излучения YAG:Nd-лазера 4,2 Вт, начальной температуры Тнач 450о С, tстаб3 диаметра пучка излучения в плоскости обработки 450 мкм с учетом остаточного пропускания пластины со второго цикла 0,1. t, с tам1 tкр1 tам2 tкр2 Рисунок 7. Изменение пропускания τ пластины ситалла СТ-50-1 во времени t при воздействии излучения YAG:Nd-лазера непрерывного действия, где: tстаб – периоды стабильного фазового состояния материала, tам – периоды протекания процессов аморфизации, tкр – периоды протекания процессов кристаллизации Была разработана теоретическая модель, позволяющая определить изменение структурных и оптических свойств в облучаемой области стеклокерамической пластины по значению средней по толщине температуры Рисунок 8. Расчётное изменение средней по толщине температуры Т пластины ситалла СТ-50-1 толщиной 0,6 мм в центре облучённой области (1) и соответствующая ему качественная зависимость изменения пропускания τ пластины во времени (2) В главе V приведены результаты применения технологии лазерно- пластины в центре облучённой области Т, которая определяется из задачи индуцированной нагревания до температуры плавления Тпл при поглощении излучения. После материалов для изготовления элементов микрооптики. Проанализированы фазово-структурной модификации стеклокерамических 17 16 преимущества данной технологии, рассказано о способах изготовления данным методом различных микроэлементов на основе ситалла СТ-50-1. В заключении диссертации сформулированы основные результаты и перспективы развития данной работы: Среди полученных результатов можно выделить изготовление на ситалле 1. Разработана экспериментальная установка и выявлены режимы СТ-50-1 трехслойных структур и двояковыпуклых микролинз (рис. 9). Было локальной аморфизации и кристаллизации ситалла СТ-50-1 при воздействии проведено определение оптической силы двояковыпуклых микролинз излучения YAG:Nd-лазера. методом расчета фокусного расстояния через геометрические параметры и 2. Разработаны методики и проведено исследование кинетики методом непосредственного измерения фокальных отрезков. Некоторые температуры и пропускания ситалла СТ-50-1 в процессе аморфизации и расхождения результатов измерений и расчетов объяснены влиянием кристаллизации ситалла под действием излучения YAG:Nd-лазера. Выявлено, градиента показателя преломления. что под действием лазерного излучения скорости протекания процессов фазово-структурной модификации на 3 – 4 порядка выше, чем при традиционных методах нагрева. 3. Оценены зависимости параметров аморфизованных областей ситалла СТ-50-1 от режима воздействия лазерного излучения. Показано, что Рисунок 9. Схематическое изображение двояковыпуклой микролинзы, воздействие излучения YAG:Nd-лазера позволяет получить аморфизованные сформированной на тонкой пластине ситалла СТ-50-1 методом лазерно- области ситалла СТ-50-1 меньшего размера и большей глубины по сравнению индуцированной локальной аморфизации со случаем воздействия излучения СО2-лазера за счет разного характера взаимодействия излучений указанных лазеров с ситаллом. 4. Предложен способ кристаллизации аморфной зоны, основанный на нагреве и контролируемом поликристаллического материала охлаждении для случая окружающего воздействия её лазерного излучения с длиной волны видимого и ближнего ИК диапазона, которое в а б в Рисунок 10. Растр двояковыпуклых микролинз, сформированный на пластине ситалла СТ-50-1 методом лазерно-индуцированной локальной аморфизации (а), и изображения объектов, снятых с его помощью (б, в). Фотографии аморфной фазе не поглощается. 5. Воздействие непрерывного излучения YAG:Nd-лазера на пластину ситалла СТ-50-1 может привести к возникновению волн прозрачности благодаря различному характеру взаимодействия данного излучения с разными фазами ситалла. 6. Создана физическая и математическая модель лазерно-индуцированных волн прозрачности. Математически решена задача теплопроводности о нагревании материала при скачке поглощения в нем, вызванном сменой фаз. 19 18 По теме диссертации опубликованы и приняты к публикации следующие работы: 1. B.Yu. Novikov, P.A. Skiba, E.B. Yakovlev. Phase–structure transitions of glass–ceramics under IR–laser action: main peculiarities // Proceedings of SPIE. – 2006. V. 6161. – Р. 133 – 139.* 2. Новиков Б.Ю. Формирование микролинз методом аморфизации стеклокерамики при использовании YAG:Nd-лазера // Известия РАН. Серия физическая. – 2006. Т. 70, № 9. – С. 1323 – 1326. 3. Новиков Б.Ю. Локальная аморфизация стеклокерамики излучением 8. Новиков Б.Ю. Особенности лазерной фазово-структурной модификации стеклокерамик СТ-50-1 и ФС-1 // Научно-технический вестник СПбГУ ИТМО. Выпуск 37. – СПб: СПбГУ ИТМО, 2007. – С. 195 – 201. 9. Новиков Б.Ю. Лазерная фазо-структурная модификация ситалла СТ-50-1 // Научно-технический вестник СПбГУ ИТМО. Выпуск 44. – СПб: СПбГУ ИТМО, 2007. – С. 88 – 94. 10. V. Veiko, E. Shakhno, E. Yakovlev, B. Novikov. Waves of optical bleaching caused by continuously operated Nd:YAG laser radiation in glassceramics // Proceedings of SPIE. – 2008. Vol. 6985.* YAG:Nd-лазера // Научно-технический вестник СПбГУ ИТМО. Выпуск 26. – ______________________________________________________________ СПб: СПбГУ ИТМО, 2006. – С. 268 – 274. * Опубликовано online на сайте «SPIE.org». Адрес: http://spie.org/x10.xml 4. Вейко В.П., Новиков Б.Ю. Лазерное формирование оптических элементов на ситалле СТ-50-1 // Beam Technologies and Laser Applications: Proceedings of the fifth international scientific and technical conference / SPb.: Publishing house SPbSPU, 2006 – P. 90 – 95. 5. Q.K. Kieu, B. Yu. Novikov, E.A. Shakhno, E.B. Yakovlev. Physical mechanisms of fast structure modification of glass-ceramics under CO2–laser action // Proceedings of SPIE. – 2007. V. 6458.* 6. Вейко В.П., Костюк Г.К., Никоноров Н.В., Новиков Б.Ю., Рачинская А.Н., Яковлев Е.Б. Быстрые обратимые фазо-структурные модификации стеклокерамических материалов под действием излучения CO2-лазера // Нанофизика и наноэлектроника. Тезисы XI Международного симпозиума. – Изд-во ИФМС РАН, 2007 – С. 71 – 74. 7. Вейко В.П., Новиков Б.Ю., Шахно Е.А., Яковлев Е.Б. Нелинейное просветление ситалла излучением YAG:Nd-лазера // Известия вузов. Приборостроение. – 2007. Т. 50, № 7. – С. 14 – 19.
